MA39558B1 - Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme - Google Patents

Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme

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Intelligent Virus Imaging Inc
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Abstract

La présente invention porte sur un procédé qui permet de corriger automatiquement l'astigmatisme d'un système de lentille. Une première image (96) est utilisée, celle-ci n'étant pas au point au niveau d'un premier réglage par stigmateur d'un ensemble de lentilles. Un dispositif de calcul calcule une première image de spectre de fourier correspondante (312). Une distribution et une direction de pixels de l'image de spectre de fourier (128, 130, 312) sont déterminées par calcul d'un premier vecteur (132) et d'un deuxième vecteur (134). Le premier vecteur (132) est comparé au second vecteur (134). Le système de lentille est changé depuis un premier réglage par stigmateur à un second réglage de stigmateur pour fournir une seconde image (98). Une image de spectre de fourier (314) correspondante est calculée. La distribution et la direction de pixels de la seconde image de spectre de fourier (314) sont déterminées par le calcul d'un troisième vecteur et d'un quatrième vecteur. Le troisième vecteur est comparé au quatrième vecteur. L'image qui présente le rapport de vecteur le plus faible est sélectionnée.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12073541B2 (en) * 2019-08-09 2024-08-27 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Methods for high-performance electron microscopy
CN111477529B (zh) * 2020-05-19 2024-05-14 桂林狮达技术股份有限公司 自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法
CN112924477B (zh) * 2021-01-23 2022-02-11 北京大学 电镜定量消除像散的方法
EP4191637A1 (fr) * 2021-12-02 2023-06-07 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Procédé automatique de mise au point et de correction d'astigmatisme pour un microscope électronique
EP4531072A1 (fr) * 2023-09-28 2025-04-02 ASML Netherlands B.V. Procédé d'évaluation d'un faisceau de particules chargées et procédé d'évaluation d'une matrice de faisceaux
CN117612018B (zh) * 2024-01-23 2024-04-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 用于光学遥感载荷像散的智能判别方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4180738A (en) * 1977-07-30 1979-12-25 National Research Development Corporation Astigmatism in electron beam probe instruments
JPS5775473U (fr) * 1980-10-24 1982-05-10
DE3587871T2 (de) * 1984-12-10 1994-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd Verfahren zur Feststellung eines Fokussierungsfehlers eines elektronen-mikroskopischen Bildes.
JPH07220669A (ja) * 1994-01-31 1995-08-18 Jeol Ltd 非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡
JP3340327B2 (ja) * 1996-09-30 2002-11-05 株式会社東芝 非点収差補正方法及び非点収差補正装置
US20060060781A1 (en) * 1997-08-11 2006-03-23 Masahiro Watanabe Charged-particle beam apparatus and method for automatically correcting astigmatism and for height detection
JP4069545B2 (ja) * 1999-05-19 2008-04-02 株式会社日立製作所 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置
US6552340B1 (en) * 2000-10-12 2003-04-22 Nion Co. Autoadjusting charged-particle probe-forming apparatus
JP3951590B2 (ja) * 2000-10-27 2007-08-01 株式会社日立製作所 荷電粒子線装置
JP3645198B2 (ja) * 2001-06-15 2005-05-11 独立行政法人理化学研究所 電子顕微鏡及びその焦点位置制御方法
KR101060982B1 (ko) * 2003-11-28 2011-08-31 가부시키가이샤 니콘 노광 방법 및 디바이스 제조 방법, 노광 장치, 그리고 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독가능 기록 매체
WO2006078687A2 (fr) * 2005-01-19 2006-07-27 Optopo Inc. D/B/A. Centice Corporation Codage d'ouverture en deux dimensions statique pour spectroscopie multiplexe multimodale
US7619220B2 (en) * 2005-11-30 2009-11-17 Jeol Ltd. Method of measuring aberrations and correcting aberrations using Ronchigram and electron microscope
JP4790567B2 (ja) * 2005-11-30 2011-10-12 日本電子株式会社 ロンチグラムを用いた収差測定方法及び収差補正方法及び電子顕微鏡
JP2010504129A (ja) * 2006-09-22 2010-02-12 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 肺結節の高度コンピュータ支援診断
EP2511936B1 (fr) * 2011-04-13 2013-10-02 Fei Company Correction d'astigmatisme sans distorsion d'un TEM
EP2584584A1 (fr) * 2011-10-19 2013-04-24 FEI Company Procédé d'ajustement d'un METB équipé d'un correcteur d'aberrations

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