JPH04167346A - 電子顕微鏡等における試料装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における試料装置Info
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- JPH04167346A JPH04167346A JP2292633A JP29263390A JPH04167346A JP H04167346 A JPH04167346 A JP H04167346A JP 2292633 A JP2292633 A JP 2292633A JP 29263390 A JP29263390 A JP 29263390A JP H04167346 A JPH04167346 A JP H04167346A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡等の試料装置に関するものである。
第８図により従来のサイドエントリータイプのゴニオメ
ータについて説明する。
ータについて説明する。
第８図ｆａ）は電子顕微鏡の電子線光軸と垂直な断面を
示す図であり、第８図（ｂ）は電子線光軸に平行な断面
を示す図である。
示す図であり、第８図（ｂ）は電子線光軸に平行な断面
を示す図である。
いま、電子線光軸の方向をＺ軸、試料装置の軸方向をＸ
軸、試料装置の軸に垂直な方向をＹ軸とする。試料装置
ユニット８０の軸８１の外周部にはＹ軸およびＺ＠駆動
ユニットが設けられ、軸全体は球面軸受９２によってフ
レームに支持されている。
軸、試料装置の軸に垂直な方向をＹ軸とする。試料装置
ユニット８０の軸８１の外周部にはＹ軸およびＺ＠駆動
ユニットが設けられ、軸全体は球面軸受９２によってフ
レームに支持されている。
Ｙ軸駆動ユニットは図示しない駆動用モータによって、
第８図（ａｌに示すＹ軸駆動用テコ８２がＹ軸方向に駆
動されて軸８１をスプリング８３に抗してＹ方向に移動
させ、軸８１の先端部に連結された試料操作棒８５を変
位させて試料室８４内の試料をＹ方向に変位させる。
第８図（ａｌに示すＹ軸駆動用テコ８２がＹ軸方向に駆
動されて軸８１をスプリング８３に抗してＹ方向に移動
させ、軸８１の先端部に連結された試料操作棒８５を変
位させて試料室８４内の試料をＹ方向に変位させる。
Ｚ軸方向への移動は第８図（ｂ）に示すように、Ｚ軸駆
動ユニット８６により支点８８を中心にＸ軸駆動用テコ
８７を回転させ、軸８１をスプリング８３に抗してＺ方
向に移動させている。このＹ動、Ｚ動は球面軸受９２に
よって行われる。
動ユニット８６により支点８８を中心にＸ軸駆動用テコ
８７を回転させ、軸８１をスプリング８３に抗してＺ方
向に移動させている。このＹ動、Ｚ動は球面軸受９２に
よって行われる。
Ｘ軸周りのティルト（傾斜）はＸ軸傾斜ユニット８９に
より行っている。これは、第８図（ｂ）に示すように、
Ｘ軸傾斜ユニット８９により、ウオームギヤ９０が回転
駆動され、これと係合した回転ギヤ９０が回転して軸８
１を回転駆動し、その結果試料はＹ軸の周りに傾斜する
。
より行っている。これは、第８図（ｂ）に示すように、
Ｘ軸傾斜ユニット８９により、ウオームギヤ９０が回転
駆動され、これと係合した回転ギヤ９０が回転して軸８
１を回転駆動し、その結果試料はＹ軸の周りに傾斜する
。
Ｘ軸方向の移動は、図示しないＸ軸駆動用ユニットによ
って支点を中心に回転するＸ軸駆動用テコ９６によって
行われ、この場合ホルダ側から試料室側への移動は、試
料室と大気圧との圧力差によって行われ、テコ９６は試
料室側からホルダ側への移動を行う。
って支点を中心に回転するＸ軸駆動用テコ９６によって
行われ、この場合ホルダ側から試料室側への移動は、試
料室と大気圧との圧力差によって行われ、テコ９６は試
料室側からホルダ側への移動を行う。
なお、ｘ、ｙ、ｚ動およびＸ軸傾斜は４軸ユーセントリ
