JPS6433764U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6433764U JPS6433764U JP1987127337U JP12733787U JPS6433764U JP S6433764 U JPS6433764 U JP S6433764U JP 1987127337 U JP1987127337 U JP 1987127337U JP 12733787 U JP12733787 U JP 12733787U JP S6433764 U JPS6433764 U JP S6433764U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- polymer film
- lead wire
- showing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
第１図〜第４図は本考案の第１実施例を示す図
で、第１図は全体の構成を示す斜視図、第２図は
圧電性高分子フイルムの断面図、第３図はモニタ
回路の構成を示す図、第４図は積層型圧電アクチ
ユエータへの印加電圧波形とモニタ電圧の増幅波
形を対比して示す図である。第５図および第６図
は本考案の第２実施例を示す図である。第７図は
従来例を示す斜視図である。 １０……積層型圧電アクチユエータ、１１……
圧電セラミツクス板、１２，１３……絶縁部、１
４……外部電極、１５……上台、１６……下台、
１７……リード線、１８……圧電性高分子フイル
ム、２１ａ，２１ｂ……アルミニウム膜、２２ａ
，２２ｂ……リード線、３１……ＦＥＴ、３２…
…増幅器、３３……端子、３４……直流電源、３
５……ソース抵抗、３６……カツプリングコンデ
ンサ、５０……移動ステージ、６０……バイモル
フ型圧電アクチユエータ、６１……弾性金属板、
６２……バイモルフ圧電素子、６３……電圧印加
用リード線、６４……ステージ接触凹部、６５ａ
，６５ｂ……圧電性高分子フイルム、６６……モ
ニタ用リード線。
で、第１図は全体の構成を示す斜視図、第２図は
圧電性高分子フイルムの断面図、第３図はモニタ
回路の構成を示す図、第４図は積層型圧電アクチ
ユエータへの印加電圧波形とモニタ電圧の増幅波
形を対比して示す図である。第５図および第６図
は本考案の第２実施例を示す図である。第７図は
従来例を示す斜視図である。 １０……積層型圧電アクチユエータ、１１……
圧電セラミツクス板、１２，１３……絶縁部、１
４……外部電極、１５……上台、１６……下台、
１７……リード線、１８……圧電性高分子フイル
ム、２１ａ，２１ｂ……アルミニウム膜、２２ａ
，２２ｂ……リード線、３１……ＦＥＴ、３２…
…増幅器、３３……端子、３４……直流電源、３
５……ソース抵抗、３６……カツプリングコンデ
ンサ、５０……移動ステージ、６０……バイモル
フ型圧電アクチユエータ、６１……弾性金属板、
６２……バイモルフ圧電素子、６３……電圧印加
用リード線、６４……ステージ接触凹部、６５ａ
，６５ｂ……圧電性高分子フイルム、６６……モ
ニタ用リード線。
Claims (1)
- 圧電アクチユエータ本体の変位領域に、圧電性
高分子フイルムを含んで構成される変位状況モニ
タ手段を設けたことを特徴とする圧電アクチユエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987127337U JPS6433764U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987127337U JPS6433764U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6433764U true JPS6433764U (ja) | 1989-03-02 |
Family
ID=31379678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987127337U Pending JPS6433764U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6433764U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60259347A (ja) * | 1984-06-02 | 1985-12-21 | Canon Inc | 圧電型微動変位素子及びこれを使用した微少位置決め方法 |
-
1987
- 1987-08-21 JP JP1987127337U patent/JPS6433764U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60259347A (ja) * | 1984-06-02 | 1985-12-21 | Canon Inc | 圧電型微動変位素子及びこれを使用した微少位置決め方法 |