RU2009145292A - Микроэлектромеханическое устройство, в котором оптическая функция отделена от механической и электрической - Google Patents

Микроэлектромеханическое устройство, в котором оптическая функция отделена от механической и электрической Download PDF

Info

Publication number
RU2009145292A
RU2009145292A RU2009145292/28A RU2009145292A RU2009145292A RU 2009145292 A RU2009145292 A RU 2009145292A RU 2009145292/28 A RU2009145292/28 A RU 2009145292/28A RU 2009145292 A RU2009145292 A RU 2009145292A RU 2009145292 A RU2009145292 A RU 2009145292A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
deformable layer
reflective
substrate
activating electrode
movable element
Prior art date
Application number
RU2009145292/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2475789C2 (ru
Inventor
Дэнис ЭНДИШ (US)
Дэнис ЭНДИШ
Марк МИГНАРД (US)
Марк МИГНАРД
Original Assignee
Квалкомм Мемс Текнолоджис, Инк. (Us)
Квалкомм Мемс Текнолоджис, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Квалкомм Мемс Текнолоджис, Инк. (Us), Квалкомм Мемс Текнолоджис, Инк. filed Critical Квалкомм Мемс Текнолоджис, Инк. (Us)
Publication of RU2009145292A publication Critical patent/RU2009145292A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2475789C2 publication Critical patent/RU2475789C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0083—Optical properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/04—Optical MEMS
    • B81B2201/047—Optical MEMS not provided for in B81B2201/042 - B81B2201/045
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/904—Micromirror

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

1. Микроэлектромеханическое устройство, содержащее: !подложку; ! подвижный элемент, расположенный поверх подложки, содержащий электрически проводящий деформируемый слой и отражающий элемент, который механически присоединен к деформируемому слою и который имеет отражающую поверхность, расположенную на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в целом параллельного отражающей поверхности; и ! активирующий электрод, расположенный по меньшей мере под частью деформируемого слоя сбоку от отражающей поверхности, при этом подвижный элемент выполнен с возможностью перемещения в направлении к подложке или от нее в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем. ! 2. Устройство по 1, в котором неподвижная часть устройства выполнена с возможностью работы в качестве ограничителя перемещения подвижного элемента. ! 3. Устройство по п.2, в котором подвижный элемент выполнен с возможностью перемещения из первого положения, в котором часть подвижного элемента не находится в контакте с неподвижной частью, во второе положение, в котором указанная часть находится в контакте с неподвижной частью в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем. !4. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент механически присоединен к верхней поверхности деформируемого слоя. ! 5. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент механически присоединен к нижней поверхности деформируемого слоя. ! 6. Устройство по п.1, в котором подвижный элемент дополнительно содержит по меньшей мере один соединительный элемент, соединяющий отражающий элемен

Claims (32)

1. Микроэлектромеханическое устройство, содержащее:
подложку;
подвижный элемент, расположенный поверх подложки, содержащий электрически проводящий деформируемый слой и отражающий элемент, который механически присоединен к деформируемому слою и который имеет отражающую поверхность, расположенную на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в целом параллельного отражающей поверхности; и
активирующий электрод, расположенный по меньшей мере под частью деформируемого слоя сбоку от отражающей поверхности, при этом подвижный элемент выполнен с возможностью перемещения в направлении к подложке или от нее в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем.
2. Устройство по 1, в котором неподвижная часть устройства выполнена с возможностью работы в качестве ограничителя перемещения подвижного элемента.
3. Устройство по п.2, в котором подвижный элемент выполнен с возможностью перемещения из первого положения, в котором часть подвижного элемента не находится в контакте с неподвижной частью, во второе положение, в котором указанная часть находится в контакте с неподвижной частью в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем.
4. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент механически присоединен к верхней поверхности деформируемого слоя.
5. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент механически присоединен к нижней поверхности деформируемого слоя.
6. Устройство по п.1, в котором подвижный элемент дополнительно содержит по меньшей мере один соединительный элемент, соединяющий отражающий элемент с деформируемым слоем.
7. Устройство по п.6, в котором первый соединительный элемент механически присоединен к первому краю отражающего элемента, а второй соединительный элемент механически присоединен ко второму краю отражающего элемента, причем первый край расположен, по существу, напротив второго края.
8. Устройство по п.6, в котором отражающий элемент имеет края, причем механическое соединение каждого края отражающего элемента с деформируемым слоем обеспечено указанным по меньшей мере одним соединительным элементом.
9. Устройство по п.6, в котором указанный по меньшей мере один соединительный элемент содержит по меньшей мере один выступ, расположенный на отражающем элементе.
10. Устройство по п.1, в котором отражающая поверхность не находится в контакте с верхней поверхностью подложки, когда между активирующим электродом и деформируемым слоем создана активирующая разность напряжений.
11. Устройство по п.1, в котором расстояние между отражающей поверхностью и верхней поверхностью подложки больше расстояния между деформируемым слоем и верхней поверхностью подложки.
12. Устройство по п.1, в котором расстояние между деформируемым слоем и верхней поверхностью подложки больше расстояния между отражающей поверхностью и верхней поверхностью подложки.
13. Устройство по п.1, в котором неподвижная часть устройства содержит верхнюю поверхность подложки.
14. Устройство по п.1, в котором неподвижная часть устройства содержит верхнюю поверхность активирующего электрода.
15. Устройство по п.1, в котором неподвижная часть устройства содержит верхнюю поверхность изолирующего слоя, расположенного между активирующим электродом и деформируемым слоем.
16. Устройство по п.1, в котором создание разности напряжений между активирующим электродом и деформируемым слоем вызывает смещение деформируемого слоя и смещение отражающей поверхности, причем деформируемый слой характеризуется смещением, параллельным смещению отражающей поверхности, на иную плоскость, нежели отражающая поверхность.
17. Устройство по п.1, дополнительно содержащее еще один активирующий электрод, расположенный над подвижным элементом, который выполнен с возможностью проявления в ответ на разность напряжений, созданную между указанным еще одним активирующим электродом и подвижным элементом, реакции в виде перемещения в направлении от подложки.
18. Устройство по п.17, дополнительно содержащее изолирующий слой между указанным еще одним активирующим электродом и подвижным элементом.
19. Устройство по п.18, в котором изолирующий слой сформирован на верхней поверхности подвижного элемента.
20. Устройство по п.18, в котором изолирующий слой сформирован на нижней поверхности другого активирующего электрода.
21. Устройство по п.1, дополнительно содержащее:
дисплей;
процессор, выполненный с возможностью взаимодействия с упомянутым дисплеем и обработки видеоданных; и
запоминающее устройство, выполненное с возможностью взаимодействия с указанным процессором.
22. Устройство по п.21, дополнительно содержащее схему формирователя, выполненную с возможностью передачи на дисплей по меньшей мере одного сигнала.
23. Устройство по п.22, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью передачи по меньшей мере части видеоданных в схему формирователя.
24. Устройство по п.21, дополнительно содержащее модуль видеоисточника, выполненный с возможностью передачи указанных видеоданных в процессор.
25. Устройство по п.24, в котором модуль видеоисточника содержит по меньшей мере один из следующих компонентов: приемник, приемопередатчик и передатчик.
26. Устройство по п.21, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и их передачи в процессор.
27. Устройство по п.1, в котором подложка является по меньшей мере частично прозрачной.
28. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент выполнен с возможностью отражения первого цвета, когда находится в первом положении, и отражения второго цвета, когда находится во втором положении.
29. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент является полностью отражающим.
30. Способ изготовления микроэлектромеханического устройства, согласно которому:
формируют сверху подложки активирующий электрод;
формируют сверху активирующего электрода временный слой;
формируют сверху временного слоя электропроводный деформируемый слой, по меньшей мере под частью которого расположен активирующий электрод;
формируют поверх временного слоя отражающий элемент, механически соединенный с деформируемым слоем и имеющий отражающую поверхность, расположенную сбоку от активирующего электрода на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в общем параллельного отражающей поверхности; и
удаляют временный слой, причем после удаления временного слоя оказывается сформирован подвижный элемент, содержащий деформируемый слой и отражающий элемент и выполненный с возможностью перемещения в направлении к подложке или от нее в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем.
31. Устройство, изготовленное согласно способу по п.30.
32. Способ модуляции света, согласно которому:
берут дисплейный элемент, содержащий подложку, подвижный элемент, расположенный сверху подложки, и активирующий электрод, причем подвижный элемент содержит электропроводный деформируемый слой и отражающий элемент, который механически соединен с деформируемым слоем и который имеет отражающую поверхность, расположенную на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в общем параллельного отражающей поверхности, при этом активирующий электрод расположен по меньшей мере под частью деформируемого слоя сбоку от отражающей поверхности; и
создают между активирующим электродом и деформируемым слоем разность напряжений, которое в свою очередь создает на деформируемом слое притягивающую силу, перемещающую подвижный элемент в направлении к подложке или от нее.
RU2009145292/28A 2007-07-02 2008-06-24 Микроэлектромеханическое устройство, в котором оптическая функция отделена от механической и электрической RU2475789C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/772,751 US7630121B2 (en) 2007-07-02 2007-07-02 Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US11/772,751 2007-07-02
EP08153252A EP2012168A3 (en) 2007-07-02 2008-03-25 Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
EP08153252.5 2008-03-25
PCT/US2008/068061 WO2009006118A2 (en) 2007-07-02 2008-06-24 Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009145292A true RU2009145292A (ru) 2011-08-10
RU2475789C2 RU2475789C2 (ru) 2013-02-20

