JPS64781B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS64781B2 JPS64781B2 JP58235776A JP23577683A JPS64781B2 JP S64781 B2 JPS64781 B2 JP S64781B2 JP 58235776 A JP58235776 A JP 58235776A JP 23577683 A JP23577683 A JP 23577683A JP S64781 B2 JPS64781 B2 JP S64781B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- exchange
- yoke
- bearing
- thrust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は電子線露光装置等の真空装置におけ
る試料交換装置に関するものである。
る試料交換装置に関するものである。
電子線露光装置などの超高真空を要求される電
子線露光装置では、大気側から真空内に試料を導
入し交換する必要があるが、Ｏリングパツキング
を真空シールとして使用することができないの
で、大気側からの力を真空内の試料交換棒に伝え
るには、金属ベローズや磁気の結合力を利用する
ことが行われる。通常このような試料交換装置で
は、交換棒を前進または後退させるときには小さ
い出力で十分であるが、最終段階の試料ホルダを
試料ステージに装着するとき、および脱着すると
きに大きい力を必要とするため、磁石の結合力を
利用する場合は最終段階での必要出力に見合つた
磁石の結合力を得る必要があり、このため装置が
大形化するという欠点があつた。
子線露光装置では、大気側から真空内に試料を導
入し交換する必要があるが、Ｏリングパツキング
を真空シールとして使用することができないの
で、大気側からの力を真空内の試料交換棒に伝え
るには、金属ベローズや磁気の結合力を利用する
ことが行われる。通常このような試料交換装置で
は、交換棒を前進または後退させるときには小さ
い出力で十分であるが、最終段階の試料ホルダを
試料ステージに装着するとき、および脱着すると
きに大きい力を必要とするため、磁石の結合力を
利用する場合は最終段階での必要出力に見合つた
磁石の結合力を得る必要があり、このため装置が
大形化するという欠点があつた。
この発明は上記のような従来の欠点を改善する
ためのもので、試料ホルダの着脱位置において、
交換棒に取付けられたヨークを軸方向軸受に固定
して磁石を回転させ、交換棒の回転力を減速的に
試料ホルダの推力に変換することにより、小形の
磁気回路で試料ホルダの着脱が可能で、これによ
り装置の小形化できる真空装置の試料交換装置を
提供することを目的としている。
ためのもので、試料ホルダの着脱位置において、
交換棒に取付けられたヨークを軸方向軸受に固定
して磁石を回転させ、交換棒の回転力を減速的に
試料ホルダの推力に変換することにより、小形の
磁気回路で試料ホルダの着脱が可能で、これによ
り装置の小形化できる真空装置の試料交換装置を
提供することを目的としている。
この発明は、ケーシング内を軸方向に移動して
試料ホルダを前進後退させる交換棒と、この交換
棒の軸方向の移動を許容しかつ固定軸受に回転可
能に支持される軸方向軸受と、前記交換棒に固定
されたヨークと、このヨークと磁路を形成するよ
うに前記ケーシングの外周に沿つて軸方向に移動
しかつ前進位置において外周に沿つて回転可能に
設けられた磁石と、試料ホルダ着脱位置において
前記ヨークを軸方向軸受に固定するクラツチと、
前記交換棒の回転力を減速的に試料ホルダ推力に
変換する機構と備えたことを特徴とする真空装置
の試料交換装置である。
試料ホルダを前進後退させる交換棒と、この交換
棒の軸方向の移動を許容しかつ固定軸受に回転可
能に支持される軸方向軸受と、前記交換棒に固定
されたヨークと、このヨークと磁路を形成するよ
うに前記ケーシングの外周に沿つて軸方向に移動
しかつ前進位置において外周に沿つて回転可能に
設けられた磁石と、試料ホルダ着脱位置において
前記ヨークを軸方向軸受に固定するクラツチと、
前記交換棒の回転力を減速的に試料ホルダ推力に
変換する機構と備えたことを特徴とする真空装置
の試料交換装置である。
以下、この発明を図示実施例により説明する。
第１図はこの発明の一実施例による試料交換装
置の概要を示す一部を断面で表わした分解斜視
図、第２図はその要部断面図、第３図はそのＡ−
Ａ断面図、第４図はＢ−Ｂ断面図である。
