JPS6418149U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6418149U JPS6418149U JP10996287U JP10996287U JPS6418149U JP S6418149 U JPS6418149 U JP S6418149U JP 10996287 U JP10996287 U JP 10996287U JP 10996287 U JP10996287 U JP 10996287U JP S6418149 U JPS6418149 U JP S6418149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- strip
- devices
- sealing device
- seals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す真空シール装
置の内部構造を示す断面図、第２図ａは、当該実
施例において用いられる締切装置の詳細を示す断
面図、第２図ｂは同図ａのＡ―Ａ断面図、第２図
ｃは同図ａのＢ―Ｂ断面図、第３図はシール用ロ
ールを備えた真空処理装置の説明図、第４図ａ，
ｂは従来の噛み込み型シール装置の構成を示す説
明図である。 図中１は真空シール締切装置、１０は遮断扉、
１１は遮断板、１００，１００は噛み込み部、１
０２はケーシング、１０３は凹部、２はストリツ
プ、２０は帯状体、３は真空室、３０は筒状体、
３１は中間室を各示す。
置の内部構造を示す断面図、第２図ａは、当該実
施例において用いられる締切装置の詳細を示す断
面図、第２図ｂは同図ａのＡ―Ａ断面図、第２図
ｃは同図ａのＢ―Ｂ断面図、第３図はシール用ロ
ールを備えた真空処理装置の説明図、第４図ａ，
ｂは従来の噛み込み型シール装置の構成を示す説
明図である。 図中１は真空シール締切装置、１０は遮断扉、
１１は遮断板、１００，１００は噛み込み部、１
０２はケーシング、１０３は凹部、２はストリツ
プ、２０は帯状体、３は真空室、３０は筒状体、
３１は中間室を各示す。
Claims (1)
- 帯状体を真空処理する真空室の入側及び出側に
、該帯状体を移動路上で噛み込んでシールする締
切装置を夫々複数段設け、且つ各締切装置間を差
動排気可能な中間室としたことを特徴とする真空
シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10996287U JPS6418149U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10996287U JPS6418149U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418149U true JPS6418149U (ja) | 1989-01-30 |
Family
ID=31346685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10996287U Pending JPS6418149U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6418149U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011104861A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 入江工研株式会社 | ゲートバルブのシール構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624866A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空処理装置のシ−ル装置 |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP10996287U patent/JPS6418149U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624866A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空処理装置のシ−ル装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011104861A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 入江工研株式会社 | ゲートバルブのシール構造 |