KR880010997A - 웨이퍼 반송방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

웨이퍼 반송방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 벨트 콘베이어를 사용한 선행기술의 운반기 시스템의 도식적 측면도.
제2도는 진동간을 사용한 선행기술의 운반기 시스템의 도식적 측면도.
제3도는 제2도의 도식적 평면도.
제4도는 경사진 공기 노즐들을 사용한 선행기술의 운반기 시스템이 도식적 측면도.

Claims (12)

  1. 많은 평판 전극들, 서로 수평으로 동 평면적인 평면이 있는 상기 각 전극들, 웨이퍼를 향하는 상기 전극의 상기 평면과, 예정된 순서에 따라 상기 평판 전극들에 선택적으로 전압을 인가하는 첫 번째 수단에 의해 웨이퍼가 끌어당겨지고 수평(가로)으로 운반되며, 웨이퍼와 상기 평판 전극들 사이에 공기 갭을 제공하는 두 번째 수단을 포함하는 수평방향에 있는 전도성 웨이퍼 운반용 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 두 번째 수단이 상기 평판 전극들의 표면을 관통하여 설치되어 있는 복수 가스노즐을 포함하고, 상기 노즐을 통하여 가스가 웨이퍼 쪽으로 수직적으로 분출되는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 가스를 맑고 건조한 공기 및 불활성 가스의 단(group)에서 선택하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 평판 전극들의 상기 표면들이 절연층으로 덮여있는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전극들에 인가된 상기 전압이 직류 전압인 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전압이 인가된 상기 평판 전극들의 수가 웨이퍼를 연속적으로 운반하기 위해 적어도 3개이고 상기 전압이 웨이퍼의 위치에 따라 다음 전극으로 차례로 인가되는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 전압이 인가된 상기 평판 전극들의 수가 웨이퍼를 운반의 상기 방향을 따라 웨이퍼를 유도하기 위해서 적어도 2개이며, 상기 두 평판 전극 표면의 경제선이 상기 방향을 따르도록 상기 두 평판 전극이 위치해 있는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 두 평판 전극표면의 경계선이 필수적으로 웨이퍼가 운반된 경로의 중심선을 따르며, 그것에 의하여 웨이퍼가 웨이퍼를 상기 방향으로부터 측면으로 벗어나지 못하게 하는 동안에 웨이퍼가 가속된 전단에서 얻어진 관성에 의해서 상기 경계선을 따라 운반되는 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 두 평판 전극표면의 경계선이 상기 경로가 굽은 곳에 그 웨이퍼가 운반된 경로의 중심선으로부터 이탈되고, 상기 곡선의 내벽으로 상기 이탈한 것과, 그것에 의하여 그 웨이퍼가 상기 굽은 경로의 곡선 방향을 따를 수 있도록 보충된 전단에서 그 웨이퍼의 속도로부터 얻어진 원심력이 있는 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 평판 전극에 대해 웨이퍼의 위치를 검출하기 위한 세 번째 수단과, 그것에 의해서 상기 전극들에 전압 인가의 상기 스윗칭이 상기 검출된 웨이퍼 위치를 따라 동작하는 것을 더 포함하는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 세 번째 수단에 상기 평판 전극 특정의 쌍사이에 라디오 주파수 전압을 공급하기 위한 수단과, 상기 평판 전극들의 특정한 하나로 흐르는 라디오 주파수 전류를 검출하기 위한 수단과, 그것에 의하여 상기 라디오 주파수 전류의 증가가 상기 특정 전극들과 대향인 웨이퍼의 존재를 나타내는 것을 포함하는 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 세 번째 수단에 운반된 상기 웨이퍼의 한면에 위치해 있고 광선을 방출하는 광방출 수단과, 상기 광방출 수단으로부터 방출된 빛을 검출하기 위한 광검출 수단과, 상기 웨이퍼에 대해 상기 광방출 수단으로부터 맞은 편에 있는 상기 광검출 수단과, 상기 방출된 빛이 상기 웨이퍼에 의해서 차단되도록 위치한 상기 광선방출 및 검출수단을 포함하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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