JPS6448032U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6448032U JPS6448032U JP14371287U JP14371287U JPS6448032U JP S6448032 U JPS6448032 U JP S6448032U JP 14371287 U JP14371287 U JP 14371287U JP 14371287 U JP14371287 U JP 14371287U JP S6448032 U JPS6448032 U JP S6448032U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- carrier
- barcode reader
- barcode
- manufacturing apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図乃至第４図は本考案に係る半導体製造装
置の一実施例を説明するためのもので、第１図は
半導体ウエーハ立替装置の平面図、第２図は第１
図の断面図、第３図は半導体ウエーハ移し替え動
作を説明するための断面図、第４図は第３図の側
面図である。第５図は本考案の他の実施例を説明
するための半導体ウエーハ立替装置の正面図であ
る。第６図は半導体ウエーハを収納したキヤリア
を示す斜視図、第７図は従来の半導体ウエーハの
移し替え動作を説明するためのキヤリアを示す斜
視図である。 １……キヤリア、５ａ，５ｂ，５ｃ……半導体
ウエーハ、１１……移替機構、１３……バーコー
ドリーダ、１４……バーコード。
置の一実施例を説明するためのもので、第１図は
半導体ウエーハ立替装置の平面図、第２図は第１
図の断面図、第３図は半導体ウエーハ移し替え動
作を説明するための断面図、第４図は第３図の側
面図である。第５図は本考案の他の実施例を説明
するための半導体ウエーハ立替装置の正面図であ
る。第６図は半導体ウエーハを収納したキヤリア
を示す斜視図、第７図は従来の半導体ウエーハの
移し替え動作を説明するためのキヤリアを示す斜
視図である。 １……キヤリア、５ａ，５ｂ，５ｃ……半導体
ウエーハ、１１……移替機構、１３……バーコー
ドリーダ、１４……バーコード。
Claims (1)
- 半導体ウエーハに付設された品種表示用バーコ
ードを認識するバーコードリーダを、多品種に亘
る複数の半導体ウエーハが定ピツチで整列収納さ
れたキヤリアに対設し、上記バーコードリーダで
読取られた情報に基づいてキヤリア内の各半導体
ウエーハを順次取り出してその品種毎に並べ替え
る移替機構を設けたことを特徴とする半導体製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14371287U JPS6448032U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14371287U JPS6448032U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448032U true JPS6448032U (ja) | 1989-03-24 |
Family
ID=31410778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14371287U Pending JPS6448032U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6448032U (ja) |
-
1987
- 1987-09-18 JP JP14371287U patent/JPS6448032U/ja active Pending
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