KR20130120530A - 유궤도 대차 시스템 - Google Patents

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KR20130120530A
KR20130120530A KR1020137022916A KR20137022916A KR20130120530A KR 20130120530 A KR20130120530 A KR 20130120530A KR 1020137022916 A KR1020137022916 A KR 1020137022916A KR 20137022916 A KR20137022916 A KR 20137022916A KR 20130120530 A KR20130120530 A KR 20130120530A
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

유궤도 대차 시스템에 있어서, 분기점 및 합류점을 통과하는 대차의 불필요한 속도 저하나 주행 정지를 억제한다. 유궤도 대차 시스템은, 분기점 및 합류점을 포함하는 소정 영역 내에 유도선(600)을 가지는 궤도(100)와, 궤도에 지지되는 동시에 안내되어 주행하는 복수의 대차(200)를 구비한다. 복수의 대차는 각각, 서로 주파수가 다른 복수의 신호를 각각 발신가능한 발신부(910, 920)와, 발신부로부터 발신된 복수의 신호를 유도선으로 각각 송신하는 송신부(810, 820)와, 유도선을 통해 전달된 복수의 신호를 각각 수신가능한 수신부(710, 720)와, 수신부에서 수신된 신호의 종류에 근거하여, 대차의 감속 혹은 정지, 또는 주행의 속행을 판정하는 판정부(955)와, 판정부에서의 판정 결과에 따라 대차의 주행을 제어하는 제어부(960)를 가지고 있다.

Description

유궤도 대차 시스템{GUIDED TRANSFER CAR SYSTEM}
본 발명은, 예컨대 반도체 장치 제조용의 각종 기판 등이 수용된 용기 등의 피반송물을 궤도를 따라 반송하는 유궤도 대차 시스템의 기술분야에 관한 것이다.
이러한 종류의 유궤도 대차 시스템으로는, 예컨대 천장에 부설(敷設)된 궤도를 주행함으로써 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등의 피반송물을 반송하는 서스펜션(懸垂)타입의 대차를 가지는 것(이른바 OHT: Overhead Hoist Transport)이 알려져 있다.
이러한 유궤도 대차 시스템에서는, 궤도의 분기점이나 합류점에서 대차끼리 서로 충돌하지 않도록, 충돌 방지 시스템이 구비되는 경우가 있다. 예컨대 특허문헌 1 내지 3에서는, 분기점 및 합류점 부근에 설치된 유도선을 통해 대차끼리 통신을 함으로써, 서로를 인식하여 충돌을 방지하는 기술이 개시되어 있다.
일본 특허공보 제3985320호 일본 특허공개공보 제2007-226835호 일본 특허공보 제4241306호
그러나, 상기의 특허문헌 1 내지 3에 따른 기술에서는, 각 대차는 단일 주파수의 신호를 송신 및 수신하는 구성으로 되어 있다. 이 때문에, 분기점 및 합류점이 연속되는 부분에서는, 하나의 유도선 영역으로부터 다음 유도선 영역으로 진입하고자 할 때, 다음 유도선 영역에서 신호를 수신할 경우(즉, 선행하는 다른 대차가 다음 유도선 영역 내를 주행 중인 경우)에 대비하여, 충분히 감속하여 진입할 것이 요구된다. 따라서, 각 대차는, 분기점 및 합류점이 연속되는 부분에서는, 필요 이상으로 속도를 저하시키거나 주행을 정지시키게 된다. 이러한 속도 저하나 주행 정지가 실행되면, 대차의 효율적인 주행이 이루어질 수 없게 되므로, 결과적으로 시스템의 반송 효율이 저하되어 버린다.
본 발명은, 예컨대 상술한 문제점에 비추어 이루어진 것이며, 분기점 및 합류점을 통과하는 대차의 불필요한 속도 저하나 주행 정지를 억제할 수 있는 유궤도 대차 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
이하에서는, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태에 대해 설명한다. 이러한 양태는, 필요에 따라 임의로 조합할 수 있다.
본 발명의 하나의 견지에 따른 유궤도 대차 시스템은, 분기점 및 합류점을 포함하는 소정 영역 내에 유도선을 가지는 궤도와, 궤도에 지지되는 동시에 안내되어 주행하는 복수의 대차를 구비하는 유궤도 대차 시스템이다. 복수의 대차는 각각, 발신부와, 송신부와, 수신부와, 판정부와, 제어부를 가지고 있다. 발신부는, 서로 주파수가 다른 복수의 신호를 각각 발신가능하다. 송신부는, 발신부로부터 발신된 복수의 신호를 유도선으로 각각 송신한다. 수신부는, 유도선을 통해 전달된 복수의 신호를 각각 수신가능하다. 판정부는, 수신부에서 수신된 신호의 종류에 근거하여, 대차의 감속 혹은 정지, 또는 주행의 속행을 판정한다. 제어부는, 판정부에서의 판정 결과에 따라, 대차의 주행을 제어한다.
이러한 유궤도 대차 시스템은, 예컨대 천장이나 천장 근방 혹은 지상 등에 부설된 궤도와, 궤도에 지지되는 동시에 안내되어 주행하는 대차를 구비하고 있다. 대차는 궤도 상에 복수 배치되어 있으며, 예컨대 궤도를 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 부착되어 있고 FOUP나 레티클 등의 피(被)반송물을 적재하는 본체부를 구비하여 구성되어 있다. 본 발명의 유궤도 대차 시스템의 동작시에는, 대차가 궤도를 따라 주행함으로써, 대차에 적재된 피반송물의 반송이 실현된다.
궤도는 특히, 복수의 분기점 및 합류점을 가지고 있다. 그리고, 분기점 및 합류점을 포함하는 소정 영역 내에는, 각종 신호를 전달가능한 유도선이 설치되어 있다. 참고로, 여기서의 「소정 영역」이란, 분기점 및 합류점을 통과하고자 하는 대차가, 다른 대차와의 충돌을 방지하기 위해 다른 대차의 존재를 인식해야 할 영역이며, 분기점 및 합류점의 각각에 대응하도록 복수 설정되어 있다.
한편, 본 발명에 따른 대차는, 서로 주파수가 다른 복수의 신호를 각각 발신가능한 발신수단과, 발신수단으로부터 발신된 복수의 신호를 유도선으로 각각 송신하는 송신 수단과, 유도선을 통해 전달된 복수의 신호를 각각 수신가능한 수신수단을 구비하고 있다. 이에 따라 각 대차는, 발신부에서 발신한 신호를 송신부에 의해 유도선으로 송신할 수 있고, 유도선을 통해 전달된 신호를 다른 대차의 수신부에 수신시킬 수 있다. 즉, 각 대차는, 유도선이 설치된 소정 영역 내에 있어서, 대차끼리로 유도선을 통한 통신을 행할 수 있다. 또한 본 발명에서는 특히, 발신부가 서로 주파수가 다른 복수의 신호를 발신할 수 있으므로, 하나의 유도선에 의해 복수의 정보(즉, 신호의 수에 따른 정보)의 전달이 가능하다.
