KR970077272A - 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치 - Google Patents

초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치 Download PDF

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KR970077272A
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변주상
이광열
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김광호
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Abstract

세척액 초음파를 가해 주면 초음파의 진동에 의해서 세척액의 운동이 활발해지므로 브러쉬에 붙어 있는 이물질을 효과적으로 제거하여 웨이퍼 수율을 향상시킬 수 있고, 또한, 브러쉬에 붙어 있는 이물질을 효과적으로 제거됨으로써 브러쉬의 수명이 연장되어 노동력이 절감됨가 아울러 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (A)는 본 발명에 의한 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치의 구조를 나타낸 단면도이고, (B)는 초음파 장치에 있어서 발진판의 구조를 나타낸 부분 확대도.

Claims (7)

  1. 오염된 브러쉬를 세척하기 위한 세척조와, 상기 세척조에 투입되는 브러쉬부와, 상기 세척조의 일측에 형성되어 상기 브러쉬부를 세척하기 위해 세척액을 공급하여 분사하는 세척액 공급수단으로 구성된 브러쉬 세척 장치에 있어서, 상기 세척액 공급수단은 상기 세척액을 공급하는 공급관과, 상기 공급관에 연통되어 상기 공급관에 공급되는 세척액의 운동량을 증가시키는 초음파 장치로 구성된 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세척액 고급수단은 상기 부러쉬부의 상기 세척조로의 투입여부에 따라 상기 초음파 장치를 제어하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 브러쉬부가 상기 세척조로의 투입여부를 감지하는 감지부와, 상기 감지부로부터 신호를 입력받아 상기 초음파 장치로 공급되는 전원을 제어하는 제어부로 구성된 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 감지부는 근접센서인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 초음파 장치는 중앙에 상기 공급관인 관통 연장된 분사헤드와, 상기 분사헤드 내부에 관통 형성된 초음파 전달관과, 상기 초음파 전달관의 일측 단부에 형성된 발진판과, 상기 초음파 전달관의 하측 단부에 연통된 집합관으로 구성되며 상기 집합관은 상기 공급관과 연통되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 분사헤드는 상기 테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 브러쉬 세척 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 집합관은 역 테이퍼 형상인 것을 초음파를 이용한 브러쉬 세적 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030051210A (ko) * 2002-10-31 2003-06-25 (주)홍익 하이엠 브라운관 표면세척용 브러쉬의 세정장치
KR20050070767A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 동부아남반도체 주식회사 반도체 기판용 클리닝부재의 파티클 제거장치
KR100719369B1 (ko) * 2005-07-06 2007-05-17 삼성전자주식회사 브러쉬 웨팅 장치

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