Family

ID=39800548

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009145292/28A RU2475789C2 (ru) 2007-07-02 2008-06-24 Микроэлектромеханическое устройство, в котором оптическая функция отделена от механической и электрической

Country Status (10)

Country Link
US (3) US7630121B2 (ru)
EP (3) EP2012168A3 (ru)
JP (3) JP5065487B2 (ru)
KR (1) KR20100038406A (ru)
CN (3) CN101688975B (ru)
BR (1) BRPI0813296A2 (ru)
CA (1) CA2691674A1 (ru)
RU (1) RU2475789C2 (ru)
TW (2) TWI402536B (ru)
WO (1) WO2009006118A2 (ru)

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7612932B2 (en) * 2004-09-27 2009-11-03 Idc, Llc Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7742220B2 (en) 2007-03-28 2010-06-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing conducting layers separated by stops
US7630121B2 (en) 2007-07-02 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7813029B2 (en) 2007-07-31 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices and methods for enhancing color shift of interferometric modulators
US7773286B2 (en) * 2007-09-14 2010-08-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Periodic dimple array
US7847999B2 (en) * 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
KR20100084518A (ko) * 2007-09-17 2010-07-26 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 반투명／반투과반사형 광 간섭계 변조기 장치
KR20100090257A (ko) 2007-10-19 2010-08-13 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 광기전력 소자가 통합된 디스플레이
US8058549B2 (en) 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
CN101836137A (zh) * 2007-10-23 2010-09-15 高通Mems科技公司 基于微机电系统的可调整透射装置
US8941631B2 (en) 2007-11-16 2015-01-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Simultaneous light collection and illumination on an active display
US7715079B2 (en) * 2007-12-07 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS devices requiring no mechanical support
US8164821B2 (en) * 2008-02-22 2012-04-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with thermal expansion balancing layer or stiffening layer
US7944604B2 (en) * 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7612933B2 (en) * 2008-03-27 2009-11-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with spacing layer
US7898723B2 (en) * 2008-04-02 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure
US7969638B2 (en) * 2008-04-10 2011-06-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having thin black mask and method of fabricating the same
US8023167B2 (en) * 2008-06-25 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7746539B2 (en) * 2008-06-25 2010-06-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packing a display device and the device obtained thereof
US7768690B2 (en) 2008-06-25 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7859740B2 (en) * 2008-07-11 2010-12-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control
US7855826B2 (en) * 2008-08-12 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus to reduce or eliminate stiction and image retention in interferometric modulator devices
US8358266B2 (en) 2008-09-02 2013-01-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light turning device with prismatic light turning features
US8270056B2 (en) * 2009-03-23 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with openings between sub-pixels and method of making same
WO2010138761A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination devices and methods of fabrication thereof
US9753597B2 (en) 2009-07-24 2017-09-05 Cypress Semiconductor Corporation Mutual capacitance sensing array
US8270062B2 (en) 2009-09-17 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with at least one movable stop element
US8488228B2 (en) 2009-09-28 2013-07-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric display with interferometric reflector
US20110169724A1 (en) * 2010-01-08 2011-07-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric pixel with patterned mechanical layer
KR20130100232A (ko) 2010-04-09 2013-09-10 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 전기 기계 디바이스의 기계층 및 그 형성 방법
KR101821727B1 (ko) 2010-04-16 2018-01-24 플렉스 라이팅 투 엘엘씨 필름 기반 라이트가이드를 포함하는 프론트 조명 디바이스
JP2013525955A (ja) 2010-04-16 2013-06-20 フレックス ライティング ２，エルエルシー フィルムベースのライトガイドを備える照明デバイス
CN103109315A (zh) 2010-08-17 2013-05-15 高通Mems科技公司 对干涉式显示装置中的电荷中性电极的激活和校准
US9057872B2 (en) 2010-08-31 2015-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dielectric enhanced mirror for IMOD display
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
KR101941169B1 (ko) * 2011-09-16 2019-01-23 삼성전자주식회사 광 스위칭 소자, 이를 포함한 영상 표시 장치 및 그 제조 방법
US8736939B2 (en) 2011-11-04 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Matching layer thin-films for an electromechanical systems reflective display device
CN103153011B (zh) * 2011-12-07 2017-02-15 富泰华工业（深圳）有限公司 滑动机构及带有该滑动机构的装置
KR101941165B1 (ko) * 2012-06-07 2019-04-12 삼성전자주식회사 광 스위칭 소자, 이를 포함한 영상 표시 장치 및 그 제조 방법
US20140009379A1 (en) * 2012-07-06 2014-01-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Cavity liners for electromechanical systems devices
US8684500B2 (en) * 2012-08-06 2014-04-01 Xerox Corporation Diaphragm for an electrostatic actuator in an ink jet printer
JP5987573B2 (ja) * 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
JP2017535642A (ja) * 2014-11-05 2017-11-30 イエン，ウイリアム・ウインチン 微孔性シート製品、ならびに、その製造方法及び使用方法
US10935420B2 (en) 2015-08-13 2021-03-02 Texas Instruments Incorporated Optical interface for data transmission
TWI581004B (zh) 2015-11-18 2017-05-01 財團法人工業技術研究院 可調式光學裝置
RU2670000C1 (ru) * 2018-05-16 2018-10-17 Владимир Олегович Ксендзов Способ обучения верхней передаче в волейболе
TWI822833B (zh) 2019-08-15 2023-11-21 優顯科技股份有限公司 電子探測板、光電探測模組、與電子探測方法
CN114690398A (zh) * 2020-12-30 2022-07-01 无锡华润上华科技有限公司 一种静电驱动式mems显示屏及其制备方法