ツクに行われ、また試料室真空側と試料装置大気側とは
パイトン０リング９３．９４によって真空シールされて
いる。
ツクに行われ、また試料室真空側と試料装置大気側とは
パイトン０リング９３．９４によって真空シールされて
いる。
第８図に示す超高真空用のサイドエントリーゴニオメー
タでは、パイトン０リングを使用して真空シールしてい
るが、パイトン０リングからの放出ガスが大きいため真
空焼き出し温度は最大１００〜１２０℃で超高真空の達
成が困難であるとともに、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｘ軸傾斜駆動ユ
ニットは同一部材上に設けられているもののＸ軸駆動ユ
ニットは別部材として設けており、さらに、Ｙ軸試料傾
斜を行うことができないという問題があった。
タでは、パイトン０リングを使用して真空シールしてい
るが、パイトン０リングからの放出ガスが大きいため真
空焼き出し温度は最大１００〜１２０℃で超高真空の達
成が困難であるとともに、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｘ軸傾斜駆動ユ
ニットは同一部材上に設けられているもののＸ軸駆動ユ
ニットは別部材として設けており、さらに、Ｙ軸試料傾
斜を行うことができないという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためのもので、Ｘ。
Ｙ、 Ｚ動、 ｘ、 Ｘ軸傾斜の５軸駆動ユニツトを同
一部材に設けるとともに、５軸の動き全てに対してメタ
ルシール化を図って超高真空対応の構造とすることがで
きる電子顕微鏡等の試料装置を提供することを目的とす
る。
一部材に設けるとともに、５軸の動き全てに対してメタ
ルシール化を図って超高真空対応の構造とすることがで
きる電子顕微鏡等の試料装置を提供することを目的とす
る。
そのために本発明の電子顕微鏡等における試料装置は、
試料室壁より電子線光軸に対して直角に装着するサイド
エントリーゴニオメータにおいて、球面軸受で支持され
るともに、一端が試料室と大気とをシールする金属ベロ
ーに接続された中空フレームと、中空フレームをネジ結
合によりＸ軸方向に移動させて試料を長手方向に動かす
中空フレーム外周部に設けられたＸ軸駆動手段と、中空
フレームを押圧して試料をＹ軸方向に動かす中空フレー
ム外周部に設けられたＹ軸駆動手段と、中空フレームを
押圧して試料をＺ軸方向に動かす中空フレーム外周部に
設けられたＺ軸駆動手段と、磁気結合により中空フレー
ム外から中空フレーム内の中空パイプに回転力を与えて
試料をＸ軸周りに傾斜させるＸ軸傾斜駆動手段と、中空
パイプ内に設けられ、一端が金属ベローズに接続された
シャフトを前後動させることにより試料をＹ軸周りに傾
斜させるＹ軸傾斜駆動手段とを備えたことを特徴とする
。
試料室壁より電子線光軸に対して直角に装着するサイド
エントリーゴニオメータにおいて、球面軸受で支持され
るともに、一端が試料室と大気とをシールする金属ベロ
ーに接続された中空フレームと、中空フレームをネジ結
合によりＸ軸方向に移動させて試料を長手方向に動かす
中空フレーム外周部に設けられたＸ軸駆動手段と、中空
フレームを押圧して試料をＹ軸方向に動かす中空フレー
ム外周部に設けられたＹ軸駆動手段と、中空フレームを
押圧して試料をＺ軸方向に動かす中空フレーム外周部に
設けられたＺ軸駆動手段と、磁気結合により中空フレー
ム外から中空フレーム内の中空パイプに回転力を与えて
試料をＸ軸周りに傾斜させるＸ軸傾斜駆動手段と、中空
パイプ内に設けられ、一端が金属ベローズに接続された
シャフトを前後動させることにより試料をＹ軸周りに傾
斜させるＹ軸傾斜駆動手段とを備えたことを特徴とする
。
本発明は、サイドエントリーゴニオメータの基本フレー
ムとして中空フレームを使用し、これをメタルベローズ
で固定部に取り付けて真空シールするとともに、Ｘ、