대차는 또한, 수신수단에 수신된 신호의 종류에 근거하여, 대차의 감속 혹은 정지, 또는 주행의 속행을 판정하는 판정부와, 판정부에서의 판정 결과에 따라, 대차의 주행을 제어하는 제어부를 구비하고 있다. 판정부는, 수신된 신호에 근거하여, 예컨대 다른 대차의 주행 위치, 주행 상황 및 대차의 종류(예컨대, 특급용 대차인지, 통상의 주행 대차인지 등) 등을 인식하고, 인식된 정보를 이용하여 대차에서 실현되어야 할 주행 제어를 결정한다. 그리고, 판정부에서의 판정 결과에 따라, 제어부에 의한 대차의 주행 제어가 행해진다. 이에 따라, 분기점 및 합류점에서의 대차끼리의 충돌을 방지하면서 효율적인 주행이 실현된다.
여기서 만일, 각 대차가 하나의 신호(즉, 단일 주파수의 신호)밖에 발신이 불가능하다면, 분기점 및 합류점이 연속되는 부분에 있어서, 각 분기점 및 합류점의 상황을 각각 인식하는 것이 곤란해져 버린다. 예컨대, 하나의 합류점을 통과하고 있을 때에는, 그 합류점의 직후에 존재하는 다른 합류점에 있어서의 다른 대차의 존재를 인식할 수 없다. 따라서, 하나의 합류점으로부터 다른 합류점으로 진입할 때에는, 선행하는 다른 대차가 존재할 경우에 대비하여, 충분히 감속하여 진입할 것이 요구된다. 따라서, 각 대차는, 분기점 및 합류점이 연속되는 부분에서, 필요 이상의 속도 저하나 주행 정지를 하게 된다.
그런데 본 발명에서는 특히, 상술한 바와 같이, 각 대차가 서로 주파수가 다른 복수의 신호를 발신하는 것이 가능하다. 이 때문에, 분기점 및 합류점이 연속되는 부분에서도, 각 분기점 및 합류점에 대응하는 신호를 각각 송신 및 수신함으로써, 복수의 분기점 및 합류점에서의 다른 대차의 주행 상황을 인식할 수 있다. 구체적으로는, 하나의 합류점을 통과하고 있을 때, 다음 합류점의 상황을 인식할 수 있다. 따라서, 분기점 및 합류점을 통과하는 대차의 불필요한 속도 저하나 주행 정지를 억제하는 것이 가능하다.
본 발명의 유궤도 대차 시스템의 하나의 양태에서는, 발신부는, 대차가 분기점 및 합류점을 통과할 때, 분기점 및 합류점의 각각에 대응하여 고유하게 정해진 종류의 신호를 발신한다.
상기의 양태에 따르면, 분기점 및 합류점의 각각에 대응하여 송신해야 할 신호의 종류가, 고유한 것으로서 미리 정해져 있다. 따라서, 각 대차는, 통과할 분기점 및 합류점에 따른 신호를, 송신가능한 복수의 신호 중에서 선택하여 송신한다. 보다 구체적으로는, 각 대차는, 예컨대 궤도의 지도 정보(즉, 분기점 및 합류점의 위치를 나타낸 정보)를 가지고 있으며, 해당 대차의 주행 위치와 지도 정보에 근거하여, 송신할 신호를 선택한다.
이러한 구성에서는, 선행 대차가 어느 분기점 또는 합류점을 주행 중인지를, 후속 대차가 확실하게 인식할 수 있다. 즉, 선행 대차의 주행 위치를, 용이하고도 정확하게 인식할 수 있다. 따라서, 후속 대차는, 선행 대차가 주행중인 분기점 및 합류점의 직전까지, 감속 혹은 정지하지 않고 주행할 수 있다.
본 발명의 반송차의 다른 양태에서는, 수신부는, 대차의 전단(前端)측에 설치되어 있고, 송신부는, 대차의 후단(後端)측에 설치되어 있다.
상기의 양태에 따르면, 수신부가 대차의 전단측에 설치되어 있으므로, 대차가 유도선이 설치된 소정 영역 내에 진입하면, 즉시 신호를 수신할 수 있는 상태가 된다. 따라서, 소정 영역 내를 주행 중인 다른 대차의 존재를, 매우 신속하게 인식할 수 있게 된다.
또한 본 양태에서는, 송신부가 대차의 후단측에 설치되어 있으므로, 대차가 소정 영역 내로부터 거의 완전히 퇴출될 때까지 신호를 송신할 수 있다. 따라서, 소정 영역 내를 주행 중인 다른 대차에 대해, 소정 영역 내에 해당 대차가 존재하고 있음을 확실하게 인식시키는 것이 가능해진다.
참고로, 상술한 효과를 충분히 얻기 위해서는, 수신부는 가능한 한 전단(前端)에 가까운 위치에 설치되는 것이 좋고, 송신부는 가능한 한 후단에 가까운 위치에 설치되는 것이 좋다. 단, 수신부가 송신부보다 전단측에 설치되어 있는 한, 본 양태의 효과는 그에 상응하게 얻어진다.
상술한 바와 같이, 수신부가 대차의 전단측에 설치되고, 송신부가 대차의 후단측에 설치되는 양태의 경우, 유도선은, 궤도의 우측 및 좌측의 가장자리 중 적어도 일방을 따라 설치되어 있으며, 수신부는, 대차의 우측 전단측에 설치된 제 1 수신부, 및 대차의 좌측 전단측에 설치된 제 2 수신부를 포함하고 있고, 송신부는, 대차의 우측 후단측에 설치된 제 1 송신부, 및 대차의 좌측 후단측에 설치된 제 2 송신부를 포함하고 있다.
상기의 양태에 따르면, 각 대차에는, 우측 전단측에 설치된 제 1 수신부 및 좌측 전단측에 설치된 제 2 수신부와, 우측 후단측에 설치된 제 1 송신부 및 좌측 후단측에 설치된 제 2 송신부가 마련되어 있다. 따라서, 궤도의 우측 및 좌측 가장자리 중 적어도 일방을 따라 설치된 각 유도선에 대해, 적절하게 신호를 송신하는 동시에, 신호선을 통해 전달되는 신호를 적절하게 수신할 수 있다. 즉, 궤도의 우측 가장자리를 따라 설치된 유도선에 대해서는 제 1 수신부 및 제 1 송신부가 이용되며, 궤도의 좌측 가장자리를 따라 설치된 유도선에 대해서는 제 2 수신부 및 제 2 송신부가 이용된다.