置の概要を示す一部を断面で表わした分解斜視
図、第２図はその要部断面図、第３図はそのＡ−
Ａ断面図、第４図はＢ−Ｂ断面図である。
図面において、１は試料室で、試料ステージ２
がＸ方向およびＹ方向に移動できるように設けら
れている。試料ステージ２には受台３が設けら
れ、そのアリ溝４に試料ホルダ５の係合部６がガ
イド部７から挿入されるようになつている。試料
ホルダ５は上面に試料８を保持し、後面にねじ穴
９を有する。試料室１には仕切弁１０および排気
口１１を有する試料交換室１２が接続し、その着
脱可能の蓋１３にはケーシング１４が取付けられ
ている。
がＸ方向およびＹ方向に移動できるように設けら
れている。試料ステージ２には受台３が設けら
れ、そのアリ溝４に試料ホルダ５の係合部６がガ
イド部７から挿入されるようになつている。試料
ホルダ５は上面に試料８を保持し、後面にねじ穴
９を有する。試料室１には仕切弁１０および排気
口１１を有する試料交換室１２が接続し、その着
脱可能の蓋１３にはケーシング１４が取付けられ
ている。
ケーシング１４内には軸方向に移動する交換棒
１５が設けられ、その先端にはねじ穴９にねじつ
けられるねじ部１６を有し、試料ホルダ５を試料
交換室１２から試料室１の着脱位置まで前進また
は後退させるようになつている。交換棒１５はケ
ーシング１４の前部において、軸方向に複数のベ
アリング１７を有する軸方向軸受１８により軸方
向の移動ができるように支持されている。軸方向
軸受１８はそのハウジング１９が円周方向のベア
リング２０を有する固定軸受２１に回転可能に支
持されており、ハウジング１９の後部にはフツク
部１９ａが形成されている。交換棒１５の後部
は、複数のローラ２２によつて軸方向の移動が可
能とされた移動軸受２３にベアリング２４を介し
て回転可能に支持されている。
１５が設けられ、その先端にはねじ穴９にねじつ
けられるねじ部１６を有し、試料ホルダ５を試料
交換室１２から試料室１の着脱位置まで前進また
は後退させるようになつている。交換棒１５はケ
ーシング１４の前部において、軸方向に複数のベ
アリング１７を有する軸方向軸受１８により軸方
向の移動ができるように支持されている。軸方向
軸受１８はそのハウジング１９が円周方向のベア
リング２０を有する固定軸受２１に回転可能に支
持されており、ハウジング１９の後部にはフツク
部１９ａが形成されている。交換棒１５の後部
は、複数のローラ２２によつて軸方向の移動が可
能とされた移動軸受２３にベアリング２４を介し
て回転可能に支持されている。
移動軸受２３に隣接してヨーク２５がねじ２５
ａにより交換棒１５に取付けられており、ヨーク
２５の前部にはフツク２５ｂが形成されている。
ヨーク２５の前進位置２５ｃにおいて、フツク部
１９ａおよび２５ｂが重合する位置の外周にはク
ラツチ２６が配置され、フツク部１９ａ，２５ｂ
をスラスト方向に結合するようになつている。ク
ラツチ２６は、ベローズ２７によりケーシング４
に支持されるシヤフト２８、このシヤフト２８に
取付けられた外環２９、およびこの外環２９にベ
アリング３０を介して回転可能に取付けられた内
環３１からなり、内環３１は偏心によりフツク部
１９ａ，２５ｂを緊結して挟持するように断面コ
字状に形成されている。
ａにより交換棒１５に取付けられており、ヨーク
２５の前部にはフツク２５ｂが形成されている。
ヨーク２５の前進位置２５ｃにおいて、フツク部
１９ａおよび２５ｂが重合する位置の外周にはク
ラツチ２６が配置され、フツク部１９ａ，２５ｂ
をスラスト方向に結合するようになつている。ク
ラツチ２６は、ベローズ２７によりケーシング４
に支持されるシヤフト２８、このシヤフト２８に
取付けられた外環２９、およびこの外環２９にベ
アリング３０を介して回転可能に取付けられた内
環３１からなり、内環３１は偏心によりフツク部
１９ａ，２５ｂを緊結して挟持するように断面コ
字状に形成されている。
ケーシング１４の後半部外周の両側に設けられ
たガイド３２，３３により、ケーシング１４の外
周に沿つて軸方向に移動するようにヨーク３４，
３５が設けられ、その両側に馬蹄形磁石３６，３
７が接続し、ヨーク２５を通して磁路が形成され
るようになつている。３８は磁力線、３９はヨー
ク３４と馬蹄形磁石３６，３７を固定する金具で
ある。ヨーク３４，３５および磁石３６，３７は
結合した状態で移動し、前進位置３４ａにおいて
ケーシング１４の外周に沿つて回転できるよう
に、ガイド３２，３３の前半部が欠除した形状に
なつている。
たガイド３２，３３により、ケーシング１４の外
周に沿つて軸方向に移動するようにヨーク３４，
３５が設けられ、その両側に馬蹄形磁石３６，３
