PL229725B1 - Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach SOT, VTLA, QFP i QFN - Google Patents
Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach SOT, VTLA, QFP i QFNInfo
- Publication number
- PL229725B1 PL229725B1 PL414208A PL41420815A PL229725B1 PL 229725 B1 PL229725 B1 PL 229725B1 PL 414208 A PL414208 A PL 414208A PL 41420815 A PL41420815 A PL 41420815A PL 229725 B1 PL229725 B1 PL 229725B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- electronic components
- vtla
- qfp
- chemical
- qfn
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 6
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000029087 digestion Effects 0.000 description 1
- 230000001079 digestive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- -1 nitric Chemical class 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid;sulfur trioxide Chemical compound O=S(=O)=O.OS(O)(=O)=O HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych typu SOT, VTLA, QFP i QFN polega na tym, że proces prowadzi się w dwóch etapach. W pierwszym etapie podzespół elektroniczny trawi się w mieszaninie kwasu siarkowego i wody utlenionej (30%) w proporcji 20 : 1 lub 10 : 1, w czasie od 30 sekund do 1 minuty w temperaturze od 120 do 150°C. W drugim etapie podzespół elektroniczny płucze się w roztworze acetonu, zawierającym dodatek tolytriazolu jako inhibitora korozji o stężeniu 5 mg/dm3 acetonu. Oba procesy prowadzi się naprzemiennie, aż do odsłonięcia badanych elementów wewnętrznych podzespołu.
Description
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach typu SOT, VTLA, QFP i QFN w celu oceny jakości wewnętrznej struktury półprzewodnikowej, elementów podzespołu i ich połączeń, a także w celu rozróżnienia oryginalnego podzespołu elektronicznego od podrobionego.
Istnieje szereg sposobów dekapsulacji podzespołów elektronicznych, a mianowicie: sposób mechanicznego usuwania części odbudowy połączona z dalszym trawieniem chemicznym lub trawieniem przy użyciu plazmy albo wiązki laserowej, sposób trawienia chemicznego oraz sposób trawienia z użyciem plazmy lub lasera.
W sposobie chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach typu SOT, VTLA, QFP i QFN do roztwarzania obudowy tworzywowej lub ceramicznej stosowane są kwasy nieorganiczne np. azotowy, siarkowy oraz ich mieszaniny, kwas solny, fosforowy lub kwas fluorowodorowy.
Skład roztworów stosowanych w tym sposobie zależy nie tylko od materiału, z którego wykonana jest obudowa, ale także od materiałów, z których wykonane są inne elementy podzespołu, m.in. połączenia drutowe, podstawa montażowa i wyprowadzenia.
Dekapsulacja podzespołów elektronicznych sposobem chemicznym przedstawiona w znanych opisach patentowych prowadzona jest w specjalnych urządzeniach, które zapewniają automatyzację procesu. Są to jednak kosztowne urządzenia, które ponadto wymagają niekiedy specjalnego i dostosowanego do danego typu obudowy, wstępnego przygotowywania podzespołu.
W opisach patentowych US2004/0018651 A1 i US 6709888B2 przedstawiono sposób dekapsulacji chemicznej, który polega na usuwania fragmentu obudowy podzespołu elektronicznego wykonanej z polimeru lub ceramiki w celu odsłonięcia układu scalonego przy zastosowaniu dymiącego kwasu azotowego i siarkowego zmieszanych w proporcji od 3:1 do 6:1. Trawienie obudowy prowadzone jest w sposób automatyczny w specjalnej komorze trawiącej w temperaturze 60°C lub niższej. Zastosowana w mieszaninie trawiącej proporcja kwasów oraz niska temperatura trawienia nie powodują uszkodzenia miedzi lub usuwają ją w nieznacznym stopniu.