Family Cites Families (341)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2004A (en) * 1841-03-12 Improvement in the manner of constructing and propelling steam-vessels
US2009A (en) * 1841-03-18 Improvement in machines for boring war-rockets
US2008A (en) * 1841-03-18 Gas-lamp eok conducting gas pkom ah elevated buhner to one below it
US2006A (en) * 1841-03-16 Clamp for crimping leather
US2002A (en) * 1841-03-12 Tor and planter for plowing
US2001A (en) * 1841-03-12 Sawmill
US2007A (en) * 1841-03-16 Improvement in the mode of harvesting grain
US2003A (en) * 1841-03-12 Improvement in horizontal windivhlls
US2010A (en) * 1841-03-18 Machine foe
US2005A (en) * 1841-03-16 Improvement in the manner of constructing molds for casting butt-hinges
US2011A (en) * 1841-03-18 Appabatxts for piling saws
US2590906A (en) * 1946-11-22 1952-04-01 Farrand Optical Co Inc Reflection interference filter
US2677714A (en) 1951-09-21 1954-05-04 Alois Vogt Dr Optical-electrical conversion device comprising a light-permeable metal electrode
US3247392A (en) 1961-05-17 1966-04-19 Optical Coating Laboratory Inc Optical coating and assembly used as a band pass interference filter reflecting in the ultraviolet and infrared
US3728030A (en) 1970-06-22 1973-04-17 Cary Instruments Polarization interferometer
US3679313A (en) * 1970-10-23 1972-07-25 Bell Telephone Labor Inc Dispersive element for optical pulse compression
JPS4946974A (ru) 1972-09-11 1974-05-07
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US3886310A (en) 1973-08-22 1975-05-27 Westinghouse Electric Corp Electrostatically deflectable light valve with improved diffraction properties
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3109653A1 (de) 1980-03-31 1982-01-28 Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena "resonanzabsorber"
US4421381A (en) 1980-04-04 1983-12-20 Yokogawa Hokushin Electric Corp. Mechanical vibrating element
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4497974A (en) 1982-11-22 1985-02-05 Exxon Research & Engineering Co. Realization of a thin film solar cell with a detached reflector
US4498953A (en) 1983-07-27 1985-02-12 At&T Bell Laboratories Etching techniques
US5096279A (en) * 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4560435A (en) 1984-10-01 1985-12-24 International Business Machines Corporation Composite back-etch/lift-off stencil for proximity effect minimization
US4655554A (en) 1985-03-06 1987-04-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Spatial light modulator having a capacitively coupled photoconductor
US4859060A (en) * 1985-11-26 1989-08-22 501 Sharp Kabushiki Kaisha Variable interferometric device and a process for the production of the same
US4705361A (en) 1985-11-27 1987-11-10 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
GB8621438D0 (en) 1986-09-05 1986-10-15 Secr Defence Electro-optic device
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
US4822993A (en) 1987-02-17 1989-04-18 Optron Systems, Inc. Low-cost, substantially cross-talk free high spatial resolution 2-D bistable light modulator
US5091983A (en) 1987-06-04 1992-02-25 Walter Lukosz Optical modulation apparatus and measurement method
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5028939A (en) * 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
US4925259A (en) 1988-10-20 1990-05-15 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Multilayer optical dielectric coating
US4982184A (en) * 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US4973131A (en) 1989-02-03 1990-11-27 Mcdonnell Douglas Corporation Modulator mirror
US5022745A (en) * 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5062689A (en) 1990-08-21 1991-11-05 Koehler Dale R Electrostatically actuatable light modulating device
JPH04276721A (ja) 1991-03-04 1992-10-01 Fuji Photo Film Co Ltd 液晶表示素子
US5142414A (en) * 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5287215A (en) 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5170283A (en) 1991-07-24 1992-12-08 Northrop Corporation Silicon spatial light modulator
US5240818A (en) 1991-07-31 1993-08-31 Texas Instruments Incorporated Method for manufacturing a color filter for deformable mirror device
US5315370A (en) 1991-10-23 1994-05-24 Bulow Jeffrey A Interferometric modulator for optical signal processing
US6381022B1 (en) * 1992-01-22 2002-04-30 Northeastern University Light modulating device
TW245772B (ru) * 1992-05-19 1995-04-21 Akzo Nv
US5818095A (en) * 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
FI96450C (fi) 1993-01-13 1996-06-25 Vaisala Oy Yksikanavainen kaasun pitoisuuden mittausmenetelmä ja -laitteisto
US7830587B2 (en) 1993-03-17 2010-11-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with semiconductor substrate
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5559358A (en) 1993-05-25 1996-09-24 Honeywell Inc. Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom
US5526172A (en) * 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
FI94804C (fi) 1994-02-17 1995-10-25 Vaisala Oy Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä
US5665997A (en) 1994-03-31 1997-09-09 Texas Instruments Incorporated Grated landing area to eliminate sticking of micro-mechanical devices
US6040937A (en) * 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7800809B2 (en) 1994-05-05 2010-09-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US20010003487A1 (en) * 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US7852545B2 (en) 1994-05-05 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7839556B2 (en) 1994-05-05 2010-11-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7808694B2 (en) 1994-05-05 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7776631B2 (en) 1994-05-05 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device and method of forming a MEMS device
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7738157B2 (en) 1994-05-05 2010-06-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7460291B2 (en) 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US8081369B2 (en) 1994-05-05 2011-12-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US7826120B2 (en) * 1994-05-05 2010-11-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for multi-color interferometric modulation
US5920418A (en) 1994-06-21 1999-07-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Diffractive optical modulator and method for producing the same, infrared sensor including such a diffractive optical modulator and method for producing the same, and display device including such a diffractive optical modulator
US5485304A (en) * 1994-07-29 1996-01-16 Texas Instruments, Inc. Support posts for micro-mechanical devices
US5636052A (en) * 1994-07-29 1997-06-03 Lucent Technologies Inc. Direct view display based on a micromechanical modulation
FR2726960B1 (fr) 1994-11-10 1996-12-13 Thomson Csf Procede de realisation de transducteurs magnetoresistifs
