PL418450A1 - Sposób pomiaru mikro-odchyleń kątowych względem wiązki laserowej zwłaszcza błędów rotacyjnych maszyn i interferometr do pomiaru mikro-odchyleń kątowych względem wiązki laserowej, zwłaszcza błędów rotacyjnych maszyn - Google Patents

Abstract

Zgodnie ze sposobem pomiaru laserową wiązkę światła rozdziela się na dwie wiązki, które doprowadza się do odbić od powierzchni odbijających w ilości różniącej się o liczbę nieparzystą w układzie dwuwiązkowego interferometru z układem powierzchni odbijających, utworzonych przez pryzmat narożny (13) i pryzmat prostokątny (6), w którym laserową wiązkę światła rozdziela się na dwie wiązki (4, 5). Po odbiciu od układu powierzchni odbijających obie wiązki (4, 5) łączy się ponownie we wspólnym kierunku propagacji tak, że interferują ze sobą, tworząc obraz prążków interferencyjnych padający na fotodetektor (12) czuły na zmianę okresu prążków. Odchylenie kątowe wyznacza się na podstawie zarejestrowanej przez fotodetektor zmiany okresu prążków utworzonych przez interferujące ze sobą wiązki i za pomocą pryzmatu prostokątnego (6) odbijającego pierwszą wiązkę (4) odchyla się ją kątowo wokół osi (Y) prostopadłej do płaszczyzny zawierającej dwusieczną kąta pomiędzy płaszczyznami odbijającymi (7, 8) pryzmatu (6) oraz oś przecięcia się płaszczyzn odbijających pryzmatu (7, 8). Interferometr jest wyposażony w dwuwiązkowy układ optyczny z układem powierzchni odbijających (3, 13, 7, 8), usytuowanych między laserem (1) a polaryzatorem (11), za którym znajduje się fotodetektor (12), których liczba jest różna o liczbę nieparzystą od ilości powierzchni odbijających znajdujących się na drodze drugiej wiązki (5). Ma też pryzmat prostokątny (6) odbijający wiązkę, który jest oddzielony ot pozostałych elementów układu optycznego, obracający się wokół osi (Y) prostopadłej do płaszczyzny zawierającej dwusieczną kąta pomiędzy płaszczyznami odbijającymi (7, 8) pryzmatu (6) oraz oś przecięcia się płaszczyzn odbijających pryzmatu (7, 8). Między pryzmatem prostokątnym (6) a elementem światłodzielącym (3) znajduje się klin optyczny, odchylający wiązkę wokół osi Y.