JPS6414166U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6414166U JPS6414166U JP10750087U JP10750087U JPS6414166U JP S6414166 U JPS6414166 U JP S6414166U JP 10750087 U JP10750087 U JP 10750087U JP 10750087 U JP10750087 U JP 10750087U JP S6414166 U JPS6414166 U JP S6414166U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- main body
- rear end
- single crystal
- seed crystal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る―族化合
物半導体単結晶育成用容器の縦断面図、第２図及
び第３図はそれぞれボート本体部の側面図及び端
面図、第４図及び第５図はそれぞれ種結晶載置部
の側面図及び端面図、第６図及び第７図はそれぞ
れボート後端部の側面図及び端面図、第８図及び
第９図はそれぞれ従来例の側面図及び端面図であ
る。 図中、１はボート本体部、２は種結晶載置部、
３はボート後端部である。
物半導体単結晶育成用容器の縦断面図、第２図及
び第３図はそれぞれボート本体部の側面図及び端
面図、第４図及び第５図はそれぞれ種結晶載置部
の側面図及び端面図、第６図及び第７図はそれぞ
れボート後端部の側面図及び端面図、第８図及び
第９図はそれぞれ従来例の側面図及び端面図であ
る。 図中、１はボート本体部、２は種結晶載置部、
３はボート後端部である。
Claims (1)
- 水平ブリツジマン法や温度傾斜法等による単結
晶製造に用いられると共にボート本体部とその先
端側及び後端側にそれぞれ位置する種結晶載置部
及びボート後端部とからなる育成用容器において
、上記種結晶載置部及び上記ボート後端部のうち
少なくとも一方が上記ボート本体部から独立して
形成されると共に使用時には上記ボート本体部に
組み合わせられることを特徴とする―族化合
物半導体単結晶育成用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10750087U JPS6414166U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10750087U JPS6414166U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414166U true JPS6414166U (ja) | 1989-01-25 |
Family
ID=31341971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10750087U Pending JPS6414166U (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6414166U (ja) |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP10750087U patent/JPS6414166U/ja active Pending