JPS6422766U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6422766U JPS6422766U JP4575087U JP4575087U JPS6422766U JP S6422766 U JPS6422766 U JP S6422766U JP 4575087 U JP4575087 U JP 4575087U JP 4575087 U JP4575087 U JP 4575087U JP S6422766 U JPS6422766 U JP S6422766U
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- JP
- Japan
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- titanium oxide
- crystalline particles
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- paragraph
- Prior art date
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- Granted
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 7
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のペレツトの結晶状粒子の拡大
図であり、約７５倍の電子顕微鏡の写真を模写し
た図である。結晶状粒子の周りの線の部分が環状
亀裂である。第２図は第１図の部分的拡大図であ
り、約３５００倍の電子顕微鏡の写真を模写した
図である。第３図は本考案のペレツトの模式図を
示す。
図であり、約７５倍の電子顕微鏡の写真を模写し
た図である。結晶状粒子の周りの線の部分が環状
亀裂である。第２図は第１図の部分的拡大図であ
り、約３５００倍の電子顕微鏡の写真を模写した
図である。第３図は本考案のペレツトの模式図を
示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蒸着原料用酸化チタンペレツトにおいて、
該酸化チタンペレツトは実質的に酸化チタン成分
の結晶状粒子からなり、該結晶状粒子の平均直径
が５０μｍ以上で、かつ結晶状粒子と結晶状粒子
との間に環状亀裂を有していることを特徴とする
酸化チタンペレツト。 (2) 実用新案登録請求の範囲第(1)項において、
結晶状粒子の平均直径が１００μｍ以上であるこ
とを特徴とする酸化チタンペレツト。 (3) 実用新案登録請求の範囲第(1)項において、
結晶状粒子の形状が、塊状であることを特徴とす
る酸化チタンペレツト。 (4) 実用新案登録請求の範囲第(1)項において、
ペレツトの形状が、直径、又は一辺が１０〜８０
mm、厚さ５〜４０mmであることを特徴とする酸化
チタンペレツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4575087U JPH0449172Y2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4575087U JPH0449172Y2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6422766U true JPS6422766U (ja) | 1989-02-06 |
| JPH0449172Y2 JPH0449172Y2 (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=31272049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4575087U Expired JPH0449172Y2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449172Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP4575087U patent/JPH0449172Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449172Y2 (ja) | 1992-11-19 |
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