JPS6437031U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6437031U JPS6437031U JP13361887U JP13361887U JPS6437031U JP S6437031 U JPS6437031 U JP S6437031U JP 13361887 U JP13361887 U JP 13361887U JP 13361887 U JP13361887 U JP 13361887U JP S6437031 U JPS6437031 U JP S6437031U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat ray
- provided outside
- heat
- core tube
- furnace core
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例に係る半導体基板
の熱処理炉の説明図であり、同図ａはその一部破
断斜視図、同図ｂは横断面図である。第２図は第
２実施例の説明図、第３図は第３実施例の説明図
である。第４図は従来の熱処理炉の説明図であり
、同図ａはその管軸方向の部分断面図であり、同
図ｂは同図ａにおける−断面図である。第５
図は、従来の熱処理炉を炉体フレームに複数本収
納した状態を示した説明図である。 １……炉芯管、２……帯状ヒータ、３……棒状
支持部材、４……外筒体、７……耐熱ガラス管、
８……熱線反射膜、９……冷却管。
の熱処理炉の説明図であり、同図ａはその一部破
断斜視図、同図ｂは横断面図である。第２図は第
２実施例の説明図、第３図は第３実施例の説明図
である。第４図は従来の熱処理炉の説明図であり
、同図ａはその管軸方向の部分断面図であり、同
図ｂは同図ａにおける−断面図である。第５
図は、従来の熱処理炉を炉体フレームに複数本収
納した状態を示した説明図である。 １……炉芯管、２……帯状ヒータ、３……棒状
支持部材、４……外筒体、７……耐熱ガラス管、
８……熱線反射膜、９……冷却管。
Claims (1)
- 半導体基板を収容する炉芯管と、前記炉芯管の
外周面外側に設けられる加熱手段と、前記加熱手
段の外側に設けられる熱線反射手段と、前記熱線
反射手段の外側に設けられる外筒体とを備え、前
記熱線反射手段は、耐熱ガラス管の周面に熱線反
射膜を形成したものであり、前記外筒体に冷却手
段を付設することを特徴とする半導体基板の熱処
理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13361887U JPS6437031U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13361887U JPS6437031U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437031U true JPS6437031U (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=31391644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13361887U Pending JPS6437031U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6437031U (ja) |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13361887U patent/JPS6437031U/ja active Pending