JPS6435746U - - Google Patents
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- JPS6435746U JPS6435746U JP13052487U JP13052487U JPS6435746U JP S6435746 U JPS6435746 U JP S6435746U JP 13052487 U JP13052487 U JP 13052487U JP 13052487 U JP13052487 U JP 13052487U JP S6435746 U JPS6435746 U JP S6435746U
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- JP
- Japan
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- wafer
- suction plates
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- wafer suction
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13052487U JPH085555Y2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | ウェ−ハ移載機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13052487U JPH085555Y2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | ウェ−ハ移載機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6435746U true JPS6435746U (2) | 1989-03-03 |
| JPH085555Y2 JPH085555Y2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=31385767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13052487U Expired - Lifetime JPH085555Y2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | ウェ−ハ移載機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085555Y2 (2) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03261161A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-21 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH0528041U (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-09 | 東京応化工業株式会社 | 縦型ウエハー処理装置のウエハー移載機構 |
| CN112635377A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-09 | 上海广川科技有限公司 | 一种等间距调节模组 |
| JP2023064071A (ja) * | 2021-10-25 | 2023-05-10 | 大立▲ギョク▼科技有限公司 | ウェハ出入アセンブリ及びそれに用いられるウェハ出入装置とウェハキャリア |
| CN117501427A (zh) * | 2021-11-04 | 2024-02-02 | Uk机器人株式会社 | 用于输送半导体晶片的装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113977613A (zh) * | 2021-08-30 | 2022-01-28 | 上海广川科技有限公司 | 利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构 |
-
1987
- 1987-08-26 JP JP13052487U patent/JPH085555Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03261161A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-21 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH0528041U (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-09 | 東京応化工業株式会社 | 縦型ウエハー処理装置のウエハー移載機構 |
| CN112635377A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-09 | 上海广川科技有限公司 | 一种等间距调节模组 |
| JP2023064071A (ja) * | 2021-10-25 | 2023-05-10 | 大立▲ギョク▼科技有限公司 | ウェハ出入アセンブリ及びそれに用いられるウェハ出入装置とウェハキャリア |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH085555Y2 (ja) | 1996-02-14 |
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