JPH08153700A (ja) 1994-11-25 1996-06-11 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 導電性被膜の異方性エッチング方法
US5550373A (en) * 1994-12-30 1996-08-27 Honeywell Inc. Fabry-Perot micro filter-detector
US7898722B2 (en) * 1995-05-01 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with restoring electrode
US5661592A (en) 1995-06-07 1997-08-26 Silicon Light Machines Method of making and an apparatus for a flat diffraction grating light valve
US6849471B2 (en) 2003-03-28 2005-02-01 Reflectivity, Inc. Barrier layers for microelectromechanical systems
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US6124851A (en) 1995-07-20 2000-09-26 E Ink Corporation Electronic book with multiple page displays
KR100213026B1 (ko) 1995-07-27 1999-08-02 윤종용 디엠디 및 그 제조공정
US6324192B1 (en) 1995-09-29 2001-11-27 Coretek, Inc. Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same
JPH09127551A (ja) 1995-10-31 1997-05-16 Sharp Corp 半導体装置およびアクティブマトリクス基板
US7907319B2 (en) 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
US5999306A (en) 1995-12-01 1999-12-07 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing spatial light modulator and electronic device employing it
US5825528A (en) 1995-12-26 1998-10-20 Lucent Technologies Inc. Phase-mismatched fabry-perot cavity micromechanical modulator
US5751469A (en) 1996-02-01 1998-05-12 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for an improved micromechanical modulator
US6114862A (en) 1996-02-14 2000-09-05 Stmicroelectronics, Inc. Capacitive distance sensor
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
US5838484A (en) 1996-08-19 1998-11-17 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator with linear operating characteristic
GB9619781D0 (en) 1996-09-23 1996-11-06 Secr Defence Multi layer interference coatings
US5771116A (en) * 1996-10-21 1998-06-23 Texas Instruments Incorporated Multiple bias level reset waveform for enhanced DMD control
US7471444B2 (en) 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
US7830588B2 (en) 1996-12-19 2010-11-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making a light modulating display device and associated transistor circuitry and structures thereof
US6028689A (en) * 1997-01-24 2000-02-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-motion micromirror
US5786927A (en) * 1997-03-12 1998-07-28 Lucent Technologies Inc. Gas-damped micromechanical structure
US6384952B1 (en) 1997-03-27 2002-05-07 Mems Optical Inc. Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method
EP0879991A3 (en) 1997-05-13 1999-04-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Illuminating system
US5870221A (en) 1997-07-25 1999-02-09 Lucent Technologies, Inc. Micromechanical modulator having enhanced performance
US5867302A (en) * 1997-08-07 1999-02-02 Sandia Corporation Bistable microelectromechanical actuator
US6031653A (en) * 1997-08-28 2000-02-29 California Institute Of Technology Low-cost thin-metal-film interference filters
DE69830153T2 (de) 1998-01-20 2005-10-13 Seiko Epson Corp. Optische schaltvorrichtung und bildanzeigevorrichtung
US5914804A (en) 1998-01-28 1999-06-22 Lucent Technologies Inc Double-cavity micromechanical optical modulator with plural multilayer mirrors
US6100861A (en) 1998-02-17 2000-08-08 Rainbow Displays, Inc. Tiled flat panel display with improved color gamut
JPH11258558A (ja) * 1998-03-13 1999-09-24 Fuji Photo Film Co Ltd 平面表示装置
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
US6262697B1 (en) 1998-03-20 2001-07-17 Eastman Kodak Company Display having viewable and conductive images
US7532377B2 (en) 1998-04-08 2009-05-12 Idc, Llc Movable micro-electromechanical device
WO1999052006A2 (en) * 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US8928967B2 (en) * 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US6097145A (en) * 1998-04-27 2000-08-01 Copytele, Inc. Aerogel-based phase transition flat panel display
US6046659A (en) 1998-05-15 2000-04-04 Hughes Electronics Corporation Design and fabrication of broadband surface-micromachined micro-electro-mechanical switches for microwave and millimeter-wave applications
US6242989B1 (en) 1998-09-12 2001-06-05 Agere Systems Guardian Corp. Article comprising a multi-port variable capacitor
US6323834B1 (en) 1998-10-08 2001-11-27 International Business Machines Corporation Micromechanical displays and fabrication method
JP3919954B2 (ja) 1998-10-16 2007-05-30 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
JP2000147262A (ja) 1998-11-11 2000-05-26 Nobuyuki Higuchi 集光装置及びこれを利用した太陽光発電システム
US6188519B1 (en) * 1999-01-05 2001-02-13 Kenneth Carlisle Johnson Bigrating light valve
US6242932B1 (en) 1999-02-19 2001-06-05 Micron Technology, Inc. Interposer for semiconductor components having contact balls
US6323987B1 (en) 1999-05-14 2001-11-27 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. Controlled multi-wavelength etalon
US6335235B1 (en) 1999-08-17 2002-01-01 Advanced Micro Devices, Inc. Simplified method of patterning field dielectric regions in a semiconductor device
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6351329B1 (en) 1999-10-08 2002-02-26 Lucent Technologies Inc. Optical attenuator
US6960305B2 (en) 1999-10-26 2005-11-01 Reflectivity, Inc Methods for forming and releasing microelectromechanical structures
US6519073B1 (en) 2000-01-10 2003-02-11 Lucent Technologies Inc. Micromechanical modulator and methods for fabricating the same
JP2003520986A (ja) * 2000-01-21 2003-07-08 フレックス プロダクツ インコーポレイテッド 光学変調セキュリティーデバイス
US6307663B1 (en) 2000-01-26 2001-10-23 Eastman Kodak Company Spatial light modulator with conformal grating device
JP2001221913A (ja) 2000-02-08 2001-08-17 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
GB2359636B (en) 2000-02-22 2002-05-01 Marconi Comm Ltd Wavelength selective optical filter
JP2003524215A (ja) 2000-02-24 2003-08-12 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 光導波路を具える表示装置
US6836366B1 (en) 2000-03-03 2004-12-28 Axsun Technologies, Inc. Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same
US6747775B2 (en) 2000-03-20 2004-06-08 Np Photonics, Inc. Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same
US6698295B1 (en) 2000-03-31 2004-03-02 Shipley Company, L.L.C. Microstructures comprising silicon nitride layer and thin conductive polysilicon layer
US6744805B2 (en) * 2000-04-05 2004-06-01 Nortel Networks Limited Single mode operation of microelectromechanically tunable, half-symmetric, vertical cavity surface emitting lasers
US6400738B1 (en) * 2000-04-14 2002-06-04 Agilent Technologies, Inc. Tunable Fabry-Perot filters and lasers
US7008812B1 (en) * 2000-05-30 2006-03-07 Ic Mechanics, Inc. Manufacture of MEMS structures in sealed cavity using dry-release MEMS device encapsulation
FR2811139B1 (fr) 2000-06-29 2003-10-17 Centre Nat Rech Scient Dispositif optoelectronique a filtrage de longueur d'onde integre
KR100840827B1 (ko) 2000-07-03 2008-06-23 소니 가부시끼 가이샤 광학 다층 구조체, 광학 절환 장치 및 화상 디스플레이
JP2002062490A (ja) 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子