７が接続し、ヨーク２５を通して磁路が形成され
るようになつている。３８は磁力線、３９はヨー
ク３４と馬蹄形磁石３６，３７を固定する金具で
ある。ヨーク３４，３５および磁石３６，３７は
結合した状態で移動し、前進位置３４ａにおいて
ケーシング１４の外周に沿つて回転できるよう
に、ガイド３２，３３の前半部が欠除した形状に
なつている。
上記のように構成された試料交換装置において
は、第２図の位置からガイド３２，３３に沿つて
ヨーク３４，３５および磁石３６，３７を前進さ
せると、これらと磁路を形成するヨーク２５もこ
れに従つてケーシング４内を前進する。このとき
移動軸受２３はローラ２２によつて軸方向に移動
し、交換棒１５はこれに支持されているため、軸
方向軸受１８に摺動して前進する。ヨーク２５が
前進位置２５ｃまで前進すると、交換棒１５の先
端にねじ付けられた試料ホルダ５は試料交換室１
２から試料室１の着脱位置に前進し、ガイド部７
がアリ溝４に挿入される。
は、第２図の位置からガイド３２，３３に沿つて
ヨーク３４，３５および磁石３６，３７を前進さ
せると、これらと磁路を形成するヨーク２５もこ
れに従つてケーシング４内を前進する。このとき
移動軸受２３はローラ２２によつて軸方向に移動
し、交換棒１５はこれに支持されているため、軸
方向軸受１８に摺動して前進する。ヨーク２５が
前進位置２５ｃまで前進すると、交換棒１５の先
端にねじ付けられた試料ホルダ５は試料交換室１
２から試料室１の着脱位置に前進し、ガイド部７
がアリ溝４に挿入される。
この状態でヨーク３４は前進位置３４ａに前進
してガイド３２，３３の前端部から外れた位置に
達し、ヨーク２５のフツク部２５ｂは前進位置２
５ｃにおいてハウジング１９のフツク部１９ａと
重合するので、クラツチ２６のシヤフト２８を押
して外環２９および内環３１を偏心させると、内
環３１はフツク部１９ａ，２５ｂを重合状態でつ
かみ込み、スラスト方向に結合する。この状態か
らヨーク３４，３５および磁石３６，３７をガイ
ド３２，３３の前端に沿つてケーシング１４の外
周を回転（ねじ部１６が右ねじの場合は左方向回
転）させると、ヨーク２５および軸方向軸受１８
とともに交換棒１５がベアリング２０および２４
に支持されて回転する。このとき交換棒１５は軸
方向には定位置の状態で回転し、試料ホルダ５は
受台３によつて回転を規制されるから、回転力は
ねじ部１６により減速的な推力に変換され、ねじ
つけられた試料ホルダ５を軸方向に前進させる。
こうして係合部６はアリ溝４に挿入され、試料ホ
ルダ５は試料ステージ２に装着される。
してガイド３２，３３の前端部から外れた位置に
達し、ヨーク２５のフツク部２５ｂは前進位置２
５ｃにおいてハウジング１９のフツク部１９ａと
重合するので、クラツチ２６のシヤフト２８を押
して外環２９および内環３１を偏心させると、内
環３１はフツク部１９ａ，２５ｂを重合状態でつ
かみ込み、スラスト方向に結合する。この状態か
らヨーク３４，３５および磁石３６，３７をガイ
ド３２，３３の前端に沿つてケーシング１４の外
周を回転（ねじ部１６が右ねじの場合は左方向回
転）させると、ヨーク２５および軸方向軸受１８
とともに交換棒１５がベアリング２０および２４
に支持されて回転する。このとき交換棒１５は軸
方向には定位置の状態で回転し、試料ホルダ５は
受台３によつて回転を規制されるから、回転力は
ねじ部１６により減速的な推力に変換され、ねじ
つけられた試料ホルダ５を軸方向に前進させる。
こうして係合部６はアリ溝４に挿入され、試料ホ
ルダ５は試料ステージ２に装着される。
この時の力に関する関係式は以下の通りであ
る。
る。
Ｆ：ねじ山中央部で円周方向に作用する力
Ｑ：軸方向の力
α：ねじのピツチ角
2β：ねじ山の角度
μ：ねじ部の摩擦係数
Fm・Ｌ＝Ｆ・ｒ＋Ｑ・ra×μa ……(2)
Fm：磁気結合力
Ｌ：磁気結合力のモーメントの腕の長さ
ra：スラストを支持する軸受の平均半径
μa：スラストを支持する軸受の摩擦係数
ｒ：ねじ山の平均半径
このようにして、磁気結合力よりも十分に大き
い軸方向の出力を得ることができ、小形の磁気回
路により試料ホルダ５を試料ステージ２に装着す
ることができる。試料ホルダ５を試料ステージ２
から脱着する場合は逆の操作により行うことがで
きる。
い軸方向の出力を得ることができ、小形の磁気回
路により試料ホルダ５を試料ステージ２に装着す
ることができる。試料ホルダ５を試料ステージ２
から脱着する場合は逆の操作により行うことがで
きる。
なお上記の説明において、回転力を減速的な推
力に変換する機構として、ねじを使用したが、ボ
