KR20090060940A - 천정 버퍼와 그 이설방법 - Google Patents

천정 버퍼와 그 이설방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 천정에 정피치로 제 1 지지부재를 부착하고, 제 1 지지부재에 의해 하방으로 수평인 개구를 구비한 레이스웨이를 지지하고, 레이스웨이에 제 2 지지부재를 부착하고, 그 하단에 물품을 올려놓는 선반을 설치한다.
제 2 지지부재를 레이스웨이를 따라 슬라이딩 시킴으로써, 천정 버퍼를 이설할 수 있다.

Description

천정 버퍼와 그 이설방법{CEILING BUFFER AND TRANSFERRING INSTALLATION METHOD THEREOF}
본 발명은, 천정 주행차 등과 조합하여 이용하는 천정 버퍼의 개량에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 천정 주행차의 주행 레일의 측방에 천정 버퍼를 설치하여, 천정 주행차의 반송 물품을 임시로 두는 것이 개시되어 있다. 천정 버퍼를 설치하게 되면, 원하는 로드 포트가 막혀 있을 경우, 근방의 천정 버퍼에 물품을 임시로 두었다가, 로드 포트가 비면 물품을 반입할 수 있다. 또한 적재위치의 로드 포트로부터 반송처까지 반송하는 천정 주행차를 할당하지 않은 경우에는, 적재위치 부근의 천정 버퍼까지 물품을 반출하여, 적재위치의 로드 포트를 비울 수 있다. 상기의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 천정 버퍼는 처리장치의 로드 포트와 대응하는 경우가 많으며, 처리장치의 설치나 이설 등에 따라, 천정 버퍼를 증설하거나 이설하는 경우가 많다. 또한 로드 포트는, 처리장치에 설치한 물품의 반입반출위치이다. 또한 이하에서는 천정 버퍼를 단순히 “버퍼”라고 하는 경우가 있다.
특허문헌 1에서는, 버퍼의 좌우 한쪽을 천정 주행차의 주행 레일로 지지하 고, 다른 한쪽을 천정에 지지기둥으로 매달고 있다. 클린룸의 천정은 높아지는 경향에 있어, 천정에 버퍼를 행거 볼트 등의 지지기둥으로 매달면, 버퍼의 이동시에 고소(高所) 작업이 필요하다. 이 때문에 버퍼의 이설이 곤란하다.
[특허문헌 1] 일본특허공개공보 제2006-324469호
본 발명의 과제는, 천정 버퍼의 이설을 용이하게 하는 데 있다.
본 발명의 천정 버퍼는, 연직방향으로 연장되는 지지부재에 의해, 천정 주행차와의 사이에서 물품의 전달이 가능한 선반을 지지하는 천정 버퍼로서, 상기 지지부재는, 천정에 부착되어 하부에 수평방향을 따른 개구를 가지는 제 1 레이스웨이를 지지하는 제 1 지지부재와, 상기 레이스웨이에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 부착되며, 상기 선반을 지지하는 제 2 지지부재로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 연직방향으로 연장되는 지지부재에 의해, 천정 주행차와의 사이에서 물품의 전달이 가능한 선반을 지지한, 천정 버퍼를 이설하는 방법으로서, 제 1 지지부재를 천정에 고정하고, 상기 제 1 지지부재에, 하부에 수평방향을 따른 개구를 가지는 제 1 레이스웨이를 부착하고, 상기 레이스웨이에 제 2 지지부재를 부착하고, 상기 제 2 지지부재에 선반을 부착함으로써, 천정 버퍼를 설치하고, 또한 상기 제 2 지지부재를 상기 레이스웨이를 따라 수평방향으로 슬라이딩 시킴으로써, 천정 버퍼를 이설한다.
