JPS645268B2 - - Google Patents

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JPS645268B2
JPS645268B2 JP55023706A JP2370680A JPS645268B2 JP S645268 B2 JPS645268 B2 JP S645268B2 JP 55023706 A JP55023706 A JP 55023706A JP 2370680 A JP2370680 A JP 2370680A JP S645268 B2 JPS645268 B2 JP S645268B2
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ray
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JP55023706A
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JPS56119876A (en
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Tetsuo Kurihara
Kosaku Nishio
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Priority to AU67465/81A priority patent/AU528620B2/en
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F30/00Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors
    • H10F30/20Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors
    • H10F30/29Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors the devices being sensitive to radiation having very short wavelengths, e.g. X-rays, gamma-rays or corpuscular radiation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16Measuring radiation intensity
    • G01T1/24Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08Electrical details
    • H05G1/26Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30Controlling
    • H05G1/38Exposure time
    • H05G1/42Exposure time using arrangements for switching when a predetermined dose of radiation has been applied, e.g. in which the switching instant is determined by measuring the electrical energy supplied to the tube
    • H05G1/44Exposure time using arrangements for switching when a predetermined dose of radiation has been applied, e.g. in which the switching instant is determined by measuring the electrical energy supplied to the tube in which the switching instant is determined by measuring the amount of radiation directly
    • HELECTRICITY
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はX線自動露出制御装置用として最適な
半導体X線検出器に関するものである。
従来より、被検体を透過したX線をフイルムに
投影させるX線診断装置には、必要とするX線量
を自動的に制御する露出制御装置が設けられてい
る。このX線自動露出制御装置は、通常、被検体
とフイルムとの間に設置されたX線検出手段によ
り被検体を透過したX線を検出してX線発生装置
を制御し、フイルム上に最適な像を得ようとする
ものである。この場合、X線の検出にはNaI(よ
う化ナトリウム)シンチレーター、フオトマルチ
プライヤ(光電子増倍管)あるいは電離箱を用い
る方法が採られており、半導体検出器を用いるも
のはまだ数少ない。
このようなX線露出制御装置に半導体X線検出
器を利用する場合、理想的には半導体X線検出器
によるX線減弱が全く生じない事が望ましいが、
これは不可能である。そこで、被検体のフイルム
上での像に影響を与え、診断精度を低下させるこ
とを防ぐために、検出器によるX線減弱に平面的
なムラを生じさせないことが要求される。また、
X線写真の鮮鋭度の面からは、検出器の厚さは薄
く、検出器と(散乱線除去のため被検体−検出器
間に挿入される)X線グリツドを含めた厚み寸法
(つまり被検体←→フイルム間距離)は小さくし、
X線拡大率が小さくなるようにすることが一般に
望まれる。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもの
で、後続するフイルムに検出器自体の陰影を出さ
ず、しかも拡大率を低減せしめることの可能な半
導体X線検出器を提供することを目的としてい
る。
すなわち、本発明の特徴とするところは、陰影
が生じない厚みとしてX線減弱量に関するアルミ
ニウム換算で800μm以下の半導体X線検出素子
を外周および内周部にテーパをつけたマウント台
に一体的にマウントして固定板に設けられた孔に
嵌合固定し、前記検出素子から陰影が生じない厚
みとして80μm以下のアルミニウム膜からなる電
極引き出し線を配設し、これらの全体の側面にX
線用グリツドを添設して一体に構成することにあ
る。
以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明
する。
第1図はX線自動露出制御装置の全体構成の一
例を示すものでX線管装置1から曝射されたX線
は被検体2を透過した後、その像がX線直接撮影
用フイルム3に投影される様になつている。図示
しないがフイルム3は増感紙と共にカセツテに入
つておりカセツテホルダ装置にセツトされてい
る。被検体2とフイルム3の間にX線自動露出制
御装置用の半導体X線検出器4が配置されてい
る。このX線検出器4はマウント台に一体的に固
定した半導体X線検出素子41を固定板42に設
