PL426786A1 - Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami - Google Patents

Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami

Info

Publication number
PL426786A1
PL426786A1 PL426786A PL42678618A PL426786A1 PL 426786 A1 PL426786 A1 PL 426786A1 PL 426786 A PL426786 A PL 426786A PL 42678618 A PL42678618 A PL 42678618A PL 426786 A1 PL426786 A1 PL 426786A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
plasma
lamp
purifying
impurities
reduced pressure
Prior art date
Application number
PL426786A
Other languages
English (en)
Other versions
PL237590B1 (pl
Inventor
Edward Reszke
Ihar Yelkin
Grzegorz Binkiewicz
Original Assignee
Edward Reszke
Ihar Yelkin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Edward Reszke, Ihar Yelkin filed Critical Edward Reszke
Priority to PL426786A priority Critical patent/PL237590B1/pl
Priority to US17/270,612 priority patent/US11322344B2/en
Priority to PL19783751.1T priority patent/PL3841604T3/pl
Priority to EP19783751.1A priority patent/EP3841604B1/en
Priority to PCT/PL2019/000070 priority patent/WO2020040654A1/en
Publication of PL426786A1 publication Critical patent/PL426786A1/pl
Publication of PL237590B1 publication Critical patent/PL237590B1/pl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
    • H01J37/32816—Pressure
    • H01J37/32834—Exhausting
    • H01J37/32844—Treating effluent gases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J61/26—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering; Means for preventing blackening of the envelope
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J61/28—Means for producing, introducing, or replenishing gas or vapour during operation of the lamp
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/50—Repairing or regenerating used or defective discharge tubes or lamps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/02—Details
    • H01J2237/022—Avoiding or removing foreign or contaminating particles, debris or deposits on sample or tube
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W30/00—Technologies for solid waste management
    • Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
    • Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami, w szczególności przeznaczone do plazmowej obróbki materiałów. Sposób polega na tym, że zanieczyszczony gaz odpompowywany z co najmniej jednej próżniowej komory z obniżonym ciśnieniem w postaci lampy plazmowej (LA1) oczyszcza się w co najmniej jednej oczyszczającej lampie plazmowej (LA01), w których pomiędzy anodami oczyszczającej lampy plazmowej (A01) i katodami oczyszczającej lampy plazmowej (K01) inicjuje się wyładowanie jarzeniowe, korzystnie krakuje się i częściowo polimeryzuje cząstki lubrykantów, zaś przetworzone ciężkie cząstki lubrykantów gromadzi się zbiorniku buforowym (ZB), poczym odprowadza na zewnątrz układu pompowego. Urządzenie zawiera co najmniej jedną komorę z obniżonym ciśnieniem w postaci lampy plazmowej (LA1), połączona jest z co najmniej jedną oczyszczającą lampą plazmową (LA01) ze zbiornikiem buforowym (ZB) podłączonym do pompy próżniowej (PP). Przewód próżniowy łączący lampy plazmowe (LA1) z oczyszczającą lampą plazmową (LA01) zaopatrzony jest w zawór dozujący (V) gazowe medium domieszki (MD) do lamp plazmowych (LA), z których promieniowanie (R1)jest kierowane na obrabiany materiał (OM).
PL426786A 2018-08-24 2018-08-24 Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami PL237590B1 (pl)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426786A PL237590B1 (pl) 2018-08-24 2018-08-24 Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami
US17/270,612 US11322344B2 (en) 2018-08-24 2019-08-21 Method and device for the reduction of contaminants in a plasma reactor, especially contamination by lubricants
PL19783751.1T PL3841604T3 (pl) 2018-08-24 2019-08-21 Reaktor plazmowy zmniejszania zanieczyszczeń lubrykantami, oraz odpowiadająca metoda do zmniejszania zanieczyszczeń
EP19783751.1A EP3841604B1 (en) 2018-08-24 2019-08-21 Plasma reactor with a device for reducing contamination by lubricants, and corresponding method for reducing contamination
PCT/PL2019/000070 WO2020040654A1 (en) 2018-08-24 2019-08-21 Method and device for the reduction of contaminants in a plasma reactor, especially contamination by lubricants