바람직하게는, 상기 선반은, 제 2 지지부재에 부착되며, 또한 수평방향을 따른 개구를 가지는 제 2 레이스웨이와, 상기 제 2 레이스웨이에 의해 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지된 물품의 재치부재로 이루어진다. 더욱 바람직하게는, 상기 제 2 지지부재는, 선반 양단의 지지부재와 선반 중앙부의 지지부재로 이루어지 고, 선반 중앙부의 지지부재는, 상기 제 1 레이스웨이 및 제 2 레이스웨이를 따라 수평방향으로 슬라이딩 가능하며, “L” 자형상을 이루는 2개의 부재 편(片)과, 상기 2개의 부재 편을 연결하는 연결부를 구비한 부착부재를, 상기 제 1 레이스웨이의 개구를 따라 제 2 지지부재의 전후 양방에 배치하고, 상기 “L”자형상의 2개의 부재 편 중 1개의 부재 편을 레이스웨이에, 다른 1개의 부재 편을 제 2 지지부재에 부착시킨다.
본 발명에서는, 제 2 지지부재를 레이스웨이를 따라 수평으로 이동시킴으로써, 천정 버퍼를 용이하게 이설할 수 있다. 또한 제 1 지지부재를 천정에 부착하고, 제 2 지지부재를 레이스웨이에 부착하기 때문에, 천정에 대한 부착 피치에 의해 버퍼의 선반의 길이가 제약을 받지 않는다.
제 2 지지부재에 부착된 제 2 레이스웨이와, 제 2 레이스웨이에 의해 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지한 물품의 재치부재로 선반을 구성하면, 재치위치를 용이하게 변경할 수 있다. 더욱이 “L”자형상의 부착부재의 1개의 부재 편을 제 2 지지부재에, 다른 1개의 부재 편을 제 1 레이스웨이에 부착하고, “L”자형상의 2개의 부재 편을 연결하면, 제 1 레이스웨이에 제 2 지지부재를 강고하게 부착할 수 있다. 이에 따라 제 2 지지부재를 서로 결합하는 빔이 필요없게 된다. 그리고 선반의 중앙부를 지지하는 제 2 지지부재를, 제 1 및 제 2 레이스웨이를 따라 슬라이딩시키면, 선반상에서의 재치부재의 배치를 용이하게 바꿀 수가 있다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예를 나타낸다.
(실시예)
도 1 ~ 도 7은 실시예에 따른 천정 버퍼(2)를 나타낸 것이다. 도면에서, 4는 클린룸 등의 천정이며, 정피치로 행거 볼트(6)가 부착되어 있다. 8은 상부 레이스웨이이며, 그 구조를 도 1의 우측 아래에 확대하여 나타내었는데, 레이스웨이(8)의 바닥부에 길이방향을 따른 수평한 개구(32)가 있고, 레이스웨이(8)의 상면에 행거 볼트(6)의 하단을 너트(34) 등으로 부착시킨다. 또한 레이스웨이(8)는 상면에는 길이방향을 따른 개구를 구비하고 있지 않으므로, 적당한 위치에서 레이스웨이(8)의 상면에 관통 구멍을 형성하여, 행거 볼트(6)를 너트(34)로 고정시킨다.
레이스웨이(8)의 하부에 버퍼 유닛(10)을 설치한다. 12는 하부 지지부재, 14는 부착부재로서, 지지부재(12)의 전후 양측을 개구(32)를 이용하여 레이스웨이(8)에 부착시킨다. 15는 삼각형상의 보강판으로, 부착부재(14)의 “L”자형상의 양쪽의 부재 편을 접속한다. 16은 하부 레이스웨이로서, 전방 개방형 유니파이드 포드(FOUP(Front Opening Unified Pod)) 등의 물품을 재치하기 위한 트레이 상의 시트(18)를 복수 부착한다. 하부 레이스웨이(16) 대신에 적당한 가로대 등을 이용해도 되고, 또 여기서 하부 지지부재(12)는 3개의 지지부재(12a~12c)로 하였으나, 버퍼 유닛(10)의 양단를 지지하는 2개의 지지부재로 해도 된다. 시트(18) 사이의 간격은, 하부 지지부재(12b)가 사이에 있는 경우에는, 비교적 큰 값 g2로 하고, 하부 지지부재(12b)가 사이에 없는 경우에는, 비교적 작은 값 g1로 한다. 그리고 버퍼 유닛(10)은 레이스웨이(8)를 따라 적당한 위치에 복수 부착된다.
