JPS646535U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS646535U JPS646535U JP10194587U JP10194587U JPS646535U JP S646535 U JPS646535 U JP S646535U JP 10194587 U JP10194587 U JP 10194587U JP 10194587 U JP10194587 U JP 10194587U JP S646535 U JPS646535 U JP S646535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- vacuum
- vacuum gauge
- container
- piezoelectric
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の真空計を示すシステム構成図
、第２図は第１図に示す容器及び圧電素子の変形
例を示す図、第３図は従来の電離真空計を示す図
、第４図は従来のキヤパシタンス式絶対圧真空計
を示す図である。 １，７……容器、１ａ……開口、２，８……圧
電素子、６……表示部、１００……電離真空計、
１１０……キヤパシタンス式絶対圧真空計。
、第２図は第１図に示す容器及び圧電素子の変形
例を示す図、第３図は従来の電離真空計を示す図
、第４図は従来のキヤパシタンス式絶対圧真空計
を示す図である。 １，７……容器、１ａ……開口、２，８……圧
電素子、６……表示部、１００……電離真空計、
１１０……キヤパシタンス式絶対圧真空計。
Claims (1)
- 一部に開口を有する容器内に圧電素子を固定し
、この圧電素子に加わる空気圧の変化に応じて出
力する圧電電圧に基づいて真空度を算出するよう
にしたことを特徴とする真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10194587U JPS646535U (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10194587U JPS646535U (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646535U true JPS646535U (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=31331399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10194587U Pending JPS646535U (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS646535U (ja) |
-
1987
- 1987-07-02 JP JP10194587U patent/JPS646535U/ja active Pending