상술한 구성에 따르면, 복수의 유도선에 대해 적절하게 신호를 송신하는 동시에, 복수의 유도선으로부터 적절하게 신호를 수신하는 것이 가능해진다. 따라서, 복수의 분기점 및 합류점을 주행하는 다른 대차의 주행 상황을, 각각 적절하게 인식하는 것이 가능해진다.
본 발명의 반송차의 다른 양태에서는, 발신부는, 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며, 판정부는, 수신부가 긴급정지 신호를 수신한 경우, 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고, 제어부는, 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 대차를 긴급정지시키도록 제어한다.
상기의 양태에 따르면, 발신부로부터 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호가 발신된다. 하나의 대차로부터 발신된 긴급정지 신호는, 송신부에 의해 유도선으로 송신되고, 다른 대차의 수신부에 의해 수신된다. 긴급정지 신호를 수신한 대차에서는, 긴급정지하도록 주행이 제어된다.
긴급정지 신호를 이용하면, 동일한 유도선 영역 내에 다른 대차가 존재하고 있거나, 혹은 진입하고자 하는 다른 대차가 있는 경우에, 이러한 다른 대차들을 모두 긴급정지시킬 수 있다. 이 때문에, 대차끼리의 간섭이나 충돌을 더욱 정확하게 방지할 수 있다.
본 발명의 작용 및 다른 이점은 이후에 설명될 발명을 실시하기 위한 형태로부터 명확히 알 수 있다.
도 1은, 유궤도 대차 시스템의 전체적인 구성을 나타낸 상면도이다.
도 2는, 대차의 구성을 나타낸 측면도이다.
도 3은, 대차의 이재(移載) 동작을 나타낸 사시도이다.
도 4는, 대차의 횡방향으로의 이재 동작을 나타낸 사시도이다.
도 5는, 궤도에 있어서의 유도선의 배치 위치를 나타낸 단면도이다.
도 6은, 대차 및 유도선 간의 통신을 실현하기 위한 구성을 나타낸 상면도이다.
도 7은, 대차에 있어서의 통신 회로의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 8은, 실시예 1에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 9는, 비교예 1에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 10은, 실시예 2에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 11은, 비교예 2에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 12는, 실시예 3에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 13은, 비교예 3에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
(1) 전체적인 구성
이하에서는, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
우선, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템의 전체적인 구성에 대해, 도 1을 참조하면서 설명한다. 여기서 도 1은, 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템의 전체적인 구성을 나타낸 상면도이다.
도 1에 있어서, 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템은, 궤도(100)와, 복수의 대차(200)와, 컨트롤러(300)를 구비하여 구성되어 있다.
궤도(100)는, 예컨대 천장에 부설되어 있으며, 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속으로 구성된다. 본 실시형태에 따른 궤도(100)는 특히, 복수의 합류점이나 분기점을 가지도록 구성되어 있다. 또한, 여기서는 도시가 생략되어 있으나, 궤도(100)에는 유도선이 설치되어 있다.
대차(200)는, 궤도(100) 상에 복수 배치되어 있으며, 궤도(100)를 따라 주행함으로써, 피반송물인 FOUP를 반송하는 것이 가능하다.
또한 대차(200)는, 차상(車上) 컨트롤러(205)를 각각 가지고 있다. 차상 컨트롤러(205)는, 컨트롤러(300)로부터 반송 명령을 받아, 대차(200)의 주행을 제어한다. 참고로, 차상 컨트롤러(205)는, 대차(200)의 주행을 제어할 뿐만 아니라, 대차(200)에 구비된 각 기기를 총괄적으로 제어하는 기능도 가지고 있다.
대차(200)에는 또한, 전방 감시 센서(도시 생략)가 설치되어 있다. 상기 전방 감시 센서는, 대차(200)의 전방을 주사(走査)하여, 소정의 검지범위 내(구체적으로는, 소정 거리 내 및 소정 폭 내)에 있는 장해물(다른 대차, 혹은 주행 경로 내에 위치하는 사람이나 물건)을 광학적으로 검지하는 것이다. 참고로, 「소정 거리」란, 장해물을 검지했을 때, 대차(200)가 확실하게 정지할 수 있을 만한 길이방향(즉, 궤도의 연장방향)의 거리를 의미한다. 그리고, 「소정 폭」이란, 대차(200)의 폭보다 약간(예컨대, 몇 cm 정도) 넓은 폭을 의미한다. 검지 범위는, 대차(200)의 주행 경로 근방에 위치할 FOUP의 일시 보관 선반 또는 각종 구조물을, 장해물로서 검출하지 않도록 하기 위해 설정된다.
전방 감시 센서는, 장해물을 검지하면, 검지 신호를 상기의 차상 컨트롤러(205)로 보낸다. 검지 신호를 받은 차상 컨트롤러(205)는, 대차(200)를 감속 혹은 정지시키도록 제어한다.
컨트롤러(300)는, 예컨대 연산 회로나 메모리 등을 포함하여 구성되어 있으며, 차상 컨트롤러(205)를 통해, 대차(200)에 반송 명령을 줄 수 있도록 구성되어 있다.
참고로, 여기서는 도시가 생략되어 있으나, 궤도(100)를 따른 위치에는, FOUP를 일시적으로 보관하는 선반(예컨대, 버퍼나 포트 등) 및 반도체 제조 장치가 설치되어 있다.
(2) 대차의 상세한 구성
다음으로는, 대차(200)의 보다 구체적인 구성에 대해, 도 2를 참조하면서 설명한다. 도 2는, 대차의 구성을 나타낸 측면도이다. 참고로, 도 2에서는 설명의 편의상, 유도선과 통신하기 위한 부재를 생략하여 도시하고 있다.
도 2에 있어서, 대차(200)는, 주행부(210), 본체부(220), 이동부(230), 승강부(235), 승강 벨트(240) 및 파지부(250)를 구비하여 구성되어 있다.
대차(200)는, 주행부(210)가 예컨대 리니어 모터 등에 의해 추진력을 부여함으로써, 주행 롤러(215)가 전동(轉動)되면서, 궤도(100)를 따라 주행한다. 주행부(210)의 하면에는, 본체부(220)가 매달린 형태로 부착되어 있다.
본체부(220)에는, 이동부(230)가 부착되어 있다. 이동부(230)는, 궤도(100)의 측방(즉, 도면에 있어서의 좌우방향)으로의 이동이 가능하다. 이동부(230)의 하면에는, 승강부(235)가 부착되어 있다.
승강부(235)의 하면에는, FOUP를 파지하는 파지부(250)가 승강 벨트(240)에 의해 부착되어 있다. 파지부(250)는, 승강 벨트(240)를 풀거나 혹은 감거나 함으로써, 본체부(220)에 대해 승강가능하다.
다음으로는, 대차에 의한 FOUP의 이재방법에 대해, 도 3 및 도 4를 참조하면서 설명한다. 여기서 도 3 및 도 4는 각각, 실시형태에 따른 대차의 FOUP의 이재방법을 나타낸 사시도이다.