US6466354B1 (en) 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light
US6714565B1 (en) 2000-11-01 2004-03-30 Agilent Technologies, Inc. Optically tunable Fabry Perot microelectromechanical resonator
US6556338B2 (en) 2000-11-03 2003-04-29 Intpax, Inc. MEMS based variable optical attenuator (MBVOA)
US6433917B1 (en) * 2000-11-22 2002-08-13 Ball Semiconductor, Inc. Light modulation device and system
US6906847B2 (en) 2000-12-07 2005-06-14 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
US6614576B2 (en) * 2000-12-15 2003-09-02 Texas Instruments Incorporated Surface micro-planarization for enhanced optical efficiency and pixel performance in SLM devices
DE10064616C2 (de) 2000-12-22 2003-02-06 Ovd Kinegram Ag Zug Dekorfolie und Verfahren zum Beschriften der Dekorfolie
US20020149834A1 (en) 2000-12-22 2002-10-17 Ball Semiconductor, Inc. Light modulation device and system
US6947195B2 (en) * 2001-01-18 2005-09-20 Ricoh Company, Ltd. Optical modulator, optical modulator manufacturing method, light information processing apparatus including optical modulator, image formation apparatus including optical modulator, and image projection and display apparatus including optical modulator
WO2002058089A1 (en) * 2001-01-19 2002-07-25 Massachusetts Institute Of Technology Bistable actuation techniques, mechanisms, and applications
JP2002221678A (ja) 2001-01-25 2002-08-09 Seiko Epson Corp 光スイッチングデバイス、その製造方法および画像表示装置
US6912078B2 (en) 2001-03-16 2005-06-28 Corning Incorporated Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture
US6661561B2 (en) 2001-03-26 2003-12-09 Creo Inc. High frequency deformable mirror device
JP3557525B2 (ja) * 2001-03-29 2004-08-25 日本航空電子工業株式会社 微小可動デバイス
US6600587B2 (en) 2001-04-23 2003-07-29 Memx, Inc. Surface micromachined optical system with reinforced mirror microstructure
US6657832B2 (en) 2001-04-26 2003-12-02 Texas Instruments Incorporated Mechanically assisted restoring force support for micromachined membranes
WO2002095800A2 (en) 2001-05-22 2002-11-28 Reflectivity, Inc. A method for making a micromechanical device by removing a sacrificial layer with multiple sequential etchants
WO2003014789A2 (en) 2001-07-05 2003-02-20 International Business Machines Coporation Microsystem switches
JP3740444B2 (ja) * 2001-07-11 2006-02-01 キヤノン株式会社 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体
JP4032216B2 (ja) * 2001-07-12 2008-01-16 ソニー株式会社 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置
US6594059B2 (en) * 2001-07-16 2003-07-15 Axsun Technologies, Inc. Tilt mirror fabry-perot filter system, fabrication process therefor, and method of operation thereof
US6632698B2 (en) 2001-08-07 2003-10-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microelectromechanical device having a stiffened support beam, and methods of forming stiffened support beams in MEMS
US6661562B2 (en) * 2001-08-17 2003-12-09 Lucent Technologies Inc. Optical modulator and method of manufacture thereof
GB2381834B (en) * 2001-09-07 2004-08-25 Avon Polymer Prod Ltd Noise and vibration suppressors
US7015457B2 (en) * 2002-03-18 2006-03-21 Honeywell International Inc. Spectrally tunable detector
US20030053078A1 (en) * 2001-09-17 2003-03-20 Mark Missey Microelectromechanical tunable fabry-perot wavelength monitor with thermal actuators
WO2003028059A1 (en) * 2001-09-21 2003-04-03 Hrl Laboratories, Llc Mems switches and methods of making same
ATE417021T1 (de) 2001-11-09 2008-12-15 Wispry Inc Mems-einrichtung mit dreischichtigem strahl und diesbezügliche verfahren
US6761950B2 (en) 2001-12-07 2004-07-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Information recording medium and method for producing the same
JP2003177336A (ja) 2001-12-11 2003-06-27 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
JP3893421B2 (ja) 2001-12-27 2007-03-14 富士フイルム株式会社 光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
US6791735B2 (en) * 2002-01-09 2004-09-14 The Regents Of The University Of California Differentially-driven MEMS spatial light modulator
JP2003295074A (ja) * 2002-01-31 2003-10-15 Ricoh Co Ltd 光変調装置
US6608268B1 (en) * 2002-02-05 2003-08-19 Memtronics, A Division Of Cogent Solutions, Inc. Proximity micro-electro-mechanical system
US6794119B2 (en) 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
US6935759B1 (en) * 2002-02-19 2005-08-30 Glimmerglass Networks, Inc. Folded longitudinal torsional hinge for gimbaled MEMS mirror
US6574033B1 (en) * 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
EP1482770A4 (en) * 2002-03-01 2007-01-03 Sharp Kk LIGHT EMITTING DEVICE AND DISPLAY USING THE DEVICE AND READING DEVICE
US7145143B2 (en) 2002-03-18 2006-12-05 Honeywell International Inc. Tunable sensor
US6768555B2 (en) 2002-03-21 2004-07-27 Industrial Technology Research Institute Fabry-Perot filter apparatus with enhanced optical discrimination
US6965468B2 (en) * 2003-07-03 2005-11-15 Reflectivity, Inc Micromirror array having reduced gap between adjacent micromirrors of the micromirror array
US6954297B2 (en) 2002-04-30 2005-10-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device including dielectrophoretic liquid
US6972882B2 (en) 2002-04-30 2005-12-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device with light angle amplification
JP2003340795A (ja) 2002-05-20 2003-12-02 Sony Corp 静電駆動型ｍｅｍｓ素子とその製造方法、光学ｍｅｍｓ素子、光変調素子、ｇｌｖデバイス及びレーザディスプレイ
JP3801099B2 (ja) 2002-06-04 2006-07-26 株式会社デンソー チューナブルフィルタ、その製造方法、及びそれを使用した光スイッチング装置
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6738194B1 (en) * 2002-07-22 2004-05-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Resonance tunable optical filter
US6822798B2 (en) * 2002-08-09 2004-11-23 Optron Systems, Inc. Tunable optical filter
JP4057871B2 (ja) * 2002-09-19 2008-03-05 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 液晶表示装置
EP1543370B1 (en) 2002-09-19 2011-02-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Switchable optical element
KR100512960B1 (ko) 2002-09-26 2005-09-07 삼성전자주식회사 플렉서블 ｍｅｍｓ 트랜스듀서와 그 제조방법 및 이를채용한 플렉서블 ｍｅｍｓ 무선 마이크로폰
US7085121B2 (en) * 2002-10-21 2006-08-01 Hrl Laboratories, Llc Variable capacitance membrane actuator for wide band tuning of microstrip resonators and filters
FR2846318B1 (fr) * 2002-10-24 2005-01-07 Commissariat Energie Atomique Microstructure electromecanique integree comportant des moyens de reglage de la pression dans une cavite scellee et procede de reglage de la pression
US7370185B2 (en) 2003-04-30 2008-05-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Self-packaged optical interference display device having anti-stiction bumps, integral micro-lens, and reflection-absorbing layers
US6844959B2 (en) 2002-11-26 2005-01-18 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light absorbing areas
US6958846B2 (en) * 2002-11-26 2005-10-25 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light absorbing areas
TWI289708B (en) * 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