Ｙ、 Ｚ軸駆動ユニットを中空フレーム外周上に設け、
中空フレーム内に外側から回転力を中空フレーム内に伝
える磁気結合型の回転導入器を設けてＸ軸傾斜を行い、
中空フレーム内に一端が金属ベローズに接続され、Ｙ軸
に沿ってスライド可能なシャフトを設けてＹ軸試料傾斜
を行わせることにより、超高真空対応の５軸ユーセント
リツクホルダーを実現することができる。
ムとして中空フレームを使用し、これをメタルベローズ
で固定部に取り付けて真空シールするとともに、Ｘ、
Ｙ、 Ｚ軸駆動ユニットを中空フレーム外周上に設け、
中空フレーム内に外側から回転力を中空フレーム内に伝
える磁気結合型の回転導入器を設けてＸ軸傾斜を行い、
中空フレーム内に一端が金属ベローズに接続され、Ｙ軸
に沿ってスライド可能なシャフトを設けてＹ軸試料傾斜
を行わせることにより、超高真空対応の５軸ユーセント
リツクホルダーを実現することができる。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の試料装置の電子線光軸に垂直な断面図
、第２図はＸ軸傾斜機構を説明するための図、第３図は
Ｚ動を説明するための図、第４図はＹ動を説明するため
の図、第５図は試料装置の電子線光軸方向における断面
図、第６図はＸ軸傾斜駆動ユニットを説明するための図
、第７図はＹ軸傾斜機構を説明するための図である。図
中、ｌはメタル０リング、２はベローズ、３はベアリン
グ、４は軸合わせ用ネジ、５はブロック、６は傾斜用ギ
ヤ、７はＹ軸駆動用ネジ、８はｘ、ｙ、ｚ軸用フレーム
、９はＸ軸傾斜用ガイド、１０はガイド、１１は傾斜用
カバー、１２はマグネット、１３はベアリング、１４は
ベローズ、１５はネジ、１６はつまみ、１７はギヤ、１
８はＸ軸駆動用ギヤ、１９はＸ軸駆動用モータ、２２は
スプリング、２３は試料ホルダー、２５は試料傾斜用シ
ャフト、２４は受台支え、２６は傾斜用パイプ、２７は
球面軸受、２８はスプリング、２９は試料ホルダー受台
、３０はスプリング、３１はＸ、Ｙ、Ｚ軸周フレーム、
３２はマグネット支持部材、３３はシャフト結合部材、
３５は試料室壁、３６は試料室、４０はＺ軸駆動用モー
タ、４１．４２はギヤ、４３はネジ、４４はスライダ、
４５はＺ軸周テコ、５０はギヤ、５１はネジ、５２はス
ライダ、６０はＸ軸傾斜用モータ、６１はウオームギヤ
、６２はフレームである。
、第２図はＸ軸傾斜機構を説明するための図、第３図は
Ｚ動を説明するための図、第４図はＹ動を説明するため
の図、第５図は試料装置の電子線光軸方向における断面
図、第６図はＸ軸傾斜駆動ユニットを説明するための図
、第７図はＹ軸傾斜機構を説明するための図である。図
中、ｌはメタル０リング、２はベローズ、３はベアリン
グ、４は軸合わせ用ネジ、５はブロック、６は傾斜用ギ
ヤ、７はＹ軸駆動用ネジ、８はｘ、ｙ、ｚ軸用フレーム
、９はＸ軸傾斜用ガイド、１０はガイド、１１は傾斜用
カバー、１２はマグネット、１３はベアリング、１４は
ベローズ、１５はネジ、１６はつまみ、１７はギヤ、１
８はＸ軸駆動用ギヤ、１９はＸ軸駆動用モータ、２２は
スプリング、２３は試料ホルダー、２５は試料傾斜用シ
ャフト、２４は受台支え、２６は傾斜用パイプ、２７は
球面軸受、２８はスプリング、２９は試料ホルダー受台
、３０はスプリング、３１はＸ、Ｙ、Ｚ軸周フレーム、
３２はマグネット支持部材、３３はシャフト結合部材、
３５は試料室壁、３６は試料室、４０はＺ軸駆動用モー
タ、４１．４２はギヤ、４３はネジ、４４はスライダ、
４５はＺ軸周テコ、５０はギヤ、５１はネジ、５２はス
ライダ、６０はＸ軸傾斜用モータ、６１はウオームギヤ
、６２はフレームである。
第１図において、試料装置の先端部は試料室壁３５を通
して試料室３６に挿入され、電子線光軸に垂直な軸心を
持つ中空パイプ状フレーム３１内にはマグネット１２に
より、回転駆動されるＸ軸傾斜用パイプ２６が設けられ
、さらにパイプ２６内にはＹ軸試料傾斜用シャフト２５