도 3에서, 대차(200)가, 궤도(100)의 수직 하방에 위치하는 포트(510) 상의 FOUP(400)를 이재할 때에는, 우선 대차(200)가 궤도(100) 상을 주행하여, 포트(510) 상에 설치된 FOUP(400)의 상방에 정지한다. 그리고, 파지부(250)와 FOUP(400)의 위치가 미세조정된다.
이어서, 도면에 나타낸 바와 같이, 승강부(235)에 의해 승강 벨트(240)가 풀림으로써, 파지부(250)가 FOUP(400)의 위치까지 하강한다. 하강된 파지부(250)는, FOUP(400)를 파지한다.
FOUP(400)가 파지되면, 승강 벨트(240)가 감겨서, 파지부(250) 및 파지된 FOUP(400)가 본체부(220)의 위치까지 상승한다. 그리고, 다시 대차(200)가 궤도(100) 상을 주행하여, FOUP(400)가 반송된다.
도 4에서, FOUP(400)가, 궤도(100)의 측방으로 벗어난 위치에 있는 사이드 버퍼(520)에 설치되어 있는 경우에는, 이동부(230)가 궤도(100)의 측방으로 이동한 후, 승강부(235)에 의해 승강 벨트(240)가 풀려, 파지부(250)가 FOUP(400)의 위치까지 하강한다. 이와 같이 동작함으로써, 궤도부(100)로부터 FOUP(400)의 횡방향으로의 이재가 가능해진다.
(3) 유도선 및 유도선을 통한 통신을 실현하는 대차의 구성
다음으로, 본 실시형태의 특유의 유도선 및 유도선을 통한 통신을 실현하는 대차의 구성에 대해, 도 5 내지 도 7을 참조하면서 설명한다. 여기서 도 5는, 궤도에 있어서의 유도선의 배치 위치를 나타낸 단면도이고, 도 6은, 대차 및 유도선 간의 통신을 실현하기 위한 구성을 나타낸 상면도이다. 그리고 도 7은, 대차에 있어서의 통신 회로의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 5에 있어서, 본 실시형태에 따른 궤도(100)에는, 분기점이나 합류점을 포함하는 소정의 영역에 유도선(600)이 설치되어 있다. 유도선(600)은, 예컨대 루프형상의 도전선으로서 구성되어 있으며, 궤도(100)의 하면측(즉, 대차와 대향되는 면측)에 설치되어 있다. 참고로, 도 5에서는, 궤도(100)에 있어서의 우측 가장자리 및 좌측 가장자리를 각각 따르도록 유도선(600)이 설치되어 있으나, 일방의 가장자리를 따르는 것만 설치되는 부분이 존재해도 된다.
도 6에 있어서, 대차(200)에는, 궤도(100)의 우측에 설치되는 유도선(600)에 대응하도록, 제 1 수신 코일(710) 및 제 1 송신 코일(810)이 설치되어 있다. 제 1 수신 코일(710)은, 유도선(600)을 통해 전달되는 신호를 수신한다. 한편, 제 1 송신 코일(810)은, 유도선에 대해 신호를 송신한다. 제 1 수신 코일(710)은, 제 1 송신 코일(810)보다 대차(200)의 전단측에 설치되어 있다.
대차(200)에는 또한, 궤도(100)의 좌측에 설치되는 유도선(600)에 대응하도록, 제 2 수신 코일(720) 및 제 2 송신 코일(820)이 설치되어 있다. 제 2 수신 코일(720)은, 유도선(600)을 통해 전달되는 신호를 수신한다. 한편, 제 2 송신 코일(820)은, 유도선에 대해 신호를 송신한다. 제 2 수신 코일(720)은, 제 2 송신 코일(820)보다 대차(200)의 전단측에 설치되어 있다.
참고로, 상술한 제 1 수신 코일(710) 및 제 2 수신 코일(720)은 각각, 본 발명의 「수신부」의 일례이다. 또한, 제 1 송신 코일(810) 및 제 2 송신 코일(820)은 각각, 본 발명의 「송신부」의 일례이다.
도 7에 있어서, 대차(200)에는 통신 회로(900)가 설치되어 있다. 통신 회로(900)는, 제 1 발신 회로(910), 제 1 송신부(915), 제 2 발신 회로(920), 제 2 송신부(925), 제 1 수신 회로(930), 제 1 수신부(935), 제 2 수신 회로(940) 및 제 2 수신부(945)를 구비하여 구성되어 있다.
제 1 발신 회로(910) 및 제 2 발신 회로(920)의 각각은, 본 발명의 「발신부」의 일례이며, 제 1 송신부(915) 및 제 2 송신부(925)와의 사이에 설치된 스위치를 전환함으로써, 서로 주파수가 상이한 4개의 신호(F1∼F4)를 발신할 수 있도록 구성되어 있다. 발신된 신호는, 제 1 송신 코일(810) 및 제 2 송신 코일(820)에 의해, 유도선(600)에 각각 송신된다.
제 1 수신 회로(930) 및 제 2 수신 회로(940)의 각각은, 제 1 수신 코일(710) 및 제 2 수신 코일(720)에 의해 수신된 신호를, 제 1 수신부(935) 및 제 2 수신부(945)를 통해 각각 수신할 수 있도록 구성되어 있다. 참고로, 제 1 수신 회로(930) 및 제 2 수신 회로(940)는, 상술한 제 1 발신 회로(910) 및 제 2 발신 회로(920)와는 달리, 스위치를 전환하지 않더라도, 4개의 신호(F1∼F4)를 각각 동시에 수신할 수 있다.
궤도(100)를 주행하는 각 대차는, 신호(F1∼F4)의 송신 및 수신에 의해, 유도선(600)이 설치된 영역에 있어서의 다른 대차(200)의 존재를 인식할 수 있게 된다. 예컨대, 하나의 대차(200)는, 다른 대차(200)가 송신하는 신호를 수신함으로써, 다른 대차(200)의 주행 위치나 주행 상황 등을 인식한다. 대차(200)는, 예컨대 분기점 및 합류점에 대응하는 지도 정보 등을 가지고 있어, 발신가능한 4개의 신호(F1∼F4) 중에서, 각 분기점 및 합류점에 대해 고유하게 정해진 1개의 신호를 선택하여 송신한다.
참고로, 각 주파수의 신호는, 랜덤한 혹은 각 대차(200) 고유의 펄스 열에서 출력되고 있으며, 대차(200)로부터의 송신 신호와 수신된 수신 신호의 펄스 열이 일치할 경우에, 수신 신호가 대차(200)로부터 송신된 신호라고 판단한다. 한편, 송신 신호와 수신 신호의 주파수가 동일하더라도, 펄스 열이 다른 경우에는 다른 대차로부터 송신된 신호라고 판단한다. 본 실시형태에 따른 대차(200)는 4개의 신호를 송수신 가능하게 되어 있지만, 보다 많은 신호를 송수신 가능하도록 구성되어도 좋다. 이 경우, 통신 회로(900) 등의 구성은 다소 복잡해지지만, 보다 많은 정보를 전달할 수 있게 된다. 더욱 구체적으로는, 합류점 및 분기점에서, 보다 많은 유도선(600) 간의 접속이 가능해져, 더욱 섬세한 유도선 제어가 실현될 수 있다.
