JPS6424831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6424831U JPS6424831U JP11965287U JP11965287U JPS6424831U JP S6424831 U JPS6424831 U JP S6424831U JP 11965287 U JP11965287 U JP 11965287U JP 11965287 U JP11965287 U JP 11965287U JP S6424831 U JPS6424831 U JP S6424831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- gas
- plate
- cleaning
- objects
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案に係る板状物の搬送
装置の一実施例を示す斜視図と断面図、第３図、
第４図は本考案の他の実施例を示す図、第５図及
び第６図は従来の板状物の搬送装置の斜視図と断
面図である。 １０……ウエハ、１６……洗浄薬液噴出部、２
０……空気噴出部、２２……洗浄薬液、２４……
純水、２６……加圧空気。
装置の一実施例を示す斜視図と断面図、第３図、
第４図は本考案の他の実施例を示す図、第５図及
び第６図は従来の板状物の搬送装置の斜視図と断
面図である。 １０……ウエハ、１６……洗浄薬液噴出部、２
０……空気噴出部、２２……洗浄薬液、２４……
純水、２６……加圧空気。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 板状物が薬液処理部から洗浄部に移送されると
共に薬液処理部と洗浄部との間に板状物に気体噴
射する気体噴出部が設けられ、板状物を液体及び
気体の噴流で浮上させながら洗浄搬送する板状物
の洗浄装置に於いて、 前記気体噴出部は、連続した突条部の頂面に形
成された複数の孔から気体が噴出することを特徴
とする板状物の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11965287U JPS6424831U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11965287U JPS6424831U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6424831U true JPS6424831U (ja) | 1989-02-10 |
Family
ID=31365066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11965287U Pending JPS6424831U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6424831U (ja) |
-
1987
- 1987-08-04 JP JP11965287U patent/JPS6424831U/ja active Pending