JPS6448022U - - Google Patents

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JPS6448022U
JPS6448022U JP1987142739U JP14273987U JPS6448022U JP S6448022 U JPS6448022 U JP S6448022U JP 1987142739 U JP1987142739 U JP 1987142739U JP 14273987 U JP14273987 U JP 14273987U JP S6448022 U JPS6448022 U JP S6448022U
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heat insulating
semiconductor
heat
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案に係る半導体熱処理装置の
縦断面図、第２図は、断熱材の概略斜視図、第３
図、第４図は、断熱材用成形品の平面図、正面図
である。 １０：半導体熱処理装置、１２：反応管、１４
：炉体カバー、１６：ヒートコイル、１８：断熱
材、１９：断熱材用成形品、１９ａ：成形品の内
壁、２２：冷却流体用流路、２３：冷却流体用流
路の流出口、２６：成形品の空洞、２８：反応管
、ヒートコイル間の隙間、３０：空洞閉塞用プラ
グ、３４：均熱管。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応管を加熱するヒータの熱が外部に漏出
    するのを防止するために、断熱材を炉体カバーと
    ヒータとの間に配設した半導体熱処理装置におい
    て、 軸線方向にのびた複数本の冷却流体用流路が断
    熱材内に設けられ、冷却流体の流出口が軸線方向
    の異なる位置でヒータサイドに開口されているこ
    とを特徴とする半導体熱処理装置。 (2) 断熱材がフアイバーをプレスし高温で焼成
    した成形品からなり、冷却流体用流路が成形品に
    設けられた空洞より形成される実用新案登録請求
    の範囲第１項記載の半導体熱処理装置。 (3) 冷却流体の流出口が、軸線に対して傾斜し
    てのびるとともに、断熱材の内壁に対して傾斜し
    て開口されている実用新案登録請求の範囲第１項
    または第２項記載の半導体熱処理装置。
JP1987142739U 1987-09-18 1987-09-18 Expired - Lifetime JPH0519950Y2 (ja)

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JPH0519950Y2 JPH0519950Y2 (ja) 1993-05-25

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JPH0519950Y2 (ja) 1993-05-25

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