통신 회로(900)는, 차상 컨트롤러(205)(도 1 참조)와 전기적으로 접속되어 있어, 차상 컨트롤러(205)로부터 송신되는 각종 제어신호를 수신할 수 있는 동시에, 차상 컨트롤러(205)에 대해 4개의 신호(F1∼F4)의 송신 결과 및 수신 결과를 송신가능하게 구성되어 있다.
차상 컨트롤러(205)는, 기억부(950), 본 발명의 「판정부」의 일례인 유도선 제어부(955), 및 본 발명의 「제어부」의 일례인 주행 제어부(960)를 구비하고 있다.
기억부(950)는, 대차(200)가 주행하는 궤도(100)에 관한 데이터를, 예컨대 지도 데이터로서 기억하고 있다. 기억부(950)는, 예컨대 분기점 및 합류점의 위치, 제한 속도 등을 기억하고 있다. 또한 기억부(950)는, 유도선(100)을 이용한 제어에 관해, 분기점 및 합류점에서의 대차(100)의 진행방향에 따라, 어느 신호를 유도선(100)에 발신해야 하는지, 유도선(100)으로부터 어느 신호를 수신하면 감속 또는 정지되어야 하는지 등의 정보를 기억하고 있다.
유도선 제어부(955)는, 신호(F1∼F4)의 수신 결과에 근거하여, 대차(200)를 어떻게 제어해야 할지를 판정한다. 구체적으로, 유도선 제어부(955)는, 기억부(950)에 기억된 정보에 따라, 어느 분기점 및 합류점에서 어느 신호를 유도선(100)에 발신할지, 어느 신호를 수신하면 감속 또는 정지시킬지, 어느 신호를 수신하면 주행을 속행시킬지를 판정하고, 판정 결과를 주행 제어부(960)로 보낸다. 또한, 어느 신호도 수신하지 않은 경우(대차(200)가 발신한 신호도 수신하지 않은 경우)에는, 유도선(100)이 단선되어 있다고 판단하고, 단선신호를 발생시켜 주행 제어부(960)로 보낸다. 주행 제어부(960)는, 유도선 제어부(955)에 있어서의 판정 결과에 따라, 대차(200)의 주행을 제어한다.
(4) 분기점 및 합류점에 있어서의 유도선의 구체적인 배치 위치 및 대차의 동작
다음으로, 분기점 및 합류점에 있어서의 유도선의 구체적인 배치 위치 및 대차의 동작에 대해, 도 8 내지 도 13을 참조하여 설명한다. 여기서 도 8은, 실시예 1에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이고, 도 9는, 비교예 1에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다. 또한 도 10은, 실시예 2에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이고, 도 11은, 비교예 2에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다. 그리고, 도 12는, 실시예 3에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이고, 도 13은, 비교예 3에 따른 유도선의 구성 및 대차의 동작을 나타낸 개념도이다.
(4-1) 실시예 1
우선, 도 8에 나타낸 바와 같이, 궤도가, 본궤도(101)와, 본궤도(101)로부터 분기되는 제 1 분기 궤도(102) 및 제 2 분기 궤도(102)에 의해 구성되어 있는 경우에 대해 생각한다.
본궤도(101)의 우측에는, 제 1 분기 궤도(102)와의 분기점 및 제 2 분기 궤도(103)와의 분기점에까지 연장되도록 유도선(601)이 설치되어 있다. 또한, 제 1 분기 궤도(102)의 좌측에는 유도선(602)이 설치되어 있고, 제 2 분기 궤도(103)의 좌측에는 유도선(603)이 설치되어 있다. 여기서 특히, 유도선(601, 602 및 603)은 서로 전기적으로 접속되어 있다. 참고로, 각 분기점의 바로 앞에는, 정지 마크(151 및 152)가 설치되어 있다.
여기서 본궤도(101)를 주행하고 있는 대차(200a)는, 유도선(601)을 이용하여 통신을 행함으로써, 제 1 분기 궤도(101) 및 제 2 분기 궤도(102)에 있어서의 다른 대차(200)의 존재를 인식할 수 있다. 따라서, 제 1 분기 궤도(101) 및 제 2 분기 궤도(102)의 어디에도 다른 대차(200)가 존재하지 않을 경우, 대차(200a)는, 감속하지 않고 본궤도(101)를 직진할 수 있다. 한편, 제 1 분기 궤도(101)에 다른 대차(200)가 존재할 경우에는, 정지 마크(151)에서 정지할 수 있도록 대차(200a)의 주행이 제어된다. 또한, 제 1 분기 궤도(101)에 다른 대차(200)가 존재하지 않고, 제 2 분기 궤도(102)에 다른 대차(200)가 존재할 경우에는, 정지 마크(152)에서 정지할 수 있도록 대차(200a)의 주행이 제어된다.
단, 반송차(200a)는, 제 1 분기 궤도(101) 및 제 2 분기 궤도(101)에 다른 대차(200)가 존재할 경우에 반드시 정지할 필요는 없으며, 다른 대차(200)에 반송차(200a)가 존재함을 알리는 신호를 송신함으로써, 다른 대차(200)에 감속 혹은 정지를 지시하고, 반송차(200a)는 감속 없이 각 분기점을 직진할 수도 있다.
보다 구체적으로는, 예컨대 본궤도(101)로부터 제 1 분기 궤도(102)로 주행하는 대차(200)는 신호(F1)를 발신하고, 본궤도(101)로부터 제 2 분기 궤도(103)로 주행하는 대차(200)는 신호(F2)를 발신하고, 분기되지 않고 본궤도(101)를 직진하는 대차(200)는 신호(F3)를 발신하는 것으로 정해진 경우에 대해 생각한다.
이 경우, 직진주행하는 후속 대차(즉, 신호를 발신하고 있는 대차(200)의 후방을 주행하고 있는 다른 대차)가 신호(F1 또는 F2)를 수신하지 않은 경우, 동일한 주행방향에는 다른 대차(200)가 없는 것으로 판단하고, 정지 마크(151 및 152)에서의 정지 준비(즉, 감속)를 하지 않고 주행을 계속한다. 그리고, 전방 감시 센서가 선행 대차를 검지하지 않는 한, 감속하지 않고 제 1 분기 궤도(102)와의 분기점 및 제 2 분기 궤도(103)와의 분기점으로 진입할 수 있다. 그리고, 또한 후속 대차가, 본궤도(101)로부터 제 1 분기 궤도(102)로 주행할 경우에 신호(F3)를 수신하지 않았으면, 마찬가지로 동일한 주행방향에는 다른 대차(200)가 없는 것으로 판단하고, 정지 마크(151 및 152)에서의 정지 준비를 하지 않고 주행을 계속한다.