천정 버퍼(2)는 천정 주행차 시스템과의 사이에서 FOUP(26) 등의 물품을 전달한다. 레일(20)을 행거 볼트(22)에 의해 천정(4)에 지지하고, 천정 주행차(24)를 주행시킨다. 천정 주행차(24)는, 호이스트(28: hoist)에 의해 FOUP(26)를 승강시키고, 수평 드라이브(30: lateral drive)에 의해, 호이스트(28) 및 FOUP(26)를 레일(20)에 수평면내에서 직각인 방향으로 진퇴시켜, 시트(18)와의 사이에서 FOUP(26)를 전달한다.
도 2는 천정 버퍼(2)의 정면도를 나타낸 것으로서, 좌우 한 쌍의 행거 볼트 (6, 6)가 천정(4)으로부터 연직방향 하방을 향해 연장되어, 길이방향으로 수평한 상부 레이스웨이(8)를 지지하고 있다. 상부 레이스웨이(8)에 부착부재(14)를 통해, 좌우 한 쌍의 연직 하부 지지부재(12)를 부착하고, 그 바닥부에 길이방향으로 수평한 하부 레이스웨이(16)를 통해, 시트(18)를 부착한다.
부착부재(14)는 금속제이며, 좌우의 하부 지지부재(12, 12) 사이를 연결하여, “L”자형상의 2개의 부재 편을 이루는 플레이트(36, 37)를 구비하며, 경량화를 위한 플레이트(36, 37)에는 개구(38, 39)가 형성되어 있다. 그리고 플레이트(36, 37)를 보강판(15)에 의해 연결하여 보강한다. 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 하부 지지부재(12)의 전후에, 즉 레이스웨이(8)의 길이방향의 각각에, 부착부재(14, 14)를 부착하고, 플레이트(36)를 볼트와 너트 플레이트(42) 등에 의해 레이스웨이(8)의 바닥면에 부착하고, 플레이트(37)를 볼트에 의해 하부 지지부재(12)에 부착한다. 너트 플레이트(42)는 너트를 설치한 판으로서, 레이스웨이(8) 내부를 슬라이딩할 수 있다.
부착부재(14)에 의해 좌우의 하부 지지부재(12)가 서로 연결되며, 하부 지지부재(12)가 전후로, 즉 레이스웨이(8)의 길이방향을 따라 진동하는 것을 방지한다. 이에 따라 레이스웨이(8)와 레이스웨이(16)의 중간 위치에서는 가새(brace)가 필요없게 된다. 또한 도 5의 우측 하단에 나타낸 바와 같이, 보강판(15) 대신에 가새(45) 등으로 플레이트(36, 37)의 선단을 연결해도 된다.
하부 레이스웨이(16)는 도 2의 하부에 나타낸 바와 같이, 길이방향을 따라 예컨대 4개의 개구를 구비하고, 이들 개구를 이용하여, 볼트(40, 41) 등으로 하부 지지부재(12)에 부착시킨다. 그리고 시트(18)는, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 볼트(50) 등과 하부 레이스웨이(16)의 상부 개구 등을 이용하여, 하부 레이스웨이(16)에 고정한다.
실시예에 따른 천정 버퍼(2)의 설치에 대하여 설명한다. 천정(4)은 소정의 피치에서만 행거 볼트(6)의 부착이 가능하다. 따라서 이 피치에서 행거 볼트(6)를 좌우 2열로 부착하고, 그 하단에 상부 레이스웨이(8)를 고정한다. 예컨대 부착부재(14)의 플레이트(36)를 상부 레이스웨이(8)에 임시로 고정하고, 하부 지지부재(12)를 플레이트(37)에 고정부착한다. 이어서 하부 레이스웨이(16)를 하부 지지부재(12)에 부착한 후에 시트(18)를 부착한다. 이 과정에서, 하부 지지부재(12)는 상부 레이스웨이(8)를 따라 슬라이딩 가능하기 때문에 위치를 조정할 수 있다. 그리고 각 부의 위치를 다 조정하면, 하부 지지부재(12)를 상부 레이스웨이(8)에 고정하고, 하부 레이스웨이(16)를 하부 지지부재(12)에 고정하고, 시트(18)를 하부 레이스웨이(16)에 고정한다. 참고로 버퍼 유닛(10)을 미리 조립한 후에 상부 레이 스웨이(8)에 부착해도 된다.
