JPS645177U - - Google Patents

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JPS645177U
JPS645177U JP9822187U JP9822187U JPS645177U JP S645177 U JPS645177 U JP S645177U JP 9822187 U JP9822187 U JP 9822187U JP 9822187 U JP9822187 U JP 9822187U JP S645177 U JPS645177 U JP S645177U
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JP
Japan
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pattern
test object
control unit
voltage
card
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JP9822187U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る半導体試験装置の一実施
例を示す構成図、第2図は動作フローを示す図、
第3図ないし第4図は動作を説明するためのデー
タおよびパターンを示す図、第5図はカウンタブ
ロツクの構成を示す図である。 CC……ホスト・コンピユータ、CU……コン
トロール・ユニツト、DUT……試験対象物、S
C……ソース系の計測カード、MS……メジヤー
系の計測カード、PGC……パターン・ジエネレ
ータ・カード、50……カウンタブロツク、51
……メモリ、52……マイクロプロセツサ、53
……バス、54a,54b,54c,54d……
カウンタ、55……プログラマブル・デバイダ、
56……基準クロツク発生器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ホスト・コンピユータの管理下でコントロール
    ・ユニツトから試験対象物に所定パターンの電圧
    または電流を印加し、その際に試験対象物から出
    力される電圧または電流をコントロール・ユニツ
    トで測定し、その測定結果に基づきホスト・コン
    ピユータで試験対象物の良否を判別することがで
    きるように構成された半導体試験装置において、 前記コントロール・ユニツトを、 テーブルに予め設定したパターン・データを
    順次に出力する任意パターンのスイープモードと
    、 複数個の固定のパターンが定められ、各固定
    パターンに対して予め設定された時間幅パラメー
    タから目的の複数の固定パターンを同時に生成す
    る固定パターンのスイープモードを備えたパター
    ン・ジエネレータ・カードと、 このパターン・ジエネレータ・カードから出力
    された一つまたは複数のパターンに応じて一つま
    たは複数の電圧または電流波形の出力を試験対象
    物に印加するソース系の計測カード より構成したことを特徴とする半導体試験装置
JP9822187U 1987-06-26 1987-06-26 Pending JPS645177U (ja)

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JP9822187U JPS645177U (ja) 1987-06-26 1987-06-26

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JPS645177U true JPS645177U (ja) 1989-01-12

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ID=31324291

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JP9822187U Pending JPS645177U (ja) 1987-06-26 1987-06-26

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