(4-2) 비교예 1
여기서는, 도 9를 참조하여, 가령 대차(200)가 1개의 신호(즉, 단일 주파수의 신호)밖에 송수신할 수 없는 경우에 대해 생각해본다. 이 경우, 본궤도(101)를 따라 설치되는 유도선(601)은, 제 1 분기 궤도(102)와의 분기점에 대응하는 유도선(601a), 제 2 분기 궤도(103)와의 분기점에 대응하는 유도선(601b)으로서, 서로 독립적으로 설치된다.
유도선(601a) 및 유도선(601b)이 서로 독립되어 있는 경우, 예컨대 유도선(601a)의 유도선 영역 내를 주행하고 있는 대차(200a)는, 유도선(601b)의 유도선 영역 내에 있어서의 다른 대차(200)의 존재를 인식할 수 없다. 이 때문에 대차(200a)는, 유도선(601b)의 유도선 영역 내로 진입하고자 할 때, 선행하는 다른 대차(200)의 존재에 대비하여, 정지 마크(152)에서 확실히 정지할 수 있도록 감속할 것이 요구된다.
상술한 바와 같이, 대차(200)가 1개의 신호밖에 송수신할 수 없는 경우, 분기점이 연속되어 있으면, 각 대차(200)는 불필요한 감속을 할 수밖에 없어, 반송 효율이 저하되어 버리는 기술적 문제점이 발생한다.
(4-3) 실시예 1과 비교예 1의 비교
참고로, 도 8 및 도 9의 비교를 통해서도 알 수 있듯이, 도 9에 있어서의 분기점의 간격은, 도 8의 분기점의 간격보다 넓어져 있다. 이것은, 도 9에 나타낸 바와 같은 경우에 있어서, 본궤도(101)와 제 1 분기 궤도(102)와의 분기점에 다다른 대차(200a)가, 본궤도(101)와 제 2 분기 궤도(103)와의 분기점에 있어서의 다른 대차(200)의 존재를 인식할 수 없음에 기인하는 것이다.
구체적으로는, 도 9에 나타낸 바와 같이 제 1 분기 궤도(102)에 다른 대차(200)가 존재하고 있지 않은 경우, 대차(200a)는 제 1 분기 궤도(102)와의 분기점을 감속 없이 직진할 수 있다. 그러나, 이 시점에서는, 제 2 분기 궤도(103)와의 분기점에서의 다른 대차(200)의 존재는 인식할 수 없으므로, 설령 제 2 분기 궤도(103)에 다른 대차(200)가 존재하고 있지 않은 경우라 하더라도, 정지 마크(152)까지 정지할 수 있을 정도의 감속이 요구되게 된다. 이러한 주행 제어는, 도 8과 같이 분기점 간의 간격이 좁은 경우에는 실행이 불가능하다. 환언하자면, 도 8에 나타낸 바와 같은 좁은 간격으로 설치된 분기점은, 대차(200)가 복수의 신호를 송수신 가능하기 때문에 비로소 실현가능한 구성이다.
(4-4) 실시예 2
다음으로, 도 10에 나타낸 바와 같이, 궤도가, 본궤도(104)와, 본궤도(104)에 합류하는 제 1 합류 궤도(105) 및 제 2 합류 궤도(106)에 의해 구성되어 있는 경우에 대해 생각해본다.
본궤도(104)의 우측에는, 제 1 합류 궤도(105)와의 합류점 및 제 2 합류 궤도(106)와의 합류점에까지 연장되도록 유도선(604)이 설치되어 있다. 또한, 제 1 합류 궤도(105)의 좌측에는 유도선(605)이 설치되어 있고, 제 2 합류 궤도(106)의 좌측에는 유도선(606)이 설치되어 있다. 여기서 특히, 유도선(604, 605 및 606)은 서로 전기적으로 접속되어 있다. 참고로, 각 합류점의 바로 앞에는, 정지 마크(153 및 154)가 설치되어 있다.
여기서 본궤도(104)를 주행하고 있는 대차(200b)는, 유도선(604)을 이용하여 통신을 행함으로써, 제 1 합류 궤도(105) 및 제 2 합류 궤도(106)에 있어서의 다른 대차의 존재를 인식할 수 있다. 따라서, 제 1 합류 궤도(105) 및 제 2 합류 궤도(106)의 어디에도 다른 대차(200)가 존재하지 않을 경우, 대차(200b)는, 감속 없이 본궤도(104)를 직진할 수 있다. 한편, 제 1 합류 궤도(105)에 다른 대차(200)가 존재할 경우에는, 정지 마크(153)에서 정지할 수 있도록 대차(200b)의 주행이 제어된다. 또한, 제 1 합류 궤도(105)에 다른 대차(200)가 존재하지 않고, 제 2 합류 궤도(106)에 다른 대차(200)가 존재할 경우에는, 정지 마크(154)에서 정지할 수 있도록 대차(200b)의 주행이 제어된다.
단, 반송차(200b)는, 제 1 합류 궤도(105) 및 제 2 합류 궤도(106)에 다른 대차(200)가 존재할 경우에 반드시 정지할 필요는 없으며, 다른 대차(200)에 반송차(200b)가 존재함을 알리는 신호를 송신함으로써, 다른 대차(200)에 감속 혹은 정지를 지시하고, 반송차(200b)는 감속 없이 각 합류점을 직진할 수도 있다.
(4-5) 비교예 2
여기서는 도 11을 참조하면서, 도 9에서 설명한 경우와 마찬가지로, 대차(200)가 1개의 신호밖에 송수신할 수 없는 경우에 대해 생각해본다. 이 경우, 유도선(600)은 궤도의 양측에 설치되어야만 하고, 본궤도(104)를 따른 유도선(600)은, 각 합류 궤도와의 합류점마다 설치된다.
구체적으로는, 본궤도(104)에 있어서의 제 1 합류 궤도(105)와의 합류점 주변에는, 유도선(604a 및 604b)이 설치되고, 제 2 합류 궤도(106)와의 합류점 주변에는, 유도선(604c 및 604d)이 설치된다. 또한, 제 1 합류 궤도(105)에는, 유도선(605a 및 605b)이 설치되고, 제 2 합류 궤도(106)에는, 유도선(606a 및 606b)이 설치된다. 참고로, 유도선(604a) 및 유도선(605a)은 서로 전기적으로 접속되어 있고, 유도선(604b) 및 유도선(605b)은 서로 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 유도선(604c) 및 유도선(606a)은 서로 전기적으로 접속되어 있고, 유도선(604d) 및 유도선(606b)은 서로 전기적으로 접속되어 있다.
