JPS6424830U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6424830U JPS6424830U JP11965187U JP11965187U JPS6424830U JP S6424830 U JPS6424830 U JP S6424830U JP 11965187 U JP11965187 U JP 11965187U JP 11965187 U JP11965187 U JP 11965187U JP S6424830 U JPS6424830 U JP S6424830U
- Authority
- JP
- Japan
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- plate
- section
- gas
- cleaning
- gas jetting
- Prior art date
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- Granted
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案に係る板状物の搬送
装置の一実施例を示す斜視図と断面図、第３図及
び第４図は従来の板状物の搬送装置の斜視図と断
面図である。 １０……ウエハ、１６……洗浄薬液噴出部、２
０……空気噴出部、２２……洗浄薬液、２４……
純水、２６……加圧空気、傾斜開口部。
装置の一実施例を示す斜視図と断面図、第３図及
び第４図は従来の板状物の搬送装置の斜視図と断
面図である。 １０……ウエハ、１６……洗浄薬液噴出部、２
０……空気噴出部、２２……洗浄薬液、２４……
純水、２６……加圧空気、傾斜開口部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 板状物が薬液処理部から洗浄部に移送されると
共に薬液処理部と洗浄部との間に板状物に気体噴
射する気体噴出部が設けられ、板状物を液体及び
気体の噴流で浮上させながら洗浄搬送する板状物
の洗浄装置に於いて、 前記気体噴出部は、薬液処理部側の気体噴出孔
が薬液処理部側に向けて傾斜して形成されたこと
を特徴とする板状物の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987119651U JPH069494Y2 (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 | 板状物の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987119651U JPH069494Y2 (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 | 板状物の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6424830U true JPS6424830U (ja) | 1989-02-10 |
| JPH069494Y2 JPH069494Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31365064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987119651U Expired - Lifetime JPH069494Y2 (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 | 板状物の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069494Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587830A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-17 | Hitachi Ltd | 薄片状物品の洗浄方法及び装置 |
-
1987
- 1987-08-04 JP JP1987119651U patent/JPH069494Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587830A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-17 | Hitachi Ltd | 薄片状物品の洗浄方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069494Y2 (ja) | 1994-03-09 |
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