RU96107221A

RU96107221A - Акустооптическое волноводное устройство для селекции длин волн и способ его изготовления

Info

Publication number: RU96107221A
Application number: RU96107221/28A
Authority: RU
Inventors: Шмид Стеффен; Боссо Серджо
Original assignee: Пирелли Кави С.п.А.
Priority date: 1995-04-14
Filing date: 1996-04-12
Publication date: 1998-07-10

Claims

1. Акустооптическое волноводное устройство для селекции длин волн, включающее один субстрат из фотоупругого материала с двойным лучепреломлением, на котором формируются
- первая ступень вращения плоскости поляризации оптического сигнала в первом интервале длин волн, включающая по меньшей мере один оптический волновод, через который проходит указанный сигнал;
- вторая ступень вращения плоскости полирязации оптического сигнала во втором интервале длин волн, включающая по меньшей мере один оптический волновод, через который проходит указанный сигнал;
- по меньшей мере один оптический волновод, связывающий указанные первую и вторую ступени, несущий поляризатор;
- по меньшей мере один оптический волновод, расположенный за указанной второй ступенью, несущий поляризационно-селективный элемент;
отличающееся тем, что поляризатор содержит поляризационный элемент связи с нераспространяющейся волной.

2. Акустооптическое устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере одна из первой и второй ступеней содержит приспособления для генерирования поверхностной акустической волны.

3. Акустооптическое устройство по п.2, отличающееся тем, что субстрат содержит акустический волновод, включающий по меньшей мере одну секцию одного из оптических волноводов первой и второй ступеней.

4. Акустооптическое устройство по п.3, отличающееся тем, что содержит первый акустический волновод, расположенный на протяжении части субстрата, включающий оптический волновод первой ступени, и второй акустический волновод, расположенный на протяжении части субстрата, включающий оптический волновод второй ступени.

5. Акустооптическое устройство по п.3, отличающееся тем, что приспособления для генерирования поверхностной акустической волны расположены внутри по меньшей мере одного из акустических волноводов, вблизи от одного конца волновода, для однонаправленного распространения указанной акустической волны в акустическом волноводе.

6. Акустооптическое устройство по п.5, отличающееся тем, что приспособление для генерирования поверхностной акустической волны включает группу электродов встречно-штыревой конструкции, расположенных поперек акустического волновода.

7. Акустооптическое устройство по п.6, отличающееся тем, что содержит акустический поглотитель, расположенный на конце акустического волновода.

8. Акустооптическое устройство по п.5, отличающееся тем, что содержит акустический поглотитель, расположенный на конце акустического волновода, противоположном тому концу, на котором расположены приспособления для генерирования поверхностной акустической волны.

9. Акустооптическое устройство по п.5, отличающееся тем, что приспособление для генерирования поверхностных акустических волн состоит из двух групп электродов встречно-штыревой конструкции, расположенных на предварительно определенном расстоянии друг от друга, соответственно снабженных первым электрическим сигналом переменного напряжения и вторым электрическим сигналом, полученным путем сдвига первого электрического сигнала на 90^o, для генерирования однонаправленной акустической волны.

10. Акустооптическое устройство по п.1, отличающееся тем, что включает два параллельных оптических волновода на каждой из первой и второй ступеней и два оптических волновода, связывающих первую и вторую ступени, где каждый оптический связывающий волновод несет один поляризатор, приспособленный для передачи одной или двух компонент взаимно перпендикулярных поляризаций, и где по меньшей мере один из поляризаторов состоит из поляризационного элемента связи с нераспространяющейся волной.

11. Акустооптическое устройство по п.10, отличающееся тем, что один из поляризаторов является поляризатором, пропускающим волны TE типа, и содержит металлический слой, покрывающий соответствующий оптический волновод, связывающий первую и вторую ступени, с буферным слоем, введенным между ними.

12. Акустооптическое устройство по п.10, отличающееся тем, что каждый из поляризаторов содержит поляризационный элемент связи с нераспространяющейся волной.

