JPS6437032U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6437032U JPS6437032U JP13361987U JP13361987U JPS6437032U JP S6437032 U JPS6437032 U JP S6437032U JP 13361987 U JP13361987 U JP 13361987U JP 13361987 U JP13361987 U JP 13361987U JP S6437032 U JPS6437032 U JP S6437032U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- tube
- heat
- covered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例に係る半導体基板
の熱処理炉の説明図であり、同図ａは炉芯管の管
軸方向の縦断面図、同図ｂは炉芯管の支持機構部
分を抜き出して示した横断面図である。第２図は
従来の熱処理炉の縦断面図である。 １……炉芯管、２……帯状ヒータ、３……棒状
支持部材、４……耐熱ガラス管、６……スペーサ
、７……炉芯管受け、８……熱線反射膜、９……
金属板、１１……外筒体、１２……冷却管、１６
……炉体収納フレーム外板。
の熱処理炉の説明図であり、同図ａは炉芯管の管
軸方向の縦断面図、同図ｂは炉芯管の支持機構部
分を抜き出して示した横断面図である。第２図は
従来の熱処理炉の縦断面図である。 １……炉芯管、２……帯状ヒータ、３……棒状
支持部材、４……耐熱ガラス管、６……スペーサ
、７……炉芯管受け、８……熱線反射膜、９……
金属板、１１……外筒体、１２……冷却管、１６
……炉体収納フレーム外板。
Claims (1)
- 半導体基板を収容する炉芯管の外周面外側に、
前記炉芯管の管軸方向に配設された棒状支持部材
によつて支持されたヒータを配設し、このヒータ
を周面に熱線反射膜が被着された耐熱ガラス管で
覆い、前記ヒータが配設されていない炉芯管端部
を金属板で覆つたことを特徴とする半導体基板の
熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13361987U JPS6437032U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13361987U JPS6437032U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437032U true JPS6437032U (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=31391646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13361987U Pending JPS6437032U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6437032U (ja) |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13361987U patent/JPS6437032U/ja active Pending