JPS6440088U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6440088U JPS6440088U JP1987135113U JP13511387U JPS6440088U JP S6440088 U JPS6440088 U JP S6440088U JP 1987135113 U JP1987135113 U JP 1987135113U JP 13511387 U JP13511387 U JP 13511387U JP S6440088 U JPS6440088 U JP S6440088U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear actuators
- thin flexible
- fixed part
- fine movement
- movable part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は従来の微動回転ステージの一例を示す平面図
である。 １……固定部、２……可動部、３……薄肉可撓
部、４，５……ピエゾ素子（リニアアクチユエー
タ）、６〜９……弾性ヒンジ、１０……突出部。
図は従来の微動回転ステージの一例を示す平面図
である。 １……固定部、２……可動部、３……薄肉可撓
部、４，５……ピエゾ素子（リニアアクチユエー
タ）、６〜９……弾性ヒンジ、１０……突出部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 固定部と該固定部から放射状に突出した少な
くとも３個以上の薄肉可撓部と、該薄肉可撓部の
他端で支持した可動部と、前記薄肉可撓部の集束
点から等距離に作用点をもち互いに平行でかつ集
束点に対して点対称に配置しそれぞれ両端に弾性
ヒンジを介して前記固定部と前記可動部に保持さ
れた２個のリニアアクチユエータとを含むことを
特徴とする微動回転ステージ。 ２ 固定部と、薄肉可撓部と、可動部と２個のリ
ニアアクチユエータの両端の弾性ヒンジとを一体
で形成して、２個のリニアアクチユエータが圧入
保持されていることを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第１項記載の微動回転ステージ。 ３ ２個のリニアアクチユエータがピエゾ素子で
あることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載の微動回転ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987135113U JPH0527034Y2 (ja) | 1987-09-03 | 1987-09-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987135113U JPH0527034Y2 (ja) | 1987-09-03 | 1987-09-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6440088U true JPS6440088U (ja) | 1989-03-09 |
| JPH0527034Y2 JPH0527034Y2 (ja) | 1993-07-08 |
Family
ID=31394456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987135113U Expired - Lifetime JPH0527034Y2 (ja) | 1987-09-03 | 1987-09-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527034Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012132856A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 回転軸保持機構及びこれを用いた回転粘度計 |
| WO2013171896A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 回転軸保持機構及びこれを用いた回転粘度計 |
| CN107705822A (zh) * | 2017-09-26 | 2018-02-16 | 广东工业大学 | 一种大承载柔性铰链导向机构 |
-
1987
- 1987-09-03 JP JP1987135113U patent/JPH0527034Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012132856A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 回転軸保持機構及びこれを用いた回転粘度計 |
| WO2013171896A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 回転軸保持機構及びこれを用いた回転粘度計 |
| CN107705822A (zh) * | 2017-09-26 | 2018-02-16 | 广东工业大学 | 一种大承载柔性铰链导向机构 |
| CN107705822B (zh) * | 2017-09-26 | 2022-11-22 | 广东工业大学 | 一种大承载柔性铰链导向机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0527034Y2 (ja) | 1993-07-08 |