ールねじ、バヨネツトその他の機構でもよい。ま
た磁気回路、軸受、およびクラツチ等も図示のも
のに限らず、他の構造のものでもよい。さらに本
発明は電子線露光装置に限らず、他の真空装置の
試料交換装置にも適用可能である。
力に変換する機構として、ねじを使用したが、ボ
ールねじ、バヨネツトその他の機構でもよい。ま
た磁気回路、軸受、およびクラツチ等も図示のも
のに限らず、他の構造のものでもよい。さらに本
発明は電子線露光装置に限らず、他の真空装置の
試料交換装置にも適用可能である。
この発明によれば、磁石の結合力を利用する試
料交換装置において、試料ホルダの着脱時に、交
換棒に取付けられたヨークを軸方向軸受に固定し
て磁石を回転させ、交換棒の回転力を減速的に推
力に変換して試料ホルダを着脱するようにしたの
で、磁気結合力よりも大きい軸方向の推力を得る
ことができ、このため小形の磁気回路により試料
ホルダの着脱が可能となり、装置を小形化するこ
とができる。
料交換装置において、試料ホルダの着脱時に、交
換棒に取付けられたヨークを軸方向軸受に固定し
て磁石を回転させ、交換棒の回転力を減速的に推
力に変換して試料ホルダを着脱するようにしたの
で、磁気結合力よりも大きい軸方向の推力を得る
ことができ、このため小形の磁気回路により試料
ホルダの着脱が可能となり、装置を小形化するこ
とができる。
第１図はこの発明の一実施例による試料交換装
置の概要を示す一部を断面で表わした分解斜視
図、第２図はその要部断面図、第３図はそのＡ−
Ａ断面図、第４図はＢ−Ｂ断面図である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、１は試料
室、２は試料ステージ、３は受台、４はアリ溝、
５は試料ホルダ、９はねじ穴、１２は試料交換
室、１４はケーシング、１５は交換棒、１６はね
じ部、１８は軸方向軸受、２１は固定軸受、２３
は移動軸受、２５，３４，３５はヨーク、２６は
クラツチ、３２，３３はガイド、３６，３７は磁
石である。
置の概要を示す一部を断面で表わした分解斜視
図、第２図はその要部断面図、第３図はそのＡ−
Ａ断面図、第４図はＢ−Ｂ断面図である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、１は試料
室、２は試料ステージ、３は受台、４はアリ溝、
５は試料ホルダ、９はねじ穴、１２は試料交換
室、１４はケーシング、１５は交換棒、１６はね
じ部、１８は軸方向軸受、２１は固定軸受、２３
は移動軸受、２５，３４，３５はヨーク、２６は
クラツチ、３２，３３はガイド、３６，３７は磁
石である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ケーシング内を軸方向に移動して試料ホルダ
を前進後退させる交換棒と、この交換棒の軸方向
の移動を許容しかつ固定軸受に回転可能に支持さ
れる軸方向軸受と、前記交換棒に固定されたヨー
クと、このヨークと磁路を形成するように前記ケ
ーシングの外周に沿つて軸方向に移動しかつ前進
位置において外周に沿つて回転可能に設けられた
磁石と、試料ホルダ着脱位置において前記ヨーク
を軸方向軸受に固定するクラツチと、前記交換棒
の回転力を減速的に試料ホルダの推力に変換する
機構とを備えたことを特徴とする真空装置の試料
交換装置。 ２ 交換棒が後部を移動軸受により支持された特
許請求の範囲第１項記載の真空装置の試料交換装
置。 ３ 磁石がケーシングの外周に設けられたガイド
に沿つて移動するヨークに接続した特許請求の範
囲第１項または第２項記載の真空装置の試料交換
装置。 ４ クラツチが軸方向軸受およびヨークのフツク
部を重合状態でスラスト方向に結合する特許請求
の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の真
空装置の試料交換装置。 ５ 推力に変換する機構がねじ、ボールねじまた
はバヨネツトである特許請求の範囲第１項ないし
第４項のいずれかに記載の真空装置の試料交換装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58235776A JPS60127646A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 真空装置の試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58235776A JPS60127646A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 真空装置の試料交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60127646A JPS60127646A (ja) | 1985-07-08 |
