PL114546B1 - Method of producing protective layers on internal surfaces of ceramic and quartz ampoules - Google Patents
Method of producing protective layers on internal surfaces of ceramic and quartz ampoules Download PDFInfo
- Publication number
- PL114546B1 PL114546B1 PL19314776A PL19314776A PL114546B1 PL 114546 B1 PL114546 B1 PL 114546B1 PL 19314776 A PL19314776 A PL 19314776A PL 19314776 A PL19314776 A PL 19314776A PL 114546 B1 PL114546 B1 PL 114546B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- ceramic
- temperature
- ampoules
- minutes
- protective layers
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 10
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 5
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 title description 3
- 239000003708 ampul Substances 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000013032 Hydrocarbon resin Substances 0.000 claims description 3
- 229920006270 hydrocarbon resin Polymers 0.000 claims description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- ATUINOWSBQKFKB-UHFFFAOYSA-N anthracene phenol Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12.C1(=CC=CC=C1)O ATUINOWSBQKFKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 235000019738 Limestone Nutrition 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000006028 limestone Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarza¬ nia warstwy zabezpieczajacej wewnetrzna po¬ wierzchnie ampul ceramicznych i kwarcowych.Wiele procesów laboratoryjnych dogodnie jest prowadzic w ewakuowanych zatopionych ampu- lach kwarcowych, a szczególnie bezposrednia syn¬ teze róznych substancji nieorganicznych, na przy¬ klad pólprzewodnikowych, oczyszczanie pierwia¬ stków i ich zwiazków metoda strefowego topienia, hodowanie monokrysztalów. Pewne substancje stopione takie jak potasowce, wapniowce, B, Al, Ce, Si, Mn, Te, Ti, Ta, niektóre tlenki i fluorki, zwiazki miedzymetaliczne reaguja z kwarcem, z którego wykonana jest ampula. Wynikiem tego jest kruszenie ampuly, przyleganie wsadu do jej wewnetrznej powierzchni, dehermetyzacja ukladu.Odizolowanie kwarcu od reagujacej substancji jest wiec czesto bardzo istotne.Dotychczas warstwy zabezpieczajace wytwarza¬ no jedynie w naczyniach o ksztalcie rury lub ot¬ wartego tygla (W. Lewson, S. Nilsen „Otrzymywa¬ nie monokrysztalów" PWN, 1962 r.). Powstawaly one w kopcacym plomieniu weglowodorów lub po przeplukaniu naczyn acetonem i wygrzaniu w tem¬ peraturze okolo 600°C przy ograniczonym dostepie powietrza.Jednakze tworzaca sie wówczas warstewka weg¬ la jest grubosci zaledwie kilku dziesieciotysiecz- nych czesci jAm i nie zabezpiecza kwarcu przed korozyjnym dzialaniem wsadu. Ponadto znane waf- 10 15 20 30 stwy i sposoby ich wytwarzania nie moga byc zastosowane do zabezpieczania wewnetrznych po¬ wierzchni naczyn jednostronnie zamknietych, typu ampul.Celem wynalazku bylo opracowanie sposobu wy¬ twarzania warstwy zabezpieczajacej, który nadaje sie do wytwarzania takiej warstwy wewnetrznej powierzchni ampul i daje warstwe o korzystnych wlasnosciach.Okazalo sie, ze jezeli do wytwarzania warstwy zastosuje sie zywice syntetyczna i podda sie ja odpowiedniej obróbce fizycznej, uzyskuje sie war¬ stwe jednorodna, spoista, o grubosci regulowanej w szerokim zakresie, od kilku dziesieciotysiecznyeh czesci ^m do kilku ^m.Sposób wedlug wynalazku polega na tym, ze na wewnetrzna powierzchnie ampuly ceramicznej lub kwarcowej nanosi sie równomiernie roztwór zy¬ wicy weglowodorowo-fenolowej, po czym pod ob¬ nizonym cisnieniem w atmosferze powietrza, pod¬ grzewa sie ampule w temperaturze wrzenia roz¬ puszczalnika w czasie od 15 minut do 30 minut, a nastepnie podnosi sie temperature z szybkoscia 150 do 250°C na godzine do temperatury koncowej do 1000°C i w tej temperaturze wygrzewa sie oko¬ lo 3 godziny, po czym pod obnizonym cisnieniem doprowadza sie do temperatury pokojowej. Uzy¬ skuje sie warstwe wegla szklistego o grubosci od 0,01 (im do 2 jLtm.Zywice stosuje sie w postaci roztworu o takim 114 5463 114 546 4 stezeniu, aby mozliwe bylo równomierne pokrycie powierzchni ampuly. Jako zywice korzystnie sto¬ suje sie dializowana zywice fenolowo-antracenowa.Sposób wedlug wynalazku pozwala na wytworze¬ nie warstwy Ochronnej wewnatrz naczyn dowol¬ nego ksztaltu. Wytworzona warstwa moze byc latwo usunieta przez wygrzanie naczynia w atmo¬ sferze tlenu lub powietrza.Przyklad. 30 g dializowanej zywicy fenolo- wo-antracenowej rozpuszczono pod chlodnia zwrot¬ na w 75 cm3 cykloheksanonu cz.d.a. w tempera¬ turze wrzenia w ciagu 30 minut. Po ochlodzeniu roztwór przesaczono. Do wnetrza ampul kwarco¬ wych, umytych w zwykly sposób przez dzialanie srodków trawiacych, wprowadzono niewielka ilosc wytworzonego roztworu i równomiernie rozprowa¬ dzono. Ampuly umieszczono w oslonie prózniowej i suszono przez wygrzanie do okolo 200° w ciagu 15 minut pod cisnieniem 1,33 Pa. Nastepnie pod¬ niesiono temperature do 850°C w ciagu 3 godzin. 