が設けられている。フレーム３１はＸ、 Ｙ、 Ｚ動等
の動きを許容するメタル製ベローズ２の一端に取り付け
られた基本フレームであり、ベローズ２の他端は試料装
置に固定されて試料室内と試料装置の大気側との真空シ
ールを行っている。また、フレーム３１と一体にその周
囲に設けられたフレーム８には球面状膨出部３６が設け
られ、球面軸受２７により転勤可能に支持されている。
して試料室３６に挿入され、電子線光軸に垂直な軸心を
持つ中空パイプ状フレーム３１内にはマグネット１２に
より、回転駆動されるＸ軸傾斜用パイプ２６が設けられ
、さらにパイプ２６内にはＹ軸試料傾斜用シャフト２５
が設けられている。フレーム３１はＸ、 Ｙ、 Ｚ動等
の動きを許容するメタル製ベローズ２の一端に取り付け
られた基本フレームであり、ベローズ２の他端は試料装
置に固定されて試料室内と試料装置の大気側との真空シ
ールを行っている。また、フレーム３１と一体にその周
囲に設けられたフレーム８には球面状膨出部３６が設け
られ、球面軸受２７により転勤可能に支持されている。
この軸受部はＹ、Ｚ動の中心となっており、軸受面には
ベローズ２にかかる大気正分とスプリング２８で常に軸
受部２７にフレーム８の球面が押し付けられている。
ベローズ２にかかる大気正分とスプリング２８で常に軸
受部２７にフレーム８の球面が押し付けられている。
フレーム３１の外周部材の外側にはフレーム８が取り付
けられ、フレーム８と３１とは同時に同じ方向に動かす
ことができるようになっており、フレーム８をネジ７で
Ｙ軸方向に押すことによりＹ動が得られる。
けられ、フレーム８と３１とは同時に同じ方向に動かす
ことができるようになっており、フレーム８をネジ７で
Ｙ軸方向に押すことによりＹ動が得られる。
即ち、第５図のＢ−Ｂ断面図である第４図を参照すると
、図示しないモータによりギヤ５０が回転駆動され、ネ
ジ５１が回動することにより、スライダ５２がスライド
し、その結果テコ５３が支点５４を中心に回動して反対
側に設けられたスプリング２２に抗してフレーム８をＹ
軸方向に移動させ、その反対側への移動はスプリング２
２により行い、試料をＹ軸方向に動かせるようになって
いる。
、図示しないモータによりギヤ５０が回転駆動され、ネ
ジ５１が回動することにより、スライダ５２がスライド
し、その結果テコ５３が支点５４を中心に回動して反対
側に設けられたスプリング２２に抗してフレーム８をＹ
軸方向に移動させ、その反対側への移動はスプリング２
２により行い、試料をＹ軸方向に動かせるようになって
いる。
Ｚ動については、第５図のＣ−Ｃ断面図である第３図（
ａｌ、さらに第３図（ａｌの側面図である第３図ｆｂ）
に示すように、Ｚ軸駆動用モータ４０によりギヤ４１．
４２が回転駆動され、その結果ネジ４３が駆動されてス
ライダ４４がスライドし、Ｚ軸用テコ４４が支点４６を
中心に回転して、フレーム８をＺ軸方向に変位させるよ
うになっている。この場合も反対側への移動はスプリン
グ２２によって行われ、試料をＺ軸方向に動かせるよう
になっている。
ａｌ、さらに第３図（ａｌの側面図である第３図ｆｂ）
に示すように、Ｚ軸駆動用モータ４０によりギヤ４１．
４２が回転駆動され、その結果ネジ４３が駆動されてス
ライダ４４がスライドし、Ｚ軸用テコ４４が支点４６を
中心に回転して、フレーム８をＺ軸方向に変位させるよ
うになっている。この場合も反対側への移動はスプリン
グ２２によって行われ、試料をＺ軸方向に動かせるよう
になっている。
また、ブロック５にはベアリング３が取り付けられ、Ｘ
軸傾斜用の軸受になっているとともに、ネジ４でブロッ
ク５を押すことにより、ゴニオメータ全体の軸合わせ（
ユーセントリック合わせ）ができるようになっている。
軸傾斜用の軸受になっているとともに、ネジ４でブロッ
ク５を押すことにより、ゴニオメータ全体の軸合わせ（
ユーセントリック合わせ）ができるようになっている。