상술한 바와 같이, 대차(200)가 1개의 신호밖에 송수신할 수 없는 경우에는, 1개의 유도선(600)으로 복수의 정보를 공유할 수 없기 때문에, 필연적으로 유도선(600)의 수가 증가된다. 따라서, 시스템 구성이 고도로 복잡화되거나 가격이 증대되는 등의 문제를 초래하게 될 우려가 있다.
(4-6) 실시예 2와 비교예 2의 비교
또한, 도 10 및 도 11의 비교를 통해서도 알 수 있듯이, 도 11에 있어서의 합류점의 간격은, 도 10의 합류점의 간격보다 넓어져 있다. 이것은, 도 11에 도시된 바와 같은 경우에 있어서, 본궤도(104)와 제 1 합류 궤도(105)의 합류점에 다다른 대차(200b)가, 본궤도(104)와 제 2 합류 궤도(106)의 합류점에 있어서의 다른 대차(200)의 존재를 인식할 수 없음에 기인하는 것이다.
구체적으로는, 도 11에 나타낸 바와 같이 제 1 합류 궤도(105)에 다른 대차(200)가 존재하고 있지 않은 경우, 대차(200b)는 제 1 합류 궤도(105)와의 합류점을 감속 없이 직진할 수 있다. 그러나, 이 시점에서는, 제 2 합류 궤도(106)와의 합류점에 있어서의 다른 대차(200)의 존재는 인식할 수 없으므로, 설령 제 2 합류 궤도(106)에 다른 대차(200)가 존재하고 있지 않은 경우라 하더라도, 제 2 합류 궤도(106)와의 합류점까지 충돌을 방지할 수 있을 정도의 감속이 요구되게 된다. 이러한 주행 제어는, 도 10과 같이 합류점 간의 간격이 좁은 경우에는 실행이 불가능하다. 환언하자면, 도 10에 나타낸 바와 같은 좁은 간격으로 설치된 합류점은, 대차(200)가 복수의 신호를 송수신 가능하기 때문에 비로소 실현가능한 구성이다.
(4-7) 실시예 3
다음으로는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 궤도가, 제 1 궤도(107)와 제 2 궤도(108), 및 제 1 궤도(107)와 제 2 궤도(108) 사이를 접속하는 제 1 접속 궤도(109)와 제 2 접속 궤도(110)에 의해 구성되어 있는 경우에 대해 생각해본다.
제 1 궤도(107)의 우측에는, 제 1 접속 궤도(109)와의 분기점으로부터 제 2 접속 궤도(110)와의 합류점에까지 연장되도록, 유도선(607)이 설치되어 있다. 마찬가지로, 제 2 궤도(108)의 우측에는, 제 2 접속 궤도(110)와의 분기점으로부터 제 1 접속 궤도(109)와의 합류점에까지 연장되도록, 유도선(608)이 설치되어 있다. 또한, 제 1 궤도(107)의 좌측에는, 제 1 접속 궤도(109)에까지 연장되도록 유도선(609)이 설치되어 있다. 마찬가지로, 제 2 궤도(108)의 좌측에는, 제 2 접속 궤도(110)에까지 연장되도록 유도선(610)이 설치되어 있다. 여기서 특히, 유도선(607) 및 유도선(610)은 서로 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 유도선(608) 및 유도선(609)도 서로 전기적으로 접속되어 있다. 유도선(607) 및 유도선(610)과, 유도선(608) 및 유도선(609)은, 서로 전기적으로 접속되어 있지 않다(즉, 절연되어 있다).
제 1 궤도(107)와 제 1 접속 궤도(109)의 분기점의 바로 앞에는, 정지 마크(155)가 설치되어 있다. 제 1 궤도(107)와 제 2 접속 궤도(110)의 합류점의 바로 앞에는, 정지 마크(156)가 설치되어 있다. 제 2 궤도(108)와 제 2 접속 궤도(110)의 분기점의 바로 앞에는, 정지 마크(157)가 설치되어 있다. 제 2 궤도(108)와 제 1 접속 궤도(109)의 합류점의 바로 앞에는, 정지 마크(158)가 설치되어 있다.
여기서, 정지 마크(155)의 지점에 존재하는 대차(200c)는, 유도선(607)을 이용하여 통신을 행함으로써, 제 1 궤도(107)에 있어서의 제 2 접속 궤도(110)와의 합류점까지의 영역, 및 제 2 궤도(108)에 있어서의 다른 대차(예컨대, 대차(200e)나 대차(200f) 등)의 존재를 인식할 수 있다. 대차(200c)는 또한, 유도선(609)을 이용하여 통신을 행함으로써, 제 1 접속 영역(109) 및 제 2 궤도(108)에 있어서의 다른 대차(예컨대, 대차(200d)나 대차(200i) 등)의 존재를 인식할 수 있다. 참고로, 이와 같이 매우 넓은 범위에서 다른 대차(200)의 존재를 인식할 수 있는 것은, 대차(200)가 서로 주파수가 상이한 복수의 신호(F1∼F4)를 이용하여 통신할 수 있기 때문(즉, 1개의 유도선(600)으로, 복수의 정보를 전달할 수 있기 때문)이다.
상술한 바와 같이 다른 대차(200)의 존재를 인식하는 것이 가능하면, 분기점 및 합류점에 있어서의 대차(200c)의 주행 효율 저하를 방지할 수 있다. 즉, 다른 대차(200)와의 충돌을 방지하면서, 바람직한 주행이 실현된다. 구체적으로는, 대차(200c)가 제 1 궤도(107)와 제 1 접속 궤도(109)의 분기점을 직진하고자 하고 있을 경우, 접속 궤도(109)에 대차(200d)가 존재하고 있다 하더라도, 대차(200c)는 감속 없이 주행을 속행할 수 있다.
(4-8) 비교예 3
여기서는 도 13을 참조하면서, 도 9 및 도 11에서 설명한 경우와 마찬가지로, 대차(200)가 1개의 신호밖에 송수신할 수 없는 경우에 대해 생각해본다. 대차(200)가 1개의 신호밖에 송수신할 수 없다면, 궤도에 있어서의 유도선(600)의 구성을 변화시키지 않을 수 없다. 구체적으로는, 유도선(607) 및 유도선(610)은, 서로 전기적으로 접속되지 않도록 구성된다. 또한, 유도선(608) 및 유도선(609)은, 서로 전기적으로 접속되지 않도록 구성된다.