| JPS64781B2 true JPS64781B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=16991068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58235776A Granted JPS60127646A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 真空装置の試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60127646A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1032224C2 (nl) * | 2006-07-21 | 2008-01-22 | Univ Delft Tech | Werkwijze voor sample preparatie voor cryo-elektronenmicroscopie (CEM), microreactor en laadperron. |
| JP5401408B2 (ja) * | 2010-07-20 | 2014-01-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子応用装置 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP58235776A patent/JPS60127646A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60127646A (ja) | 1985-07-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6058868B2 (ja) | レバ−操作式車椅子 | |
| JPS57210456A (en) | Objective lens device | |
| AU6934991A (en) | Segmented coupling for pipes | |
| FR2452782A1 (fr) | Tube de rontgen dont l'anode rotative repose dans un palier magnetique | |
| US5556048A (en) | Backlash preventive device for use in a dual bearing type reel for fishing | |
| JPS64781B2 (ja) | ||
| US6237728B1 (en) | Eddy current reduction braking system | |
| JPS6012925A (ja) | 両軸受リ−ル | |
| SE7907858L (sv) | Hantering av arbetsstycken | |
| GB2040008A (en) | Sealing assembly for mixing apparatus | |
| JPH0543093Y2 (ja) | ||
| JPS6235329Y2 (ja) | ||
| JPH07310801A (ja) | 規則的直線運動実施用移送装置 | |
| CN216096425U (zh) | 一种高气密性齿轮主轴 | |
| CN224027661U (zh) | 基于多向调节式旋转拍摄手环的机器人灵巧手 | |
| CN224102897U (zh) | 维保拆装工台 | |
| CN223728098U (zh) | 光圈结构和投影镜头 | |
| JP3019190U (ja) | 魚釣用両ベアリング形リール | |
| JPH04167346A (ja) | 電子顕微鏡等における試料装置 | |
| CN221569807U (zh) | 一种伸缩范围可调的伸缩节 | |
| JPH07205078A (ja) | 真空装置用の試料搬送装置 | |
| JPS5935923U (ja) | 交換レンズの絞操作環の回動制御機構 | |
| JPH0540364Y2 (ja) | ||
| JPS5836170Y2 (ja) | 架空線作業用宙乗機ホイ−ル装置 | |
| JPH1164704A (ja) | レンズ鏡筒 |