TW594155B (en) * 2002-12-27 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd Optical interference type color display and optical interference modulator
JP2004212680A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子アレイ及びその製造方法
JP2004212637A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び平面表示素子
JP2004212638A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び平面表示素子
JP2004219843A (ja) 2003-01-16 2004-08-05 Seiko Epson Corp 光変調器、表示装置及びその製造方法
TW200413810A (en) * 2003-01-29 2004-08-01 Prime View Int Co Ltd Light interference display panel and its manufacturing method
TW557395B (en) * 2003-01-29 2003-10-11 Yen Sun Technology Corp Optical interference type reflection panel and the manufacturing method thereof
US7459402B2 (en) 2003-02-12 2008-12-02 Texas Instruments Incorporated Protection layers in micromirror array devices
US7436573B2 (en) 2003-02-12 2008-10-14 Texas Instruments Incorporated Electrical connections in microelectromechanical devices
CN1217195C (zh) * 2003-02-28 2005-08-31 北京大学 Mems压阻式伺服加速度传感器及其制备方法
TW200417806A (en) 2003-03-05 2004-09-16 Prime View Int Corp Ltd A structure of a light-incidence electrode of an optical interference display plate
US6913942B2 (en) 2003-03-28 2005-07-05 Reflectvity, Inc Sacrificial layers for use in fabrications of microelectromechanical devices
TWI226504B (en) * 2003-04-21 2005-01-11 Prime View Int Co Ltd A structure of an interference display cell
TW567355B (en) * 2003-04-21 2003-12-21 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
TW594360B (en) 2003-04-21 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd A method for fabricating an interference display cell
TWI224235B (en) 2003-04-21 2004-11-21 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
US7072093B2 (en) 2003-04-30 2006-07-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical interference pixel display with charge control
US7447891B2 (en) 2003-04-30 2008-11-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Light modulator with concentric control-electrode structure
US6940630B2 (en) 2003-05-01 2005-09-06 University Of Florida Research Foundation, Inc. Vertical displacement device
JP4075678B2 (ja) 2003-05-06 2008-04-16 ソニー株式会社 固体撮像素子
TW570896B (en) * 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
TW591716B (en) * 2003-05-26 2004-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a structure release and manufacturing the same
TWI223855B (en) * 2003-06-09 2004-11-11 Taiwan Semiconductor Mfg Method for manufacturing reflective spatial light modulator mirror devices
JP2007027150A (ja) 2003-06-23 2007-02-01 Hitachi Chem Co Ltd 集光型光発電システム
US7221495B2 (en) * 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
FR2857153B1 (fr) 2003-07-01 2005-08-26 Commissariat Energie Atomique Micro-commutateur bistable a faible consommation.
US6862127B1 (en) 2003-11-01 2005-03-01 Fusao Ishii High performance micromirror arrays and methods of manufacturing the same
JP3786106B2 (ja) 2003-08-11 2006-06-14 セイコーエプソン株式会社 波長可変光フィルタ及びその製造方法
TW200506479A (en) * 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
TWI251712B (en) * 2003-08-15 2006-03-21 Prime View Int Corp Ltd Interference display plate
TWI231865B (en) * 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
TWI230801B (en) 2003-08-29 2005-04-11 Prime View Int Co Ltd Reflective display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
JP3979982B2 (ja) 2003-08-29 2007-09-19 シャープ株式会社 干渉性変調器および表示装置
TWI232333B (en) * 2003-09-03 2005-05-11 Prime View Int Co Ltd Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
US7422928B2 (en) * 2003-09-22 2008-09-09 Matsushita Electric Works, Ltd. Process for fabricating a micro-electro-mechanical system with movable components
US7027204B2 (en) 2003-09-26 2006-04-11 Silicon Light Machines Corporation High-density spatial light modulator
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
TW593126B (en) * 2003-09-30 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system and manufacturing the same
JP2005121906A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd 反射型光変調アレイ素子及び露光装置
US7782523B2 (en) 2003-11-01 2010-08-24 Fusao Ishii Analog micromirror devices with continuous intermediate states
US7198873B2 (en) * 2003-11-18 2007-04-03 Asml Netherlands B.V. Lithographic processing optimization based on hypersampled correlations
TW200524236A (en) 2003-12-01 2005-07-16 Nl Nanosemiconductor Gmbh Optoelectronic device incorporating an interference filter
EP1544657B1 (en) * 2003-12-19 2012-04-04 Barco N.V. Broadband full white reflective display structure
US6980339B2 (en) * 2003-12-19 2005-12-27 Lucent Technologies Inc. Deformable MEMS mirror
WO2005089098A2 (en) 2004-01-14 2005-09-29 The Regents Of The University Of California Ultra broadband mirror using subwavelength grating
TWI235345B (en) 2004-01-20 2005-07-01 Prime View Int Co Ltd A structure of an optical interference display unit
JP2005235403A (ja) * 2004-02-17 2005-09-02 Hitachi Displays Ltd 有機・ｅｌ表示装置
TWI256941B (en) * 2004-02-18 2006-06-21 Qualcomm Mems Technologies Inc A micro electro mechanical system display cell and method for fabricating thereof
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
TW200530669A (en) 2004-03-05 2005-09-16 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
TWI261683B (en) 2004-03-10 2006-09-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference reflective element and repairing method thereof
JP4581453B2 (ja) 2004-03-29 2010-11-17 ソニー株式会社 Ｍｅｍｓ素子、光学ｍｅｍｓ素子、回折型光学ｍｅｍｓ素子、並びにレーザディスプレイ
JP2005308871A (ja) 2004-04-19 2005-11-04 Aterio Design Kk 干渉カラーフィルター
JP2005309099A (ja) * 2004-04-21 2005-11-04 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタ及びその製造方法
US7245285B2 (en) 2004-04-28 2007-07-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pixel device
US7476327B2 (en) 2004-05-04 2009-01-13 Idc, Llc Method of manufacture for microelectromechanical devices
US7787170B2 (en) 2004-06-15 2010-08-31 Texas Instruments Incorporated Micromirror array assembly with in-array pillars
US7113322B2 (en) * 2004-06-23 2006-09-26 Reflectivity, Inc Micromirror having offset addressing electrode
US7075700B2 (en) * 2004-06-25 2006-07-11 The Boeing Company Mirror actuator position sensor systems and methods
TWI233916B (en) * 2004-07-09 2005-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system
CA2572952C (en) 2004-07-09 2012-12-04 The University Of Cincinnati Display capable electrowetting light valve
TWI270722B (en) * 2004-07-23 2007-01-11 Au Optronics Corp Dual-side display panel
WO2006014929A1 (en) * 2004-07-29 2006-02-09 Idc, Llc System and method for micro-electromechanical operating of an interferometric modulator
US7126741B2 (en) 2004-08-12 2006-10-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Light modulator assembly
US7372348B2 (en) * 2004-08-20 2008-05-13 Palo Alto Research Center Incorporated Stressed material and shape memory material MEMS devices and methods for manufacturing
