KR970077237A - 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 제조공정에 사용되는 건식식각 장치에 관한 것으로, 특히 플라즈마를 이용한 건식공정중 웨이퍼가 안착되는 플레이트의 오염을 방지하여 공정의 균일도를 높일 수 있도록 한 플라즈마를 이용한 건식식각 장치에 대한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 건식식각정치는 웨이퍼가 안착되는 에노드를 구비하고, 상기 애노드의 중심에 상기 웨이퍼가 삽입되는 홈을 포함하여, 종래에 에칭시 발생하는 폴리머로 인하여 발생되는 웨이퍼의 정렬에 따른 에칭의 불균일과 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 웨이퍼의 미끄러짐을 방지하므로서 공정의 균일도와 아울러 수율을 높일 수 있도록 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 애노드의 구조도
Claims (2)
- 웨이퍼가 안착되는 애노드를 구비한 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치에 있어서, 상기 애노드의 중심에 상기 웨이퍼가 삽입되는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치.
- 제1항에 있어서, 상기 홈의 바닥은 평탄면을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 플라즈마 식각장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019960014674A KR970077237A (ko) | 1996-05-06 | 1996-05-06 | 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019960014674A KR970077237A (ko) | 1996-05-06 | 1996-05-06 | 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077237A true KR970077237A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66216610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960014674A Withdrawn KR970077237A (ko) | 1996-05-06 | 1996-05-06 | 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077237A (ko) |
-
1996
- 1996-05-06 KR KR1019960014674A patent/KR970077237A/ko not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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