JPS6418150U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6418150U JPS6418150U JP10996387U JP10996387U JPS6418150U JP S6418150 U JPS6418150 U JP S6418150U JP 10996387 U JP10996387 U JP 10996387U JP 10996387 U JP10996387 U JP 10996387U JP S6418150 U JPS6418150 U JP S6418150U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- strip
- biting
- vacuum seal
- closing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る真空シール締
切装置が設置されたシール装置の内部構造を示す
断面図、第２図ａは本実施例に係る真空シール締
切装置の詳細を示す断面図、第２図ｂは同図ａの
Ａ―Ａ断面図、第２図ｃは同図ａのＢ―Ｂ断面図
、第３図はシール用ロールを備えた真空処理装置
の説明図、第４図ａ，ｂは従来の噛み込み型シー
ル装置の構成を示す説明図である。 図中、１は真空シール締切装置、１０は遮断板
、１１は遮断扉、１００，１１０は噛み込み部、
１０１，１１３はゴム製シール体、２はストリツ
プ、２０は帯状体を各示す。
切装置が設置されたシール装置の内部構造を示す
断面図、第２図ａは本実施例に係る真空シール締
切装置の詳細を示す断面図、第２図ｂは同図ａの
Ａ―Ａ断面図、第２図ｃは同図ａのＢ―Ｂ断面図
、第３図はシール用ロールを備えた真空処理装置
の説明図、第４図ａ，ｂは従来の噛み込み型シー
ル装置の構成を示す説明図である。 図中、１は真空シール締切装置、１０は遮断板
、１１は遮断扉、１００，１１０は噛み込み部、
１０１，１１３はゴム製シール体、２はストリツ
プ、２０は帯状体を各示す。
Claims (1)
- 帯状体を真空処理する真空室の入側及び出側に
夫々設けられ、該帯状体を移動路上で噛み込んで
シールする真空シール締切装置において、その噛
み込み部先端を弾性体で形成したことを特徴とす
る真空シール締切装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10996387U JPS6418150U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10996387U JPS6418150U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418150U true JPS6418150U (ja) | 1989-01-30 |
Family
ID=31346687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10996387U Pending JPS6418150U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6418150U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624865A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空処理装置のシ−ル装置 |
| JPS624866A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空処理装置のシ−ル装置 |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP10996387U patent/JPS6418150U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624865A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空処理装置のシ−ル装置 |
| JPS624866A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空処理装置のシ−ル装置 |
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