W innych znanych opisach patentowych dotyczących dekapsulacji obudowy podzespołów elektronicznych proces trawienia chemicznego stosowany jest jako jeden z kolejnych etapów procesu dekapsulacji. Na przykład w opisie patentowym US 6358852 B1 jako podstawowy stosuje się sposób mechanicznego usuwania części obudowy wielochipowych układów scalonych, a następnie trawienie plazmowe. Sposób trawienia chemicznego stosuje się jako alternatywną metodę w celu oceny chipu umiejscowionego od spodniej strony podzespołu. Po wstępnym mechanicznym usunięciu fragmentu obudowy i chemicznym wytrawieniu górnego układu scalonego trawienie chemiczne prowadzi się w specjalnym urządzeniu ze strumieniowym dozowaniem dymiącego kwasu siarkowego o temperaturze 200°C.
Również w opisie patentowym US 6,429,028 B1 proces trawienia chemicznego stosowany jest jako kolejny etap dekapsulacji obudowy struktury półprzewodnikowej po wstępnym mechanicznym usunięciu jej części. Trawienie chemiczne w podgrzanym 70% roztworze kwasu azotowego jest tu stosowane do usuwania pozostałości miedzi ze spodniej strony podzespołu, natomiast trawienie za pomocą dymiącego kwasu azotowego, podgrzanego do temperatury 90°C, stosowane jest do usuwania górnej części obudowy podzespołu w wybranym miejscu. Roztwór kwasu nakrapiany jest na wybrane miejsce, z którego usuwana jest obudowa podzespołu i pozostawiany na nim na okres czasu od 2 do 3 min. Następnie odkrywane miejsce przemywane jest zimnym kwasem azotowym (20°C). Operacja powtarzana jest do momentu odsłonięcia struktury półprzewodnikowej w żądanym miejscu górnej części obudowy.
Natomiast w opisie patentowym US 7,666,321 B2 proces trawienia chemicznego z użyciem dymiącego kwasu azotowego jest stosowany jako ostatni etap dekapsulacji podzespołów z połączeniami sferycznymi. T rawienie jest prowadzone w temperąturze 60-100°C w czasie od 30 sekund do 5 minut.
Celem wynalazku jest opracowanie sposobu chemicznej dekapsulacji obudowy podzespołów elektronicznych typu SOT, VTLA, QFP i QFN, która jest wykonywana manualnie i nie wymaga wstępnego przygotowania podzespołu. Ponadto sposób ten nie powoduje korozji ocenianych wewnętrznych metalowych elementów podzespołu.
Sposób chemicznej dekapsulacji obudowy podzespołów elektronicznych typu SOT, VTLA, QFP i QFN według wynalazku składa się z dwóch procesów. W pierwszym procesie trawienia obudowy, badany podzespół umieszcza się w zlewce na płycie grzejnej nagrzanej do temperatury 150°C i zalewa
PL 229 725 B1 się taką ilością roztworu trawiącego, aby podzespół był całkowicie zanurzony w roztworze. Roztwór trawiący obudowę podzespołu stanowi mieszanina stężonego kwasu siarkowego i wody utlenionej (30%) w proporcji 20:1 lub 10:1. Proces trawienia prowadzi się w czasie od 30 sekund do 1 minuty w temperaturze od 120 do 150°C. W drugim procesie podzespół oczyszcza się z produktów trawienia. W tym celu przenosi się go do zlewki z acetonem z dodatkiem inhibitora korozji i umieszcza w płuczce ultradźwiękowej na 15 do 30 sekund. Jako inhibitor korozji stosuje się tolytriazol w ilości od 2 do 10 mg/dm3 acetonu. Oba procesy prowadzi się naprzemiennie, aż do odsłonięcia badanych elementów wewnętrznych podzespołu.
Zaletą rozwiązania jest to, że dekapsulacja podzespołów elektronicznych wykonywana jest bez konieczności wstępnego przygotowywania podzespołu oraz bez zastosowania kosztownych urządzeń.
