NL7603267A - Werkwijze voor het reinigen van gepolijste half- geleiderschijven. - Google Patents

Werkwijze voor het reinigen van gepolijste half- geleiderschijven.

Info

Publication number
NL7603267A
NL7603267A NL7603267A NL7603267A NL7603267A NL 7603267 A NL7603267 A NL 7603267A NL 7603267 A NL7603267 A NL 7603267A NL 7603267 A NL7603267 A NL 7603267A NL 7603267 A NL7603267 A NL 7603267A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
procedure
guide discs
cleaning polished
polished semi
semi
Prior art date
Application number
NL7603267A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Wacker Chemitronic
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wacker Chemitronic filed Critical Wacker Chemitronic
Publication of NL7603267A publication Critical patent/NL7603267A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P70/00—Cleaning of wafers, substrates or parts of devices
    • H10P70/10—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
    • H10P70/15—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process by wet cleaning only
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
NL7603267A 1975-06-11 1976-03-29 Werkwijze voor het reinigen van gepolijste half- geleiderschijven. NL7603267A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2526052A DE2526052C2 (de) 1975-06-11 1975-06-11 Verfahren zum Reinigen polierter Halbleiterscheiben

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7603267A true NL7603267A (nl) 1976-12-14

Family

ID=5948838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7603267A NL7603267A (nl) 1975-06-11 1976-03-29 Werkwijze voor het reinigen van gepolijste half- geleiderschijven.

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JPS51150972A (fr)
BE (1) BE842810A (fr)
DE (1) DE2526052C2 (fr)
DK (1) DK144776A (fr)
GB (1) GB1553695A (fr)
IT (1) IT1061334B (fr)
NL (1) NL7603267A (fr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129457A (en) * 1977-05-23 1978-12-12 International Business Machines Corporation Post-polishing cleaning of semiconductor surfaces
JPS6040705B2 (ja) * 1978-06-26 1985-09-12 インタ−ナシヨナル・ビジネス・マシ−ンンズ・コ−ポレ−シヨン 電子回路の保護被覆形成方法
DE3328639A1 (de) * 1983-08-09 1985-02-21 Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt Reinigungsmittel fuer mechanisch bearbeitete halbleitermaterialien
JPS60126838A (ja) * 1983-12-13 1985-07-06 Mitsubishi Monsanto Chem Co ひ化ガリウム単結晶ウエハの洗滌液および洗滌方法
DE3834396A1 (de) * 1988-10-10 1990-04-12 Telefunken Electronic Gmbh Verfahren zum entfernen von oberflaechenschichten
DE4103084A1 (de) * 1991-02-01 1992-08-13 Wacker Chemitronic Magazin zur halterung von scheibenfoermigen werkstuecken, insbesondere halbleiterscheiben, bei der nasschemischen oberflaechenbehandlung in fluessigkeitsbaedern
US5320706A (en) * 1991-10-15 1994-06-14 Texas Instruments Incorporated Removing slurry residue from semiconductor wafer planarization
US5911889A (en) * 1995-05-11 1999-06-15 Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft Method of removing damaged crystal regions from silicon wafers
US6074935A (en) * 1997-06-25 2000-06-13 Siemens Aktiengesellschaft Method of reducing the formation of watermarks on semiconductor wafers
RU2219002C1 (ru) * 2002-04-08 2003-12-20 Панчеха Юрий Степанович Способ очистки изделий

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3342652A (en) * 1964-04-02 1967-09-19 Ibm Chemical polishing of a semi-conductor substrate

Also Published As

Publication number Publication date
DK144776A (da) 1976-12-12
DE2526052C2 (de) 1983-04-21
BE842810A (fr) 1976-12-10
IT1061334B (it) 1983-02-28
JPS5338592B2 (fr) 1978-10-16
DE2526052A1 (de) 1976-12-30
GB1553695A (en) 1979-09-26
JPS51150972A (en) 1976-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7610159A (nl) Werkwijze voor het insluiten van stoffen in microvezels.
NL185500C (nl) Werkwijze voor het fluoreren van oppervlakken.
NL7707637A (nl) Werkwijze ter bereiding van bindmiddelen voor het elektrodompellakken.
NL7707923A (nl) Werkwijze voor het decaffeineren van koffie.
NL7606856A (nl) Werkwijze voor het bereiden van nieuwe 2-piperidinoalkyl 1.4-benzodioxanen.
NL7601318A (nl) Werkwijzen voor het bereiden en toepassen van heterocyclische verbindingen.
NL7607860A (nl) Werkwijze voor het vlam-onderdrukkend maken van polyestervezels.
NL7600163A (nl) Werkwijze voor het carbonyleren van arylalkylha- logeniden.
NL7608777A (nl) Werkwijze voor het bereiden van chromanonen-4.
NL7612389A (nl) Werkwijze voor het bereiden van nieuwe daunosaminylantracyclinonen.
NL7701632A (nl) Werkwijze voor het behandelen van glazen opper- vlakken.
NL7504441A (nl) Apparaat voor het zetten van koffie e.d.
NL7604063A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 1.1.1.-triaryl- alkylaminen.
NL7603267A (nl) Werkwijze voor het reinigen van gepolijste half- geleiderschijven.
NL7511166A (nl) Toestel voor het fijnmaken van voedsel.
NL7613317A (nl) Werkwijzen voor het bereiden en toepassen van heterocyclische verbindingen.
NL7603028A (nl) Werkwijze voor het bereiden van nieuwe aminogly- cosiden.
NL7604695A (nl) Werkwijze voor het bereiden van nieuwe thiazolinen.
NL7605202A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 2-aryl-2h-benzo- triazolen.
NL7608832A (nl) Werkwijze voor het bereiden van hydrazinen.
NL7607283A (nl) Werkwijze voor het bereiden van nieuwe pregnaansteroiden.
NL179450C (nl) Inrichting voor het reinigen van schoeisel.
NL7501924A (nl) Werkwijze voor het wijzigen van de brosheid van schuurmiddeldeeltjes.
NL7608803A (nl) Werkwijze voor het aanleggen van belastbare gras- vlakken.
NL7604004A (nl) Inrichting voor het shamponeren van tapijt.

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
BV The patent application has lapsed