Ｘ軸傾斜については、Ｘ軸傾斜用ガイド９に傾斜用ギヤ
６が取り付けられていて、第５図のＡ−Ａ断面図である
第６図に示すように、Ｘ軸傾斜用モータ６０によりウオ
ームギヤ６１と傾斜用ギヤ６が回転駆動され、その結果
フレーム６２を介してガイド９がガイドｌＯに案内され
て回転し、傾斜用カバー１１が回転駆動される。第２図
に断面図を示すように、傾斜用カバー１１にはマグネッ
ト１２が取り付けられており、このマグネットと磁気結
合するマグネット１２がフレーム３１内に設けられ、ガ
イド９の回転によりマグネット１２が回転し、その結果
パイプ２６が回転して試料をＸ軸の周りに傾斜させるこ
とができる。このときベアリング１３がマグネット１２
、パイプ２６の軸受となっている。
６が取り付けられていて、第５図のＡ−Ａ断面図である
第６図に示すように、Ｘ軸傾斜用モータ６０によりウオ
ームギヤ６１と傾斜用ギヤ６が回転駆動され、その結果
フレーム６２を介してガイド９がガイドｌＯに案内され
て回転し、傾斜用カバー１１が回転駆動される。第２図
に断面図を示すように、傾斜用カバー１１にはマグネッ
ト１２が取り付けられており、このマグネットと磁気結
合するマグネット１２がフレーム３１内に設けられ、ガ
イド９の回転によりマグネット１２が回転し、その結果
パイプ２６が回転して試料をＸ軸の周りに傾斜させるこ
とができる。このときベアリング１３がマグネット１２
、パイプ２６の軸受となっている。
また、ガイド１０を外して傾斜用カバー１１を回転させ
ると、パイプ２６を３６０°エンドレスで回転させるこ
ともできるので、ガイド１０というストッパーを外すと
、任意に試料ホルダーをＸ軸に対して回転することがで
きる。
ると、パイプ２６を３６０°エンドレスで回転させるこ
ともできるので、ガイド１０というストッパーを外すと
、任意に試料ホルダーをＸ軸に対して回転することがで
きる。
Ｘ動については、フレーム８にギヤ１８が取り付けられ
、ギヤ１８の内面側はフレーム８とネジ結合しており、
Ｘ軸駆動用モータ１９によりギヤ】７、Ｊ８を回転させ
ることにより、ネジ駆動によりフレーム８、傾斜用カバ
ー１１をＸ軸方向に移動できるようになっており、これ
と一体にフレーム３１が移動し、試料をＸ軸方向に移動
させることができる。
、ギヤ１８の内面側はフレーム８とネジ結合しており、
Ｘ軸駆動用モータ１９によりギヤ】７、Ｊ８を回転させ
ることにより、ネジ駆動によりフレーム８、傾斜用カバ
ー１１をＸ軸方向に移動できるようになっており、これ
と一体にフレーム３１が移動し、試料をＸ軸方向に移動
させることができる。
フレーム３Ｉには試料をＹ軸の周りに傾斜させるために
、パイプ２６内部に一端がメタルベローズ１４に接続さ
れたシャフト２５が設けられている。図示しないモータ
によりつまみ１６を回すとネジ１５が前後し、これによ
ってシャフト２５が前後する。シャフト２５の前後動は
金属製ベローズ１４によって許容されるとともに、この
部分の真空シールが行われる。シャフト２５の前後動に
より、第７図に示すようにシャフト２５の先端部に設け
られた操作棒２０が前後し、操作棒２０でテコ２１を軸
２１ａを中心にして回動させることにより、試料ホルダ
２３をＹ軸の周りに回転させる。試料ホルダ２３のＹ軸
周りの復帰はバネ３８によって行われる。
、パイプ２６内部に一端がメタルベローズ１４に接続さ
れたシャフト２５が設けられている。図示しないモータ
によりつまみ１６を回すとネジ１５が前後し、これによ
ってシャフト２５が前後する。シャフト２５の前後動は
金属製ベローズ１４によって許容されるとともに、この
部分の真空シールが行われる。シャフト２５の前後動に
より、第７図に示すようにシャフト２５の先端部に設け
られた操作棒２０が前後し、操作棒２０でテコ２１を軸
２１ａを中心にして回動させることにより、試料ホルダ
２３をＹ軸の周りに回転させる。試料ホルダ２３のＹ軸
周りの復帰はバネ３８によって行われる。