US7719500B2 (en) * 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7612932B2 (en) 2004-09-27 2009-11-03 Idc, Llc Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7630119B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7893919B2 (en) * 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7184202B2 (en) * 2004-09-27 2007-02-27 Idc, Llc Method and system for packaging a MEMS device
US7554714B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Device and method for manipulation of thermal response in a modulator
US7564612B2 (en) 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7372613B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7898521B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7321456B2 (en) * 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
CN1755495A (zh) * 2004-09-27 2006-04-05 Idc公司 制造mems系统的预结构的方法
US7936497B2 (en) * 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7327510B2 (en) * 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US8102407B2 (en) 2004-09-27 2012-01-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7527995B2 (en) 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
CN100439967C (zh) * 2004-09-27 2008-12-03 Idc公司 用于多状态干涉光调制的方法和设备
US7944599B2 (en) * 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7429334B2 (en) 2004-09-27 2008-09-30 Idc, Llc Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material
US8008736B2 (en) * 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7302157B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7184193B2 (en) * 2004-10-05 2007-02-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Systems and methods for amorphous flexures in micro-electro mechanical systems
JP4384005B2 (ja) 2004-10-15 2009-12-16 株式会社東芝 表示装置
CN101048839B (zh) 2004-10-27 2010-11-17 爱普科斯公司 电子设备
US20080068697A1 (en) 2004-10-29 2008-03-20 Haluzak Charles C Micro-Displays and Their Manufacture
US7484857B2 (en) * 2004-11-30 2009-02-03 Massachusetts Institute Of Technology Light modulating mirror device and array
US20060132927A1 (en) 2004-11-30 2006-06-22 Yoon Frank C Electrowetting chromatophore
US7224033B2 (en) * 2005-02-15 2007-05-29 International Business Machines Corporation Structure and method for manufacturing strained FINFET
US7521666B2 (en) 2005-02-17 2009-04-21 Capella Microsystems Inc. Multi-cavity Fabry-Perot ambient light filter apparatus
US7405852B2 (en) 2005-02-23 2008-07-29 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7675665B2 (en) 2005-02-23 2010-03-09 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for actuating displays
US20060262389A1 (en) 2005-05-23 2006-11-23 Christoph Zaczek Reflective optical element for ultraviolet radiation, projection optical system and projection exposure system therewith, and method for forming the same
US7884989B2 (en) * 2005-05-27 2011-02-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. White interferometric modulators and methods for forming the same
US7460292B2 (en) 2005-06-03 2008-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator with internal polarization and drive method
US7184195B2 (en) * 2005-06-15 2007-02-27 Miradia Inc. Method and structure reducing parasitic influences of deflection devices in an integrated spatial light modulator
US7435518B2 (en) * 2005-10-03 2008-10-14 Xerox Corporation Method of treating an electrophotographic-imaging member with a rare earth material
US8574823B2 (en) 2005-10-05 2013-11-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multi-level layer
US7513327B1 (en) 2005-10-13 2009-04-07 Kent Peterson System for converting a recreational vehicle
US7760197B2 (en) * 2005-10-31 2010-07-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fabry-perot interferometric MEMS electromagnetic wave modulator with zero-electric field
JP2007167998A (ja) 2005-12-20 2007-07-05 Toshiba Corp 梁構造を有する装置、および半導体装置
US7417746B2 (en) 2005-12-29 2008-08-26 Xerox Corporation Fabry-perot tunable filter systems and methods
US7652814B2 (en) 2006-01-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device with integrated optical element
US7550810B2 (en) 2006-02-23 2009-06-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having a layer movable at asymmetric rates
WO2007110928A1 (ja) 2006-03-28 2007-10-04 Fujitsu Limited 可動素子
US7477440B1 (en) 2006-04-06 2009-01-13 Miradia Inc. Reflective spatial light modulator having dual layer electrodes and method of fabricating same
US7321457B2 (en) 2006-06-01 2008-01-22 Qualcomm Incorporated Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7385744B2 (en) 2006-06-28 2008-06-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structure for free-standing MEMS device and methods for forming the same
US7593189B2 (en) 2006-06-30 2009-09-22 Seagate Technology Llc Head gimbal assembly to reduce slider distortion due to thermal stress
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7566664B2 (en) 2006-08-02 2009-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selective etching of MEMS using gaseous halides and reactive co-etchants
TWI331231B (en) 2006-08-04 2010-10-01 Au Optronics Corp Color filter and frbricating method thereof
DE102006039071B4 (de) 2006-08-09 2012-04-19 Universität Kassel Optisches Filter und Verfahren zu seiner Herstellung
US7629197B2 (en) 2006-10-18 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Spatial light modulator
US7684106B2 (en) 2006-11-02 2010-03-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Compatible MEMS switch architecture
US20080121270A1 (en) 2006-11-28 2008-05-29 General Electric Company Photovoltaic roof tile system
US7535621B2 (en) 2006-12-27 2009-05-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Aluminum fluoride films for microelectromechanical system applications
US8115987B2 (en) 2007-02-01 2012-02-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Modulating the intensity of light from an interferometric reflector
US7742220B2 (en) 2007-03-28 2010-06-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing conducting layers separated by stops
US7643202B2 (en) 2007-05-09 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7715085B2 (en) 2007-05-09 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7643199B2 (en) 2007-06-19 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. High aperture-ratio top-reflective AM-iMod displays
US7782517B2 (en) 2007-06-21 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Infrared and dual mode displays
US7569488B2 (en) 2007-06-22 2009-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods of making a MEMS device by monitoring a process parameter
US7630121B2 (en) * 2007-07-02 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7773286B2 (en) 2007-09-14 2010-08-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Periodic dimple array
US7847999B2 (en) 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
US7612933B2 (en) 2008-03-27 2009-11-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with spacing layer
US7898723B2 (en) 2008-04-02 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure

