JPS6418769U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6418769U JPS6418769U JP1987113227U JP11322787U JPS6418769U JP S6418769 U JPS6418769 U JP S6418769U JP 1987113227 U JP1987113227 U JP 1987113227U JP 11322787 U JP11322787 U JP 11322787U JP S6418769 U JPS6418769 U JP S6418769U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- opposite conductivity
- current path
- low resistivity
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
第１図，第２図は一実施例であるホール効果素
子の平面図およびその―線断面図である。第
３図，第４図は従来の素子例を示す平面図および
その―線断面図である。 １，２：電源バイアス用ｎ＋拡散領域、３：ｎ
形領域、６：Ｐ形領域、７：電極、８：Ｓｉｏ２
膜、４１，５１：コンタクト用ｎ＋拡散領域、４
２，５２：ｎ＋埋め込みプローブ。
子の平面図およびその―線断面図である。第
３図，第４図は従来の素子例を示す平面図および
その―線断面図である。 １，２：電源バイアス用ｎ＋拡散領域、３：ｎ
形領域、６：Ｐ形領域、７：電極、８：Ｓｉｏ２
膜、４１，５１：コンタクト用ｎ＋拡散領域、４
２，５２：ｎ＋埋め込みプローブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一導電形半導体基板上に形成された高比抵抗な
反対導電形領域である電流路と、 この電流路内に設けられ互いに離隔対向する少
なくとも一対の低比抵抗反対導電形領域である電
源端子と、 この一対の電源端子を結ぶ線と直交する方向で
前記電流路を挟んで離隔対向し、高比抵抗な幅狹
反対導電形領域を介して前記電流路と接続される
一対の低比抵抗な島状反対導電形領域と、 この島状反対導電形領域内に所定深さで形成さ
れた低比抵抗な反対導電形領域である出力電圧検
出用端子と、 この端子領域の所定深さ位置から前記電流路に
少なくともその先端が突出するよう形成された低
比抵抗な反対導電形埋め込みプローブとを具備す
ることを特徴とする半導体ホール効果装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987113227U JPS6418769U (ja) | 1987-07-22 | 1987-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987113227U JPS6418769U (ja) | 1987-07-22 | 1987-07-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418769U true JPS6418769U (ja) | 1989-01-30 |
Family
ID=31352875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987113227U Pending JPS6418769U (ja) | 1987-07-22 | 1987-07-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6418769U (ja) |
-
1987
- 1987-07-22 JP JP1987113227U patent/JPS6418769U/ja active Pending
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