なお、試料ホルダ２３は受台支え２４によって支持され
た試料ホルダ受台２９によって反対側を支えられており
、試料ホルダの動きにつれて動けるように支持されてい
る。そして、試料ホルダ受台側を冷却されることにより
、試料ホルダを冷却することができる。
た試料ホルダ受台２９によって反対側を支えられており
、試料ホルダの動きにつれて動けるように支持されてい
る。そして、試料ホルダ受台側を冷却されることにより
、試料ホルダを冷却することができる。
次に試料台ホルダを動かす操作方法について説明すると
、ゴニオメータ全体の軸合わせ、即ちユーセントリック
合わせはスクリュー４を調節し、ブロック５を押すこと
より行う。Ｘ動は、モータ１９を駆動することによりギ
ヤ１８を回転させると、このギヤに対してフレーム８が
ネジ結合をしているので、フレーム８と一体のフレーム
３１がＸ軸方向に移動する。Ｙ動についてはＹ軸駆動用
のネジ７を調節することにより反対側のスプリング２２
の力に抗してＹ軸方向への移動を行うことができる。Ｚ
動についてはモータ４０によりギヤを介してテコ４５を
支点４６を中心に回動させることにより、スプリング２
２の力に抗してフレーム３１をＺ軸方向に移動させるこ
とができる。
、ゴニオメータ全体の軸合わせ、即ちユーセントリック
合わせはスクリュー４を調節し、ブロック５を押すこと
より行う。Ｘ動は、モータ１９を駆動することによりギ
ヤ１８を回転させると、このギヤに対してフレーム８が
ネジ結合をしているので、フレーム８と一体のフレーム
３１がＸ軸方向に移動する。Ｙ動についてはＹ軸駆動用
のネジ７を調節することにより反対側のスプリング２２
の力に抗してＹ軸方向への移動を行うことができる。Ｚ
動についてはモータ４０によりギヤを介してテコ４５を
支点４６を中心に回動させることにより、スプリング２
２の力に抗してフレーム３１をＺ軸方向に移動させるこ
とができる。
Ｘ軸周りの傾斜はモータ６０を回転させることにより、
ウオームギヤ６１、フレーム６２を介して傾斜用カバー
１１を回転させ、これに結合された磁石１２を回転させ
ることによりフレーム３１内に設けられた磁石を回転さ
せ、これによってパイプ２６を回転させることにより行
う。また、Ｙ軸周りの試料傾斜はつまみ１６を回転させ
ることによりねじ１５を前後させ、パイプ２６内に設け
られたシャフト２５を前後させることにより行う。
ウオームギヤ６１、フレーム６２を介して傾斜用カバー
１１を回転させ、これに結合された磁石１２を回転させ
ることによりフレーム３１内に設けられた磁石を回転さ
せ、これによってパイプ２６を回転させることにより行
う。また、Ｙ軸周りの試料傾斜はつまみ１６を回転させ
ることによりねじ１５を前後させ、パイプ２６内に設け
られたシャフト２５を前後させることにより行う。
このようにしてｘ、 ｙ、 ｚ動、Ｘ軸周り傾斜、Ｙ軸
周り傾斜の５軸ユーセントリツクに試料移動させること
ができ、これらの動きは金属製ベローズを用いることに
より、超真空を保持したまま行うことができる。
周り傾斜の５軸ユーセントリツクに試料移動させること
ができ、これらの動きは金属製ベローズを用いることに
より、超真空を保持したまま行うことができる。
以上のように本発明によれば、同一部材にＸ。
Ｙ、 Ｚ動、Ｘ軸傾斜、Ｙ軸傾斜の５軸ユーセントリツ
ク動の機構を設けることができ、金属ベローズによるメ
タルシール化によってガス放出を少なくすることができ
る。このように、ガス放出の少ない材料を設けたこと、
試料傾斜については中空パイプを介しての磁気結合と中
空パイプ内に挿通したシャフトを利用して行うことによ
り１０−”〜Ｉ Ｏ−” Ｔｏｒｒの超高真空に対応さ
せる構造とすることが可能である。また、超高真空では
１５０°Ｃ以上で各部品を真空焼だしする必要があるが
、全てこれらを行うことが可能となる。
ク動の機構を設けることができ、金属ベローズによるメ
タルシール化によってガス放出を少なくすることができ