도 3은 천정 주행차(24)와 천정 버퍼(2)와의 관계를 나타낸 것이다. 천정 주행차(24)는, 레일(20) 내의 위치에 주행 구동부와 수전부를 구비하며, 레일(20)을 따라 주행하는 동시에, 비접촉 급전 등에 의해 레일(20)측으로부터 수전(受電)한다. 수평 드라이브(30)로 θ드라이브(27)~FOUP(26)를 횡방향으로 이동시키고, θ 드라이브(27)로 호이스트(28) 및 FOUP(26)의 방향을 수평면 내에서 회동시킨다. 호이스트(28)는 FOUP(26)를 승강시키고, 척(29)으로 FOUP(26)의 상부의 플랜지를 척킹 및 개방한다. 또한 낙하 방지 커버(31)에 의해, FOUP(26)의 낙하를 방지한다. 이러한 구성에 의해, 천정 주행차(24)는, 시트(18) 및 도시하지 않은 로드 포트 등과의 사이에서 FOUP(26)의 전달이 가능하다.
클린룸에서의 처리장치 등의 이동에 따라, 버퍼 유닛(10)의 이설이 필요한 경우가 있다. 이것은 버퍼 유닛(10)을 처리장치와 대향된 위치 등에 설치하는 경우가 많기 때문이다. 버퍼 유닛(10)을 이설할 경우, 부착부재(14)의 상부 레이스웨이(8)에 대한 부착을 느슨하게 하면, 버퍼 유닛(10)을 전체적으로 레이스웨이(8)를 따라 슬라이딩 시킬 수 있다. 이에 따라 매우 간단히 버퍼 유닛(10)을 이설할 수 있다. 또 처리장치의 교체 등에 따라, 각각의 시트(18a~18d)에 대한 위치 조정이 필요한 경우가 있다. 이 경우, 버퍼 유닛(10)의 양단의 하부 지지부재(12a, 12c)는 그대로 하고, 중앙의 하부 지지부재(12b)의 위치를 이동시킨다. 여기서 중앙의 하부 지지부재(12b)의 레이스웨이(8, 16)에 대한 고정을 약화시켜, 원하는 위치에 슬라이딩 시킨다. 또한 이와 함께 시트(18c) 등을 레이스웨이(16)를 따라 이 동시킨다. 이에 따라, 시트(18b, 18c) 사이의 간격과, 시트(18c,18d) 사이의 간격을 변경할 수 있다. 그리고 하부 지지부재(12b)를 단독으로 슬라이딩 시킬 수 있는 것은, 하부 지지부재(12a~12c)를 높이 방향의 중간에서 연결하는 가새 등이 없기 때문이다.
실시예에서는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1) 천정(4)에 대한 행거 볼트(6)의 부착 피치에 의해, 버퍼 유닛(10)의 설치 위치 및 길이 등이 제한받지 않는다.
(2) 버퍼 유닛(10)을 상부 레이스웨이(8)를 따라 슬라이딩 시킴으로써, 간단히 이동시킬 수가 있다.
(3) 중앙의 하부 지지부재(12b)를 이동시킴으로써, 시트(18a~18d)의 배치를 바꿀 수가 있다.
(4) 하부 지지부재(12)는 부착부재(14)에 의해 서로 연결되며, 또한 강고하게 상부 레이스웨이(8)에 부착된다.
