JPS6430403U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6430403U JPS6430403U JP9907388U JP9907388U JPS6430403U JP S6430403 U JPS6430403 U JP S6430403U JP 9907388 U JP9907388 U JP 9907388U JP 9907388 U JP9907388 U JP 9907388U JP S6430403 U JPS6430403 U JP S6430403U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- optical
- optical path
- condensing
- film thickness
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 7
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 6
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は従来の光学膜形成装置における膜厚監
視装置の図解図、第２図は第１図の装置の監視光
投射場所を示す部分斜視図、第３図はこの考案に
よる膜厚監視装置の１実施例を略示する第１図に
相当する部分図解図、第４図は第３図の実施例の
主要部分をやや詳しく示す線図、第５図は監視面
が鏡面である場合の従来の装置による反射光束の
光路を示す図解図、第６図はこの考案の装置によ
る反射光束の光路を示す第５図に相当する図、第
７図は第６図の光路によるこの考案の装置の実験
例を示すグラフ、第８図は第５図の光路による従
来の装置の実験例を示すグラフ、第９図は監視面
が拡散反射面である場合の反射光の光路を示す図
解図、第１０図は拡散反射面に対するこの考案の
装置の効果を示すグラフ、第１１図は第３図の実
施例の変型を示す第４図に相当する図、第１２図
は第１１図の変型に関する第６図に相当する図、
第１３図はこの考案に使用される集光用光学系の
１例を示す図解図、第１４図は集光用光学系の別
の例を示す図解図である。 図面において、１０は基体、１５ａと１５ｂは
案内部材を構成する偏向ローラ、１７ａと１７ｂ
は光学膜形成のための蒸発源、１９ａと１９ｂは
光を投射する投光器、２０ａと２０ｂは反射光ま
たは透過光を受取る受光器、Ｉｕは入射光路、Ｒ
ｕは反射光路、Ｔｕは透過光路、２１，２１Ｉ，
２１Ｒ，２６および３０は集光用光学系を示す。
視装置の図解図、第２図は第１図の装置の監視光
投射場所を示す部分斜視図、第３図はこの考案に
よる膜厚監視装置の１実施例を略示する第１図に
相当する部分図解図、第４図は第３図の実施例の
主要部分をやや詳しく示す線図、第５図は監視面
が鏡面である場合の従来の装置による反射光束の
光路を示す図解図、第６図はこの考案の装置によ
る反射光束の光路を示す第５図に相当する図、第
７図は第６図の光路によるこの考案の装置の実験
例を示すグラフ、第８図は第５図の光路による従
来の装置の実験例を示すグラフ、第９図は監視面
が拡散反射面である場合の反射光の光路を示す図
解図、第１０図は拡散反射面に対するこの考案の
装置の効果を示すグラフ、第１１図は第３図の実
施例の変型を示す第４図に相当する図、第１２図
は第１１図の変型に関する第６図に相当する図、
第１３図はこの考案に使用される集光用光学系の
１例を示す図解図、第１４図は集光用光学系の別
の例を示す図解図である。 図面において、１０は基体、１５ａと１５ｂは
案内部材を構成する偏向ローラ、１７ａと１７ｂ
は光学膜形成のための蒸発源、１９ａと１９ｂは
光を投射する投光器、２０ａと２０ｂは反射光ま
たは透過光を受取る受光器、Ｉｕは入射光路、Ｒ
ｕは反射光路、Ｔｕは透過光路、２１，２１Ｉ，
２１Ｒ，２６および３０は集光用光学系を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ シート状の長尺の基体を、その長さ方向に進
行させながら、進行の途中において、基体の表面
上に光学膜を形成被着させたのちに、基体をさら
に、定位置の２つの案内部材の間で、その長さ方
向に連続的に進行させ、この２つの案内部材の間
の区域で、定位置の光路に沿つて進行する光を基
体に投射し、基体で反射された光の特性に基いて
光学膜の膜厚を監視する装置において、 基体に投射される光の光路および基体で反射さ
れた光の光路に、基体の直前に集光用光学系を配
置したことを特徴とする、光学膜形成装置におけ
る膜厚監視装置。 ２ 基体に投射される光の光路と基体で反射され
た光の光路とが実質上相重なる場合にこれら両光
路の基体の直前に共通の集光用光学系を使用する
実用新案登録請求の範囲第１項に記載の膜厚監視
装置。 ３ 集光用光学系として集光レンズまたは集光レ
ンズ系を使用する実用新案登録請求の範囲第１項
または第２項に記載の膜厚監視装置。 ４ 集光用光学系として集光レンズまたは集光レ
ンズ系と等価の反射鏡または反射鏡系を使用する
実用新案登録請求の範囲第１項または第２項に記
載の膜厚監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9907388U JPS6430403U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9907388U JPS6430403U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430403U true JPS6430403U (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=31325897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9907388U Pending JPS6430403U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6430403U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5489680A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical measuring method and optical measuring apparatus |
-
1988
- 1988-07-28 JP JP9907388U patent/JPS6430403U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5489680A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical measuring method and optical measuring apparatus |
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