JPS648736U - - Google Patents

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JPS648736U
JPS648736U JP1987101741U JP10174187U JPS648736U JP S648736 U JPS648736 U JP S648736U JP 1987101741 U JP1987101741 U JP 1987101741U JP 10174187 U JP10174187 U JP 10174187U JP S648736 U JPS648736 U JP S648736U
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projection exposure
reduction projection
prealignment
monitor
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【図面の簡単な説明】
第１図は縮小投影露光装置の概略構成図、第２
図は本案の一実施例の構成図、第３図、第４図は
本案の一実施例におけるフオーカス状態図、第５
図は顕微鏡の像を示す図、第６図はカメラの出力
信号を示す図、第７図はモニタＴＶの波形表示画
面信号を示す図である。 １４……プリアライメントステージ、１７……
プリアライメント十字マーク、１８……基準カー
ソル線、１９……サンプリングライン、２０……
信号波形、２１……コントローラ、２２……カメ
ラ、２３……対物レンズ、２４……信号電圧。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエハプリアライメントにおいて、光学的顕微
    鏡とカメラとカメラ信号処理ユニツトと表示用モ
    ニタより成る縮小投影露光装置において、プリア
    ライメント十字マーク像の電気的信号をモニタに
    表示する様な装置を設けた事を特徴とする縮小投
    影露光装置。
JP1987101741U 1987-07-03 1987-07-03 Pending JPS648736U (ja)

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JP1987101741U JPS648736U (ja) 1987-07-03 1987-07-03

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JPS648736U true JPS648736U (ja) 1989-01-18

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JP1987101741U Pending JPS648736U (ja) 1987-07-03 1987-07-03

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