실시예에 따른 버퍼 유닛(10)은, 예컨대 천정 주행차(24)의 레일(20)과 평행하게 그 측방에 배치되는데, 버퍼 유닛(10)을 레일(20)의 하방에 배치해도 된다.
도 1은 실시예에 따른 천정 버퍼의 주요부 측면도이다.
도 2는 실시예에 따른 천정 버퍼의 정면도이다.
도 3은 천정 버퍼와 천정 주행차를 나타낸 정면도이다.
도 4는 실시예에서의 하부 지지부재와 그 부착부재의 평면도이다.
도 5는 실시예에서의 상부 레이스웨이에 대한 하부 지지부재의 부착상태를 나타낸 측면도이다.
도 6은 실시예에서의 하부 레이스웨이에 대한 시트의 부착을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 1로부터 하부 지지부재의 위치를 변경한 천정 버퍼의 주요부 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
2 : 천정 버퍼 4 : 천정
6 : 행거 볼트 8 : 상부 레이스웨이
10 : 버퍼 유닛 12 : 하부 지지부재
14 : 부착부재 15 : 보강판
16 : 하부 레이스웨이 18 : 시트
20 : 레일 22 : 행거 볼트
24 : 천정 주행차
26 : 전방 개방형 유니파이드 포드(FOUP)
27 : θ드라이브 28 : 호이스트
29 : 척 30 : 수평 드라이브
31 : 낙하 방지 커버 32 : 개구
34 : 너트 36, 37 : 플레이트
38, 39 : 개구 40, 41 : 볼트
42 : 너트 플레이트 45 : 가새
50 : 볼트 g1, g2 : 갭

Claims (4)

  1. 연직방향으로 연장되는 지지부재에 의해, 천정 주행차와의 사이에서 물품의 전달이 가능한 선반을 지지하는 천정 버퍼로서,
    상기 지지부재는, 천정에 부착되어 하부에 수평방향을 따른 개구를 가지는 제 1 레이스웨이(raceway)를 지지하는 제 1 지지부재와,
    상기 레이스웨이에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 부착되며, 또한 상기 선반을 지지하는 제 2 지지부재로 이루어진 것을 특징으로 하는, 천정 버퍼.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 선반은,
    제 2 지지부재에 부착되며, 또한 수평방향을 따른 개구를 가지는 제 2 레이스웨이와,
    상기 제 2 레이스웨이에 의해 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지된 물품의 재치부재로 이루어진 것을 특징으로 하는, 천정 버퍼.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 2 지지부재는, 선반 양단의 지지부재와 선반 중앙부의 지지부재로 이루어지고,
    선반 중앙부의 지지부재는, 상기 제 1 레이스웨이 및 제 2 레이스웨이를 따 라 수평방향으로 슬라이딩 가능하며,
    “L”자형상을 이루는 2개의 부재 편과, 상기 2개의 부재 편을 연결하는 연결부를 구비한 부착부재를, 상기 제 1 레이스웨이의 개구를 따라 제 2 지지부재의 전후 양방에 배치하고, 상기 “L”자형상의 2개의 부재 편 중 1개의 부재 편을 레이스웨이에, 다른 1개의 부재 편을 제 2 지지부재에 부착한 것을 특징으로 하는, 천정 버퍼.
  4. 연직방향으로 연장되는 지지부재에 의해, 천정 주행차와의 사이에서 물품의 전달이 가능한 선반을 지지한, 천정 버퍼를 이설하는 방법으로서,
    제 1 지지부재를 천정에 고정하고,
    상기 제 1 지지부재에, 하부에 수평방향을 따른 개구를 가지는 제 1 레이스웨이를 부착하고,
    상기 레이스웨이에 제 2 지지부재를 부착하고,
    상기 제 2 지지부재에 선반을 부착함으로써, 천정 버퍼를 설치하고, 또한
    상기 제 2 지지부재를 상기 레이스웨이를 따라 수평방향으로 슬라이딩 시킴으로써, 천정 버퍼를 이설(移設)하는 것을 특징으로 하는, 천정 버퍼의 이설방법.
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