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426786A PL237590B1 (pl) 2018-08-24 2018-08-24 Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL426786A1 true PL426786A1 (pl) 2020-03-09
PL237590B1 PL237590B1 (pl) 2021-05-04

Family

ID=68165691

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL426786A PL237590B1 (pl) 2018-08-24 2018-08-24 Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami
PL19783751.1T PL3841604T3 (pl) 2018-08-24 2019-08-21 Reaktor plazmowy zmniejszania zanieczyszczeń lubrykantami, oraz odpowiadająca metoda do zmniejszania zanieczyszczeń

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL19783751.1T PL3841604T3 (pl) 2018-08-24 2019-08-21 Reaktor plazmowy zmniejszania zanieczyszczeń lubrykantami, oraz odpowiadająca metoda do zmniejszania zanieczyszczeń

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11322344B2 (pl)
EP (1) EP3841604B1 (pl)
PL (2) PL237590B1 (pl)
WO (1) WO2020040654A1 (pl)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE68906508T2 (de) 1988-10-05 1993-09-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Abgasbehandlungsapparat.
US5367139A (en) 1989-10-23 1994-11-22 International Business Machines Corporation Methods and apparatus for contamination control in plasma processing
US5176558A (en) * 1991-05-01 1993-01-05 Gte Products Corporation Methods for removing contaminants from arc discharge lamps
US20030051990A1 (en) * 2001-08-15 2003-03-20 Crt Holdings, Inc. System, method, and apparatus for an intense ultraviolet radiation source
US9171747B2 (en) * 2013-04-10 2015-10-27 Nordson Corporation Method and apparatus for irradiating a semi-conductor wafer with ultraviolet light
KR101565116B1 (ko) * 2014-04-16 2015-11-02 (주)클린팩터스 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리설비

Also Published As

Publication number Publication date
PL3841604T3 (pl) 2023-11-13
EP3841604C0 (en) 2023-07-19
EP3841604A1 (en) 2021-06-30
PL237590B1 (pl) 2021-05-04
US20210183640A1 (en) 2021-06-17
WO2020040654A1 (en) 2020-02-27
EP3841604B1 (en) 2023-07-19
US11322344B2 (en) 2022-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PL426786A1 (pl) Sposób i urządzenie do zmniejszania zanieczyszczeń w reaktorze plazmowym, zwłaszcza zanieczyszczeń lubrykantami
RU2014124521A (ru) Паровой стерилизатор
MX2023012093A (es) Un metodo para preparar un sistema para una operacion de mantenimiento.
CN107801287A (zh) 一种杀菌降农残低温等离子体发生器
CN214910840U (zh) 一种器械消毒装置
JP6747876B2 (ja) 液体処理装置および液体処理方法
CN103599669A (zh) 基于真空系统的除尘设备及方法
EA202192572A1 (ru) Система и способ для сбора и предварительной обработки технологических газов, генерируемых электролизной ячейкой
CN110360627A (zh) 一种节能环保型油烟机的排出油烟净化处理装置
CN105833675A (zh) 一种集成管式气体净化系统
TW201900266A (zh) 廢氣的減壓除害方法及其裝置
CN1583533A (zh) 一种管道输送赤泥的方法
PH12022551039A1 (en) An apparatus for incinerating waste material
CN205925426U (zh) 一种有害气体排气控制装置
CN106949377A (zh) 一种稀有气体真空吸气回收的方法和装置
MX2022007495A (es) Planta de alto horno y procedimiento de parada.
RU2597092C1 (ru) Способ подготовки сероводородсодержащей нефти
CN221942382U (zh) 一种天然气钻井工程的泥浆清洁器
MY203095A (en) Recovery system of condensates with high palm oil content, recovery method of said condensates, and system assembly method
CN219912681U (zh) 一种真空负压动力系统
CN103894036A (zh) 基于psa技术的高纯、高压制气设备
CN205730531U (zh) 一种管式脱水机及采用这种管式脱水机的物料分离系统
CN211537059U (zh) 一种改进的油烟净化机
CN109959037A (zh) 一种方便清洁的餐馆用环保油烟排气装置
RU98163U1 (ru) Устройство для электродуговой обработки длинномерных изделий