10 15 20 Po wylaczeniu ogrzewania pozostawiono ampuly do nastepnego dnia.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzania warstwy zabezpieczajacej wewnetrzna powierzchnie ampul ceramicznych i kwarcowych, znamienny tym, ze na wewnetrzna powierzchnie ampuly nanosi sie równomiernie roz¬ twór zywicy weglowodórowo-fenolowej, po czym pod obnizonym cisnieniem, w atmosferze powie¬ trza, podgrzewa sie ampule w temperaturze wrze¬ nia rozpuszczalnika w czasie od 15 minut do 30 minut, a nastepnie podnosi sie temperature z szyb¬ koscia 150 do 250°C na godzine do temperatury koncowej do 1000GC i w tej temperaturze wygrze¬ wa sie okolo 3 godziny, po czym pod obnizonym cisnieniem doprowadza sie do temperatury poko¬ jowej. 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze jako zywice weglowodorowo-fenolowa stosuje sie dializowana zywice fenolowo-antracenowa.PZGraif. Koszalin D-202 105 egz. A-4 Cena 45 il PL
Claims (2)
- Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzania warstwy zabezpieczajacej wewnetrzna powierzchnie ampul ceramicznych i kwarcowych, znamienny tym, ze na wewnetrzna powierzchnie ampuly nanosi sie równomiernie roz¬ twór zywicy weglowodórowo-fenolowej, po czym pod obnizonym cisnieniem, w atmosferze powie¬ trza, podgrzewa sie ampule w temperaturze wrze¬ nia rozpuszczalnika w czasie od 15 minut do 30 minut, a nastepnie podnosi sie temperature z szyb¬ koscia 150 do 250°C na godzine do temperatury koncowej do 1000GC i w tej temperaturze wygrze¬ wa sie okolo 3 godziny, po czym pod obnizonym cisnieniem doprowadza sie do temperatury poko¬ jowej.
- 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze jako zywice weglowodorowo-fenolowa stosuje sie dializowana zywice fenolowo-antracenowa. PZGraif. Koszalin D-202 105 egz. A-4 Cena 45 il PL
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL19314776A PL114546B1 (en) | 1976-10-20 | 1976-10-20 | Method of producing protective layers on internal surfaces of ceramic and quartz ampoules |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL19314776A PL114546B1 (en) | 1976-10-20 | 1976-10-20 | Method of producing protective layers on internal surfaces of ceramic and quartz ampoules |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL193147A1 PL193147A1 (pl) | 1978-04-24 |
| PL114546B1 true PL114546B1 (en) | 1981-02-28 |
Family
ID=19979011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL19314776A PL114546B1 (en) | 1976-10-20 | 1976-10-20 | Method of producing protective layers on internal surfaces of ceramic and quartz ampoules |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL114546B1 (pl) |
-
1976
- 1976-10-20 PL PL19314776A patent/PL114546B1/pl not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL193147A1 (pl) | 1978-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| McCarroll et al. | Preparation of lithium molybdenum oxide bronzes by a temperature gradient flux growth technique | |
| Fuchs | Occurrence of wollastonite, rhönite, and andradite in the Allende meteorite | |
| Hasegawa et al. | Phase relations and crystallization of glass in the system PbO-GeO2 | |
| CN109081594B (zh) | 钇铝硅酸盐玻璃陶瓷的制备方法 | |
| JPS61256993A (ja) | シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛子るつぼ及びヒ−タ− | |
| PT85705B (pt) | Processo para a producao de corpos ceramicos auto-suportados com propriedades variadas | |
| Shirk | Ba2Fe6O11: A new metastable compound | |
| Baskin et al. | Phase studies in the binary system MgO–Ta2O5 | |
| CZ150997A3 (en) | Process for producing crystalline refractory material and a refractory brick produced in such a manner | |
| GB943184A (en) | Methods of manufacturing single-crystal bodies | |
| Debska et al. | RF-heated Bridgman growth of (ZnSe) 1− x (MnSe) x in self-sealing graphite crucibles | |
| Pałosz et al. | Polytypism of crystals of tin disulphide; structures of 21 polytypes of SnS2 | |
| Mentzen et al. | Comparative study of the polymorphic species of strontium and calcium formates. II. X-Ray diffraction | |
| JPS55104999A (en) | Production of silicon carbide crystal layer | |
| Maruno | Microheterogeneity of Glassy Films of As2S x (x< 3) and Dendritic Texture on the Glasses | |
| SU895945A1 (ru) | Стекло | |
| JPS63166789A (ja) | シリコン単結晶引上装置用黒鉛製ルツボとその製造方法 | |
| Ishii et al. | A novel change of light transmission in supercooled liquid state of ethylbenzene | |
| JPS59217700A (ja) | 化合物半導体製造用部材およびその製造法 | |
| US4728388A (en) | Process for producing a monocrystal of a compound by crystallizing a polycrystal of said compound by transferring a solvent zone | |
| JPS59152285A (ja) | 単結晶の製造法 | |
| James et al. | Positron lifetimes in lithium disilicate glass with different degrees of crystallization | |
| JPS61291484A (ja) | 黒鉛るつぼ | |
| JPS60255698A (ja) | 化合物半導体製造用部材及びその製造法 | |
| JPS5645830A (en) | Crucible for melting infrared-ray transmitting material |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Decisions on the lapse of the protection rights |
Effective date: 20021130 |