P r z y k ł a d:
Podzespół elektroniczny w obudowie SO umieszcza się w zlewce na płycie grzejnej nagrzanej do temperatury 150°C i zalewa 50 ml roztworu trawiącego o składzie: kwas siarkowy i woda utleniona 30% w proporcji 20 : 1. Proces trawienia odbudowy prowadzi się przez 1 minutę, a następnie podzespół przenosi się za pomocą pincety do zlewki z acetonem z dodatkiem tolytriazolu o stężeniu 5 mg/dm3 acetonu. Proces czyszczenia prowadzi się w płuczce ultradźwiękowej przez 15 sekund. Oba procesy są prowadzi się naprzemiennie aż do odsłonięcia badanych elementów wewnętrznych podzespołu.
Claims (1)
1. Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych typu SOT, VTLA, QFP i QFN polegający na chemicznym trawieniu obudowy podzespołu, znamienny tym, że proces prowadzi się w dwóch etapach, w pierwszym etapie podzespół elektroniczny trawi się w mieszaninie kwasu siarkowego i wody utlenionej (30%) w proporcji 20:1 lub 10:1, w czasie od 30 sekund do 1 minuty w temperaturze od 120 do 150°C, po czym w drugim etapie podzespół elektroniczny płucze się w roztworze acetonu zawierającym dodatek tolytriazolu jako inhibitora korozji o stężeniu 5 mg/dm3 acetonu, przy czym oba procesy prowadzi się naprzemiennie, aż do odsłonięcia badanych elementów wewnętrznych podzespołu.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL414208A PL229725B1 (pl) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach SOT, VTLA, QFP i QFN |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL414208A PL229725B1 (pl) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach SOT, VTLA, QFP i QFN |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL414208A1 PL414208A1 (pl) | 2017-04-10 |
| PL229725B1 true PL229725B1 (pl) | 2018-08-31 |
Family
ID=58463588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL414208A PL229725B1 (pl) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach SOT, VTLA, QFP i QFN |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL229725B1 (pl) |
-
2015
- 2015-09-29 PL PL414208A patent/PL229725B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL414208A1 (pl) | 2017-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105874562B (zh) | 用于选择性移除硬遮罩的移除组合物及其方法 | |
| JP4942275B2 (ja) | 化学的機械的平坦化(cmp)後の清浄化組成物 | |
| DE69816219T2 (de) | Reinigungsnachbehandlung | |
| JP6412377B2 (ja) | 樹脂マスク層用洗浄剤組成物及び回路基板の製造方法 | |
| KR100533194B1 (ko) | 세정액 | |
| JP2004518819A (ja) | 化学機械平坦化(cmp)後の洗浄組成物 | |
| TW200407419A (en) | Microelectronic cleaning compositions containing oxidizers and organic solvents | |
| KR20100061490A (ko) | 레조르시놀을 함유하는 스트리퍼 용액을 사용하는 향상된 금속 보존 | |
| TWI734149B (zh) | 後蝕刻殘留物的清潔組合物及其使用方法 | |
| TW202500733A (zh) | 樹脂遮罩剝離用洗淨劑組合物 | |
| CN101412949A (zh) | 一种等离子刻蚀残留物清洗液 | |
| WO2022050382A1 (ja) | フラックス用洗浄剤組成物 | |
| CN110095952A (zh) | 一种用于选择性移除氮化钛硬掩模和/或蚀刻残留物的组合物 | |
| JP2012516046A (ja) | 化学機械的研磨後洗浄用組成物 | |
| JP2012505293A5 (pl) | ||
| CN116254159A (zh) | 一种清洗液及其应用 | |
| JP5515588B2 (ja) | ウエハ用洗浄水及びウエハの洗浄方法 | |
| WO2004109788A1 (ja) | 剥離剤組成物およびこれを用いた剥離洗浄方法 | |
| PL229725B1 (pl) | Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych w obudowach SOT, VTLA, QFP i QFN | |
| CN109313399A (zh) | 用于从基板去除物质的水溶液和方法 | |
| TW200540984A (en) | Composition for cleaning semiconductor device | |
| PL237096B1 (pl) | Sposób chemicznej dekapsulacji podzespołów elektronicznych | |
| JP3365980B2 (ja) | 洗浄剤組成物 | |
| CN112500938A (zh) | 半水基型半导体元器件清洗剂 | |
| CN102051283A (zh) | 一种含羟胺的清洗液及其应用 |