JPS6423866U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6423866U JPS6423866U JP11797687U JP11797687U JPS6423866U JP S6423866 U JPS6423866 U JP S6423866U JP 11797687 U JP11797687 U JP 11797687U JP 11797687 U JP11797687 U JP 11797687U JP S6423866 U JPS6423866 U JP S6423866U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inductively coupled
- coupled plasma
- frequency inductively
- mass spectrometer
- high frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の構成説明図、第２図は
従来例の構成説明図、第３図及び第４図はスペク
トル図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、７……高周波誘導結合プラズマ、８……ノ
ズル、９……スキマー、１１……フオアチヤンバ
ー、１３……センターチヤンバー、１６……マス
フイルタ、１７……リアチヤンバー、２０……信
号処理部、２１……窒素ガス供給源、２２ａ，２
２ｂ……減圧弁、２３ａ，２３ｂ……流量計、２
４ａ，２４ｂ……流量調節弁、２５……流体混合
部。
従来例の構成説明図、第３図及び第４図はスペク
トル図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、７……高周波誘導結合プラズマ、８……ノ
ズル、９……スキマー、１１……フオアチヤンバ
ー、１３……センターチヤンバー、１６……マス
フイルタ、１７……リアチヤンバー、２０……信
号処理部、２１……窒素ガス供給源、２２ａ，２
２ｂ……減圧弁、２３ａ，２３ｂ……流量計、２
４ａ，２４ｂ……流量調節弁、２５……流体混合
部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励
起し生じたイオンを真空中に導入しイオン光学系
を通して質量分析計検出器に導いて検出すること
により前記試料中の被測定元素を分析する分析計
において、前記高周波誘導結合プラズマを生じさ
せる三重管構造のプラズマトーチへ、アルゴンガ
ス供給源から第１減圧弁、第１流量計、第１流量
調節弁、及び流体混合部を通つて供給されるアル
ゴンガスと、窒素ガス供給源から第２減圧弁、第
２流量計、第２流量調節弁、及び流体混合部を通
つて供給される窒素ガスとが一定の混合比で混合
されて供給されるように構成したことを特徴とす
る高周波誘導結合プラズマ質量分析計。 (2) 前記プラズマトーチは、流量調節された第
１〜第３の圧縮ガスが夫々導かれる最外室、外室
、及び内室を有する三重管構造のプラズマトーチ
でなる実用新案登録請求範囲第(1)項記載の高周
波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11797687U JPH0518844Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11797687U JPH0518844Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6423866U true JPS6423866U (ja) | 1989-02-08 |
| JPH0518844Y2 JPH0518844Y2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=31361920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11797687U Expired - Lifetime JPH0518844Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518844Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210143885A (ko) * | 2019-04-01 | 2021-11-29 | 퍼킨엘머 헬스 사이언스 캐나다 인코포레이티드 | 원소 종의 배경 등가 농도를 개선하는 디바이스 및 방법 |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP11797687U patent/JPH0518844Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210143885A (ko) * | 2019-04-01 | 2021-11-29 | 퍼킨엘머 헬스 사이언스 캐나다 인코포레이티드 | 원소 종의 배경 등가 농도를 개선하는 디바이스 및 방법 |
| JP2022527350A (ja) * | 2019-04-01 | 2022-06-01 | パーキンエルマー・ヘルス・サイエンシーズ・カナダ・インコーポレイテッド | 元素種のバックグラウンド等価濃度を改善するためのデバイスおよび方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518844Y2 (ja) | 1993-05-19 |
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