13. Акустооптическое устройство по п.12, отличающееся тем, что оба поляризационных элемента связи с нераспространяющейся волной являются элементами связи полосовой передачи для соответственной проходящей поляризации.

14. Акустооптическое устройство по п.12, отличающееся тем, что один из поляризационных элементов связи с нераспространяющейся волной является элементом связи полосовой передачи для соответственной проходящей поляризации, а второй из поляризационных элементов связи с нераспространяющейся волной является элементом связи перекрестной передачи для соответственной проходящей поляризации.

15. Акустооптическое устройство по п.14, отличающееся тем, что второй поляризационный элемент связи с нераспространяющейся волной связан с соответственным оптическим связывающим волноводом с помощью изогнутой волноводной секции.

16. Акустооптическое устройство по п.14, отличающееся тем, что второй поляризационный элемент связи с нераспространяющейся волной содержит прямую центральную секцию, образующую ненулевой угол по отношению к связывающему волноводу.

17. Акустооптическое устройство по п.12, отличающееся тем, что по крайней мере один из поляризаторов содержит два поляризационных элемента связи с нераспространяющейся волной.

18. Акустооптическое устройство по п.17, отличающееся тем, что каждый из поляризаторов содержит два поляризационных элемента связи с нераспространяющейся волной.

19. Акустооптическое устройство по п.1, отличающееся тем, что фотоупругим материалом с двойным лучепреломлением является LiNbO₃.

20. Акустооптическое устройство по п.19, отличающееся тем, что оптические волноводы и поляризационные элементы связи с нераспространяющейся волной изготавливаются путем фотолитографического маскирования, осаждения металлического слоя и последующей диффузии металла внутрь субстрата.

21. Акустооптическое устройство по п.20, отличающееся тем, что металлом является титан.

22. Способ изготовления акустооптического волноводного устройства для селекции длин волн, в котором
- формируют по меньшей мере один акустический волновод на субстрате, изготовленном из фотоупругого материала с двойным лучепреломлением, путем диффузии первого металла внутрь указанного субстрата;
- формируют первый и второй поляризационные элементы связи с нераспространяющейся волной на указанном субстрате путем фотолитографического осаждения и последующей диффузии второго металла внутрь самого субстрата, а также по меньшей мере одного оптического волновода для связи между указанными поляризационными элементами связи, где оптический волновод является по крайней мере частично включенным в акустический волновод;
- формируют поляризатор вдоль оптического связывающего волновода;
- формируют электроакустический преобразователь, содержащий электроды встречно-штыревой конструкции внутри по меньшей мере одного из акустических волноводов путем фотолитографического осаждения третьего металла на субстрат,
отличающийся тем, что стадию формования поляризатора включают в стадию формирования первого и второго поляризационных элементов связи и оптического связывающего волновода и состоит в формировании третьего поляризационного элемента связи с нераспространяющейся волной.

23. Способ изготовления акустоопического устройства по п.22, отличающийся тем, что первый, второй и третий поляризационные элементы связи с нераспространяющейся волной идентичны друг другу.

24. Способ изготовления акустооптического устройства по п.22, отличающийся тем, что включает формирование на субстрате путем фотолитографического осаждения и последующей диффузии указанного второго металла внутрь самого субстрата, первого и второго оптических волноводов, связывающих первый и второй поляризационные элементы связи, эти оптические волноводы являются по крайней мере частично включенными в акустический волновод, и формирование поляризатора вдоль каждого из указанных оптических связывающих волноводов.

25. Способ изготовления акустооптического устройства по п.24, отличающийся тем, что стадию формирования поляризаторов включают в стадию формирования первого и второго поляризационных элементов связи и оптических связывающих волноводов, и она состоит в формировании третьего и четвертого поляризационных элементов связи с нераспространяющейся волной вдоль первого и второго оптических связывающих волноводов соответственно.

26. Способ изготовления акустооптического устройства по п.25, отличающийся тем, что первый, второй, третий и четвертый поляризационные элементы связи с нераспространяющейся волной являются идентичными друг другу.