상술한 구성에서는, 정지 마크(155)의 지점에 존재하는 대차(200c)는, 유도선(609)을 이용하여 통신함으로써, 제 1 접속 궤도(109)에 있어서의 다른 대차(200d)의 존재를 인식할 수 있다. 그러나, 1개의 신호밖에 송수신할 수 없기 때문에, 대차(200d)의 존재를 인식하고 있는 동안에는 유도선(607)을 이용하여 통신을 할 수는 없다. 즉, 제 1 궤도(107)에 있어서의 다른 대차(200)의 존재는 인식할 수 없다. 따라서, 대차(200c)가 제 1 궤도(107)와 제 1 접속 궤도(109)의 분기점을 직진하고자 하는 경우, 도면에 나타낸 바와 같이 제 1 궤도(107)에 다른 대차(200)가 존재하지 않는 경우라 하더라도, 대차(200d)가 대차(200g)의 위치(즉, 유도선(609)이 설치된 영역 밖)까지 진행하지 않으면, 직진을 시작할 수 없다. 따라서, 도 13에 나타낸 경우의 대차(200c)의 주행 효율은, 도 12에 나타낸 경우에 비해 크게 저하된다.
(4-9) 실시예와 비교예의 비교
이상 설명한 도 9, 도 11 및 도 13에 도시된 비교예와 비교할 때, 도 8, 도 10 및 도 12에 도시된 본 실시형태에 따른 유궤도 대차 시스템에 따르면, 대차(200)가 서로 주파수가 상이한 복수의 신호를 송수신 가능하도록 구성되어 있기 때문에, 궤도 상에 분기점 및 합류점이 연속적으로 설치되어 있는 경우라 하더라도, 분기점 및 합류점을 통과하는 대차(200)의 불필요한 속도 저하나 주행 정지를 억제할 수 있다. 따라서, 시스템의 반송 효율을 효과적으로 향상시키는 것이 가능하다.
(5) 기타의 실시형태
본 발명은, 상술한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 특허청구의 범위 및 명세서 전체로부터 파악가능한 발명의 요지 혹은 사상에 반하지 않는 범위 내에서 적절히 변경이 가능하며, 이러한 변경을 수반하는 유궤도 대차 시스템 또한, 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합시킬 수 있다.
100 : 궤도
200 : 대차
205 : 차상 컨트롤러
210 : 주행부
215 : 주행 롤러
220 : 본체부
230 : 이동부
235 : 승강부
240 : 승강 벨트
250 : 파지부
300 : 컨트롤러
400 : FOUP
510 : 포트
520 : 사이드 버퍼
600 : 유도선
710 : 제 1 수신 코일
720 : 제 2 수신 코일
810 : 제 1 송신 코일
820 : 제 2 송신 코일
900 : 통신 회로
910 : 제 1 발신 회로
915 : 제 1 신호 송신부
920 : 제 2 발신 회로, 제 2 신호 송신부
930 : 제 1 수신 회로
935 : 제 1 신호 수신부
940 : 제 2 수신 회로
945 : 제 2 신호 수신부
950 : 기억부
955 : 유도선 제어부
960 : 주행 제어부

Claims (12)

  1. 분기점 및 합류점을 포함하는 소정 영역 내에 유도선을 가지는 궤도와, 상기 궤도에 지지되는 동시에 안내되어 주행하는 복수의 대차를 구비하는 유궤도 대차 시스템으로서,
    상기 복수의 대차는 각각,
    서로 주파수가 다른 복수의 신호를 각각 발신가능한 발신부와,
    상기 발신부로부터 발신된 복수의 신호를 상기 유도선에 각각 송신하는 송신부와,
    상기 유도선을 통해 전달된 복수의 신호를 각각 수신가능한 수신부와,
    상기 수신부에서 수신된 신호의 종류에 근거하여, 상기 대차의 감속 혹은 정지, 또는 주행의 속행을 판정하는 판정부와,
    상기 판정부에서의 판정 결과에 따라, 상기 대차의 주행을 제어하는 제어부를 구비하고 있는, 유궤도 대차 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 대차가 상기 분기점 및 합류점을 통과할 때, 상기 분기점 및 합류점의 각각에 대응하여 고유하게 정해진 종류의 신호를 발신하는, 유궤도 대차 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 수신부는, 상기 대차의 전단측에 설치되어 있고,
    상기 송신부는, 상기 대차의 후단측에 설치되어 있는, 유궤도 대차 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 유도선은, 상기 궤도의 우측 및 좌측의 가장자리 중 적어도 일방을 따라 설치되어 있으며,
    상기 수신부는, 상기 대차의 우측 전단측에 설치된 제 1 수신부, 및 상기 대차의 좌측 전단측에 설치된 제 2 수신부를 포함하고 있고,
    상기 송신부는, 상기 대차의 우측 후단측에 설치된 제 1 송신부, 및 상기 대차의 좌측 후단측에 설치된 제 2 송신부를 포함하고 있는, 유궤도 대차 시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며,
    상기 판정부는, 상기 수신부가 상기 긴급정지 신호를 수신한 경우, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고,
    상기 제어부는, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 상기 대차를 긴급정지시키도록 제어하는, 유궤도 대차 시스템.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며,
    상기 판정부는, 상기 수신부가 상기 긴급정지 신호를 수신한 경우, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고,
    상기 제어부는, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 상기 대차를 긴급정지시키도록 제어하는, 유궤도 대차 시스템.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며,
    상기 판정부는, 상기 수신부가 상기 긴급정지 신호를 수신한 경우, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고,
    상기 제어부는, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 상기 대차를 긴급정지시키도록 제어하는, 유궤도 대차 시스템.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 수신부는, 상기 대차의 전단측에 설치되어 있고,
    상기 송신부는, 상기 대차의 후단측에 설치되어 있는, 유궤도 대차 시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 유도선은, 상기 궤도의 우측 및 좌측의 가장자리 중 적어도 일방을 따라 설치되어 있으며,
    상기 수신부는, 상기 대차의 우측 전단측에 설치된 제 1 수신부, 및 상기 대차의 좌측 전단측에 설치된 제 2 수신부를 포함하고 있고,
    상기 송신부는, 상기 대차의 우측 후단측에 설치된 제 1 송신부, 및 상기 대차의 좌측 후단측에 설치된 제 2 송신부를 포함하고 있는, 유궤도 대차 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며,
    상기 판정부는, 상기 수신부가 상기 긴급정지 신호를 수신한 경우, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고,
    상기 제어부는, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 상기 대차를 긴급정지시키도록 제어하는, 유궤도 대차 시스템.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며,
    상기 판정부는, 상기 수신부가 상기 긴급정지 신호를 수신한 경우, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고,
    상기 제어부는, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 상기 대차를 긴급정지시키도록 제어하는, 유궤도 대차 시스템.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 발신부는, 상기 복수의 신호의 하나로서 긴급정지 신호를 발신가능하며,
    상기 판정부는, 상기 수신부가 상기 긴급정지 신호를 수신한 경우, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정하고,
    상기 제어부는, 상기 대차를 긴급정지시킨다고 판정된 경우, 상기 대차를 긴급정지시키도록 제어하는, 유궤도 대차 시스템.


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