Also Published As

Publication number Publication date
JP5065487B2 (ja) 2012-10-31
JP2012212159A (ja) 2012-11-01
US20100085625A1 (en) 2010-04-08
WO2009006118A3 (en) 2009-05-14
US7630121B2 (en) 2009-12-08
TWI402536B (zh) 2013-07-21
BRPI0813296A2 (pt) 2014-12-30
EP2442168A3 (en) 2012-08-29
RU2475789C2 (ru) 2013-02-20
CN102393563A (zh) 2012-03-28
WO2009006118A2 (en) 2009-01-08
TW201135281A (en) 2011-10-16
CN101688975A (zh) 2010-03-31
US7920319B2 (en) 2011-04-05
TW200909853A (en) 2009-03-01
CN102393562A (zh) 2012-03-28
EP2442169A2 (en) 2012-04-18
US20090009845A1 (en) 2009-01-08
EP2442168A2 (en) 2012-04-18
US8368997B2 (en) 2013-02-05
EP2012168A2 (en) 2009-01-07
EP2442169A3 (en) 2012-08-29
CN101688975B (zh) 2012-02-01
JP2010532498A (ja) 2010-10-07
EP2012168A3 (en) 2009-04-22
CA2691674A1 (en) 2009-01-08
JP2012212158A (ja) 2012-11-01
US20110170168A1 (en) 2011-07-14
KR20100038406A (ko) 2010-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009145292A (ru) Микроэлектромеханическое устройство, в котором оптическая функция отделена от механической и электрической
JP7093430B2 (ja) マイクロ組立ｌｅｄディスプレイ
EP3660585B1 (en) Flexible display panel and device
JP2012230407A5 (ru)
KR101976209B1 (ko) 전기습윤 표시 장치
RU2005129915A (ru) Электропроводная шинная структура для матрицы интерферометрических модуляторов
TW200933556A (en) Light illumination of displays with front light guide and coupling elements
CN102169229A (zh) 用于封装一mems装置的方法及系统
WO2004104670A1 (en) Display device
RU2012107794A (ru) Жидкокристаллическая дисплейная панель, способ ее изготовления и жидкокристаллическое дисплейное устройство
EP2859398B1 (en) Electrowetting display device
CN109478887A (zh) 一种有阻断体及阻断动作空间的光开关装置
KR20160088514A (ko) 커브드 표시장치의 백라이트 유닛 제조방법
KR101524045B1 (ko) 백라이트 유닛, 조명 장치 및 디스플레이 장치
KR20150108474A (ko) 반사시트 및 이를 포함하는 백라이트 유닛
KR20190074066A (ko) 반도체 발광소자
CN112467018B (zh) mini-LED/micro-LED面光源及其制造方法
TW201222508A (en) Driving method of electro-wetting display device
TWI454739B (zh) 具折射光轉向特徵之光轉向裝置
KR20170117701A (ko) 액정표시장치
JP2009199479A (ja) 凹凸形成装置および情報入力装置
CN1971344A (zh) 显示模组
RU2005129916A (ru) Способ и устройство для интерферометрической модуляции света со множеством состояний
CN102012559A (zh) 具有减小的电容的显示元件
KR20060105130A (ko) 광변조기 모듈 패키지 구조

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150625