る。このように、ガス放出の少ない材料を設けたこと、
試料傾斜については中空パイプを介しての磁気結合と中
空パイプ内に挿通したシャフトを利用して行うことによ
り１０−”〜Ｉ Ｏ−” Ｔｏｒｒの超高真空に対応さ
せる構造とすることが可能である。また、超高真空では
１５０°Ｃ以上で各部品を真空焼だしする必要があるが
、全てこれらを行うことが可能となる。
また、試料ホルダを反対側から加熱傾斜、冷却等もでき
る。
る。
第１図は本発明の試料装置の電子線光軸に垂直な断面図
、第２図はＸ軸傾斜機構を説明するための図、第３図Ｚ
軸動を説明するための図、第４図はＹ軸動を説明するた
めの図、第５図は試料装置の電子線光軸方向における断
面図、第６図はＸ軸傾斜機構を説明するための図、第７
図はＹ軸傾斜機構を説明するための図、第８図（ａ）は
電子Ｒ微鏡の電子線光軸と垂直な断面を示す図、第８図
（ｂ）は電線光軸に平行な断面を示す図である。 ｌ・・・メタル０リング、２・・・ベローズ、３・・・
ベアリング、４・・・軸合わせ用ネジ、５・・・ブロッ
ク、６・・・傾斜用ギヤ、７・・・Ｙ軸駆動用ネジ、８
・・・Ｘ、 Ｙ。 Ｚ軸用フレーム、９・・・Ｘ軸傾斜用ガイド、ＩＯ・・
・ガイド、１１・・・傾斜用カバー、Ｉ２・・・マグネ
ット、１３・・・ベアリング、１４・・・ベローズ、１
５・・・ネジ、１６・・・つまみ、１７・・・ギヤ、１
８・・・Ｘ軸駆動用ギヤ、１９・・・Ｘ軸駆動用モータ
、２２・・・スプリング、２３・・・試料ホルダー、２
５・・・試料傾斜用シャフト、２６・・・傾斜用パイプ
、２７・・・球面軸受、２８・・・スプリング、３０・
・・スプリング、３１・・・ｘ、ｙ、ｚ舶用フレーム、
３２・・・マグネット支持部材、３３・・シャフト結合
部材、３５・・・パイプ、４０・・・Ｚ軸駆動用モータ
、４１．４２・・・ギヤ、４３・・・ネジ、４４・・・
スライダ、４５・・・Ｚ軸用テコ、５０・・・ギヤ、５
】・・・ネジ、５２・・・スライダ、６０・・・Ｘ軸傾
斜用モータ、６１・・・ウオームギヤ。 出 願 人 日本電子株式会社
、第２図はＸ軸傾斜機構を説明するための図、第３図Ｚ
軸動を説明するための図、第４図はＹ軸動を説明するた
めの図、第５図は試料装置の電子線光軸方向における断
面図、第６図はＸ軸傾斜機構を説明するための図、第７
図はＹ軸傾斜機構を説明するための図、第８図（ａ）は
電子Ｒ微鏡の電子線光軸と垂直な断面を示す図、第８図
（ｂ）は電線光軸に平行な断面を示す図である。 ｌ・・・メタル０リング、２・・・ベローズ、３・・・
ベアリング、４・・・軸合わせ用ネジ、５・・・ブロッ
ク、６・・・傾斜用ギヤ、７・・・Ｙ軸駆動用ネジ、８
・・・Ｘ、 Ｙ。 Ｚ軸用フレーム、９・・・Ｘ軸傾斜用ガイド、ＩＯ・・
・ガイド、１１・・・傾斜用カバー、Ｉ２・・・マグネ
ット、１３・・・ベアリング、１４・・・ベローズ、１
５・・・ネジ、１６・・・つまみ、１７・・・ギヤ、１
８・・・Ｘ軸駆動用ギヤ、１９・・・Ｘ軸駆動用モータ
、２２・・・スプリング、２３・・・試料ホルダー、２
５・・・試料傾斜用シャフト、２６・・・傾斜用パイプ
、２７・・・球面軸受、２８・・・スプリング、３０・
・・スプリング、３１・・・ｘ、ｙ、ｚ舶用フレーム、
３２・・・マグネット支持部材、３３・・シャフト結合
部材、３５・・・パイプ、４０・・・Ｚ軸駆動用モータ
、４１．４２・・・ギヤ、４３・・・ネジ、４４・・・
スライダ、４５・・・Ｚ軸用テコ、５０・・・ギヤ、５
】・・・ネジ、５２・・・スライダ、６０・・・Ｘ軸傾
斜用モータ、６１・・・ウオームギヤ。 出 願 人 日本電子株式会社
Claims (1)
- （１）試料室壁より電子線光軸に対して直角に装着する
サイドエントリーゴニオメータにおいて、球面軸受で支
持されるともに、一端が試料室と大気とをシールする金
属ベローに接続された中空フレームと、中空フレームを
ネジ結合によりＸ軸方向に移動させて試料を長手方向に
