MD2562G2 - Способ получения полисульфидных пленок - Google Patents
Способ получения полисульфидных пленок Download PDFInfo
- Publication number
- MD2562G2 MD2562G2 MDA20020071A MD20020071A MD2562G2 MD 2562 G2 MD2562 G2 MD 2562G2 MD A20020071 A MDA20020071 A MD A20020071A MD 20020071 A MD20020071 A MD 20020071A MD 2562 G2 MD2562 G2 MD 2562G2
- Authority
- MD
- Moldova
- Prior art keywords
- polysulphide
- treatment
- support
- sulphidic
- temperature
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
Изобретение относится к электронике, в частности к технологии полупроводников.Способ получения полисульфидных пленок включает нанесение сульфидных соединений на подложку и последующую термообработку. Новизна заключается в том, что подложку предварительно обрабатывают раствором ZnCl2, высушивают при температуре 373 K, сульфидное соединение ZnxIn2S3+x (x = 1, 2, 3, 5) смешивают с раствором ZnCl2, а термообработку проводят при условии T·t = (6,3 - 8,5)103 град·час, гдеТ - температура обработки;t - время обработки.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MDA20020071A MD2562G2 (ru) | 2002-02-13 | 2002-02-13 | Способ получения полисульфидных пленок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MDA20020071A MD2562G2 (ru) | 2002-02-13 | 2002-02-13 | Способ получения полисульфидных пленок |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| MD20020071A MD20020071A (en) | 2003-12-31 |
| MD2562F2 MD2562F2 (en) | 2004-09-30 |
| MD2562G2 true MD2562G2 (ru) | 2005-05-31 |
Family
ID=32026170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| MDA20020071A MD2562G2 (ru) | 2002-02-13 | 2002-02-13 | Способ получения полисульфидных пленок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| MD (1) | MD2562G2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD193Z (ru) * | 2009-06-04 | 2010-11-30 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ получения полисульфидной плёнки |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD1497G2 (ru) * | 1999-05-24 | 2001-03-31 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Фотоэлектрохимическая солнечная батарея |
-
2002
- 2002-02-13 MD MDA20020071A patent/MD2562G2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD1497G2 (ru) * | 1999-05-24 | 2001-03-31 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Фотоэлектрохимическая солнечная батарея |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| A., Sprincean A., Ţiuleanu I. Celulă solară fotoelectrochimică. Brevet nr.1497, Bopi, nr. 6, AGEPI, 2000. * |
| В.Ф., Молдовян Н.А., Радауцан С.И., райлян В.Я. Детектор ультрафиолетого излучения. Авт.св.СССР №730226, 1979 г. * |
| Кобзаренко В. Н., Доника Ф.Г., Житарь В. Ф., Радауцан С.И. Высокоомные фоточувствительные пленки ZnIn2S4. ДАН СССР, 235, 1977 с. 1297 - 1299 * |
| Молдовян Н.А., Циуляну И.И., Радауцан С.И., Житарь В.Ф., Райлян В.Я. Способ изготовления фотоприемника ультрафиолетового излучения. Авт. Св. СССР №1378717, 1987. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD193Z (ru) * | 2009-06-04 | 2010-11-30 | Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы | Способ получения полисульфидной плёнки |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MD2562F2 (en) | 2004-09-30 |
| MD20020071A (en) | 2003-12-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW328631B (en) | Susceptor, apparatus of heat-treating semiconductor wafer, and method of heat-treating the same | |
| SG136030A1 (en) | Method for manufacturing compound material wafers and method for recycling a used donor substrate | |
| TW200604394A (en) | Group III nitride crystal substrate and its manufacturing method, and group III nitride semiconductor device | |
| ATE194087T1 (de) | Trockene abgasbehandlung | |
| AU2003238350A1 (en) | Components having crystalline coatings of the aluminum oxide/silicon oxide system and method for the production thereof | |
| EP1434272A4 (en) | METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR COMPONENT | |
| TW200507113A (en) | Method for treating semiconductor processing components and components formed thereby | |
| TW200704834A (en) | Silicon wafer and manufacturing method for same | |
| WO2004057653A3 (en) | A method and apparatus for forming a high quality low temperature silicon nitride layer | |
| EP1143502A4 (en) | METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE | |
| MD2562G2 (ru) | Способ получения полисульфидных пленок | |
| TW200725742A (en) | Annealed wafer and manufacturing method of annealed wafer | |
| JPS5390033A (en) | Heat treatment equipment | |
| JPS54136274A (en) | Semiconductor device | |
| JPS6437028A (en) | Manufacture of semiconductor element | |
| JPS5771137A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| SG120893A1 (en) | Process and apparatus for heat-treating ii-vi compound semiconductors and semiconductor heat-treatedby the process | |
| Lei et al. | Mass transfer mechanism for plasma-based low-energy ion implantation of steel | |
| JPS5265686A (en) | Production of mos semiconductor device | |
| EP1090673A3 (en) | Treatment of gas mixtures | |
| RU2072176C1 (ru) | Способ выделения платиноидов с поверхности подложки | |
| JPS5375862A (en) | Surface stabilization method of semiconductor | |
| JPS5362476A (en) | Processing method of semiconductor surface | |
| JPS522273A (en) | Method of treating semiconductor substrate | |
| JPS5717496A (en) | Liquid phase growing method for single crystal of compound semiconductor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| KA4A | Patent for invention lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration) | ||
| MM4A | Patent for invention definitely lapsed due to non-payment of fees |