KR970077136A - 웨이퍼 척을 갖춘 웨이퍼 에지 그라인딩 장치 - Google Patents

웨이퍼 척을 갖춘 웨이퍼 에지 그라인딩 장치 Download PDF

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KR970077136A
KR970077136A KR1019960015556A KR19960015556A KR970077136A KR 970077136 A KR970077136 A KR 970077136A KR 1019960015556 A KR1019960015556 A KR 1019960015556A KR 19960015556 A KR19960015556 A KR 19960015556A KR 970077136 A KR970077136 A KR 970077136A
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wafer chuck
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이경욱
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 척을 갖춘 웨이퍼 에지 그라인딩 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 에지 그라인딩 장치는 웨이퍼를 직접 홀딩하기 위하여 복수의 진공홀이 형성되어 있고, 웨이퍼와 동일하거나 큰 지름과, 웨이퍼와 동일한 형상을 가지는 상부와, 상기 상부보다 작은 지름을 가지고, 상기 상부의 저면에서 상기 상부를 지지하는 하부를 포함하는 웨이퍼 척을 포함한다. 본 발명에 의하면, 그라인드되는 웨이퍼에지에서의 두께를 균일하게 하고, 또한 웨이퍼 에지 두께가 얇아지는 것을 방지하여 웨이퍼 파손을 방지하고, 후속 공정을 용이하게 할 수 있다.

Description

웨이퍼 척을 갖춘 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 웨이퍼 에지 그라인딩 장치의 요부를 개략적으로 도시한 것이다.

Claims (2)

  1. 상면에 웨이퍼가 로딩될 수 있는 웨이퍼 척과, 웨이퍼 에지를 그라인딩할 수 있는 그라인드 휠과, 상기 웨이퍼 척과 그리인드 휠 사이에 설치되고 웨이퍼의 에지 부분이 삽입될 수 있는 창이 형성된 칸막이를 갖춘 웨이퍼 에지 그라인딩 장치에 있어서, 상기 웨이퍼 척은 웨이퍼를 직접 홀딩하기 위하여 복수의 진공홀이 형성되어 있고, 웨이퍼의 동일하거나 큰 지름과, 웨이퍼와 동일한 형상을 가지는 상부와, 상기 상부보다 작은 지름을 가지고, 상기 상부의 저면에서 상기 상부를 지지하는 하부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 척의 상부의 지름은 취급하는 웨이퍼의 지름보다 1∼2㎜ 더 큰 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101247065B1 (ko) * 2006-01-30 2013-03-25 엠이엠씨 일렉트로닉 머티리얼즈, 인크. 양면 웨이퍼 그라인더 및 가공물 나노토폴로지 평가 방법

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KR101247065B1 (ko) * 2006-01-30 2013-03-25 엠이엠씨 일렉트로닉 머티리얼즈, 인크. 양면 웨이퍼 그라인더 및 가공물 나노토폴로지 평가 방법

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