動かす中空フレーム外周部に設けられたＸ軸駆動手段と
、中空フレームを押圧して試料をＹ軸方向に動かす中空
フレーム外周部に設けられたＹ軸駆動手段と、中空フレ
ームを押圧して試料をＺ軸方向に動かす中空フレーム外
周部に設けられたＺ軸駆動手段と、磁気結合により中空
フレーム外から中空フレーム内の中空パイプに回転力を
与えて試料をＸ軸周りに傾斜させるＸ軸傾斜駆動手段と
、中空パイプ内に設けられ、一端が金属ベローズに接続
されたシャフトを前後動させることにより試料をＹ軸周
りに傾斜させるＹ軸傾斜駆動手段とを備えたことを特徴
とする電子顕微鏡等における試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2292633A JP2839695B2 (ja) | 1990-10-30 | 1990-10-30 | 電子顕微鏡等における試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2292633A JP2839695B2 (ja) | 1990-10-30 | 1990-10-30 | 電子顕微鏡等における試料装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04167346A true JPH04167346A (ja) | 1992-06-15 |
| JP2839695B2 JP2839695B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=17784319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2292633A Expired - Fee Related JP2839695B2 (ja) | 1990-10-30 | 1990-10-30 | 電子顕微鏡等における試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2839695B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3823003A3 (en) * | 2019-11-15 | 2022-09-14 | FEI Company | Electron microscope stage |
| CN115881500A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-03-31 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种回转密封结构及设计方法 |
-
1990
- 1990-10-30 JP JP2292633A patent/JP2839695B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3823003A3 (en) * | 2019-11-15 | 2022-09-14 | FEI Company | Electron microscope stage |
| CN115881500A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-03-31 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种回转密封结构及设计方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2839695B2 (ja) | 1998-12-16 |
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Legal Events
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