けた穴に嵌合固定し、電極引き出し線43を配設
しさらにグリツドと一体化したもので、後に詳述
する様にX線の透過にムラが生じない様な考慮が
払われている。X線検出器4からの信号は増幅器
5を経て制御信号発生装置6へ入力される。この
制御信号発生装置6は被検体2の像がX線用フイ
ルム3に対して最適の露出状態になつた時点を入
力信号から判断し、X線制御器7へX線しや断信
号を送る。X線制御器7はこの信号によつて高電
圧発生装置8を制御してX線の曝射を停止させ
る。
X線検出器4の構造を詳細に示すと第2図a,
bの通りである。
半導体検出素子41は略リング状をなすマウン
ト台44にマウントされ、その後表面・裏面に電
極(図示せず)が被着されている。こうしてマウ
ント台44に一体的にマウントされたX線検出素
子41を固定板42に設けた穴に嵌合して固定
し、電極引出し線43−1,43−2を配設して
いる。ここで、マウント台44および固定板42
には例えばアクリル樹脂などX線減弱の小さい材
料を用いる。また、X線検出素子41はその厚み
を、X線減弱に関するアルミニウム換算(すなわ
ちX線アルミニウム当量)で100〜800μmとし、
電極引出し線43−1,43−2は厚さ30μm以
下のアルミニウム膜で形成する。そして、これら
の両面はそれぞれ絶縁用の薄膜45−1および4
5−2を介して電磁シールド用のアルミ箔46−
1および46−2で覆う。さらに、この一方の面
(裏面)には、化粧ならびに保護用のカバー(例
えばルミラー材)47を設ける。また、他方の面
すなわちX線入力面側には散乱X線除去用のグリ
ツド48を添設して一体化する。X線検出器4は
以上の一体構成によるものであり、特にグリツド
48については使用目的・用途に応じて最適な格
子間材質(アルミニウム、木等)、グリツドレシ
オ(8:1、10:1、…)、本数(34p/cm、
40p/cm、…)、X線焦点からの距離(80cm、
100cm、…)等がそれぞれ選ばれて前述のごとく
一体化されるものである。
X線検出器4の内部構造から、グリツド48を
添設しない場合には、一般的にX線検出器4とし
ての強度を持たせる意味で厚さ1.5〜2.5mm程度の
アクリル板あるいは厚さ1mm位のCFRP(炭素繊
維強化プラスチツク)等の強化プラスチツク板を
固定板42として使用するのが普通であるが、実
使用時にグリツドを使用することを考えると前記
アクリル板または強化プラスチツク板により必要
以上に厚みを増すことになり、X線拡大率の点で
は不利となる。これに対し、上述の構成ではグリ
ツド48をそのままX線検出器4の構造体とする
ことにより、X線検出器としての強度の一部をグ
リツド48が受け持ちまた、グリツド48を添設
した側には化粧・保護用のカバーを設ける必要も
なくなり、トータルシステム(グリツド+X線検
出器)の厚みを減らし、X線拡大率を低減するこ
とが可能である。
また、半導体検出器部分(検出素子41、固定
板42、引出し線43−1,43−2、マウント
台44)について注目するとX線減弱量は極めて
微少なものである。更に、マウント台44の外周
部すなわち固定板42との嵌合部および内周部に
は第2図bから明らかなようにテーパーをつけて
いる。このようにすることにより、マウント台4
4と固定板42およびマウント台44と検出素子
41の各境界部分でのX線減弱量の急激な変化が
抑えられる。
以上のように構造的な配慮を払つた半導体X線
検出器4を用いれば、X線用フイルム3にはこの
検出器4の陰影は生じない。また、グリツド48
を厚さ3mmとすれば半導体X線検出器4の全体の
厚さは6mm程度になり従来の方式(グリツド3
mm、検出器5mm、合計8mm)よりも薄くなる。
尚、以上詳述した本実施例のX線検出器4は、そ
のものが陰影が生じないことが前提条件であり、
この条件を満すために、X線検出素子41は、そ
の厚みを、X線減弱に関するアルミニウム換算で
100〜800μmとして、陰影を生じさせないように
し、また、電極引き出し線43−1,43−2に
ついても、例えば30μm以下として、陰影を生じ
させないようにしている。一般に、陰影が生じな
い条件の厚みとしては、X線検出素子41の厚み
は、800μm以下であれば良く、また、電極引き
出し線43−1,43−2の厚みは、80μm以下
であれば良い。
その他、半導体検出部をマウント台に複数個に
配置する等種々の変形実施が可能である。
以上述べたように、本発明によれば、X線検出
素子の厚み、電極引き出し線の厚み、マウント台
の形状等に構造的な工夫を施すとともに、グリツ
ドを一体化することにより、X線投影時の拡大率
を低減することができ、フイルムに不要な陰影を
生じさせることのない半導体X線検出器を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はX線自動露出制御装置の全体の構成を
示す図、第2図a,bは第1図の装置に適用した
本発明の一実施例の半導体X線検出器の構成を示
すものでそれぞれaが平面図、bがA−A′(分
解)断面図である。 4……半導体X線検出器、41……半導体X線
検出素子、42……固定板、43(43−1,4
3−2)……電極引出し線、44……マウント
台、48……グリツド。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 陰影が生じない厚みとしてX線減弱量に関す
    るアルミニウム換算で800μm以下の半導体X線
    検出素子を外周および内周部にテーパをつけたマ
    ウント台に一体的にマウントして固定板に設けら
    れた孔に嵌合固定し、前記検出素子から、陰影が
    生じない厚みとして80μm以下のアルミニウム膜
    からなる電極引き出し線を配設し、これら全体の
    側面にX線用グリツドを添設して一体に構成した
    ことを特徴とする半導体X線検出器。
JP2370680A 1980-02-27 1980-02-27 Semiconductor x-ray detector Granted JPS56119876A (en)

Priority Applications (6)

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JP2370680A JPS56119876A (en) 1980-02-27 1980-02-27 Semiconductor x-ray detector
US06/236,133 US4403150A (en) 1980-02-27 1981-02-18 Semiconductor radiation sensor arrangement for an automatic X-ray exposure control apparatus
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EP (1) EP0035182B1 (ja)
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DE (1) DE3172939D1 (ja)

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