SE514088C2 - Förfarande för kalibrering av utrustning för detektering av föroreningar i transparent material - Google Patents
Förfarande för kalibrering av utrustning för detektering av föroreningar i transparent materialInfo
- Publication number
- SE514088C2 SE514088C2 SE9901293A SE9901293A SE514088C2 SE 514088 C2 SE514088 C2 SE 514088C2 SE 9901293 A SE9901293 A SE 9901293A SE 9901293 A SE9901293 A SE 9901293A SE 514088 C2 SE514088 C2 SE 514088C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- calibration
- camera
- sizes
- determined
- areas
- Prior art date
Links
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 title claims abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 title claims 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/93—Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
15 20 25 30 OO 5 'l 4 Û 8 2 Detta syfte uppås med ett förfarande av inledningsvis angivet slag med i patentkravet 1 angivna kännetecken.
Med förfarandet enligt uppfinningen får man en kalibreringsmetod som är spårbar enligt kraven för lSO 9000 och inga särskilda justeringsorgan krävs hos den aktuella detekteringsutrustningen, som en användare skulle kunna komma åt och därigenom av misstag ödelägga kalibreringen. Den med förfarandet enligt uppfinningen utförda kalibreringen kommer således att bibehållas över tid.
Enligt fördelaktiga utföringsformer av förfarandet enligt uppfinningen fram- ställs nämnda mörka områden med förutbestämda större storlekar på en kalibre- ringsfilm, varefter områdena förminskas till för kalibreringen önskade storlekar.
Prickarna och ringarna förminskas, lämpligen med repro- eller mikrofilmskamera, ned till storlekar i området 30 - 100 um. I princip kan vilka former som helst av fläckar och ringar användas och dessa görs helt svarta, d.v.s. helt täta för ljus, varigenom flankerna direkt kan detekteras.
Enligt en annan utföringsform av förfarandet enligt uppfinningen upprepas de mörka områdena på kalibreringsfilmen med förutbestämda mellanrum för att möjliggöra bestämning av standardavvikelsen i kalibreringen.
Enligt ännu en fördelaktig utföringsform av förfarandet enligt uppfinningen anbringas en skala i detekteringsutrustningens mätläge, med vilkens hjälp önskad pixelupplösning injusteras och kameran fixeras med fokus på mätläget, innan kali- breringsfilmen avsöks. Den för denna injustering använda skalan utgörs lämpligen av en för detta ändamål konstruerad så kallad Heidenhainskala. Efter det att pixel- upplösningen injusterats fixeras således kamerans inställning mekaniskt med ka- meralinsens fokus inriktad på mätstället och kamerainställningen bibehålls där- efter.
För att förklara uppfinningen närmare kommer nu en såsom exempel vald utföringsform av förfarandet enligt uppfinningen att beskrivas närmare i anslutning nu fig. 2.
På ritningarna visar fig. 1 ett blockschema över ett exempel på en typ av detekteringsutrustning på vilken förfarandet enligt uppfinningen är användbart, fig. 2 visar ett flödesschema illustrerande ett utföringsexempel av förfarandet enligt 10 15 20 25 30 514 088 3 uppfinningen och fig. 3 visar exempel på resultaten av mätningar utförda med den aktuella detekteringsutrustningen.
Vid kalibreringsförfarandet enligt uppfinningen framställs en kalibrerings- film med mörka punkter, se steg 22 ifig. 2, eller ringar, se steg 24 ifig. 2, av för- utbestämda storlekar. Dessa punkter och ringar framställs på fllmen i en skala, som är betydligt större än den storlek som sedan skall användas. De vid 22 visade punkterna kan ha diametrar av typiskt 1800, 1500 och 1200 pm, och ringen vid steg 24 kan ha en diameter av typiskt 3000 pm med ett centrumhål med 1200 pm diameter. Även mörka områden eller fläckar av andra former än de visade cirkulära punkterna och ringen kan självfallet användas. l en repro- eller míkrofilmskamera förminskas punkterna och ringen till önskade storlekar, till exempel 30 gångers förrninskning till punkter av storlekarna 60, 50 och 40 pm samt en ring av diametern 100 pm, se steg 26.
Om man använder helt svarta punkter på kalibreringsfilmen, d.v.s. för ljus helt täta punkter kan punkternas flanker direkt detekteras med kameran. Om till exempel en punkt med en diameter av 40 pm passerar pixlar av 10 pm storlek kan punkten i bästa fall täcka exakt fyra pixlar. I kanten av punkten kommer dock en grå skala övergående i helt svart att uppträda, varpå svärtan därefter, efter till exempel några pixlar, åter avtar.
En svart ring på kalibreringstejpen släcker normalt inte ned ljustransmis- sionen helt på grund av diffraktion, som ger upphov till spritt och diffust ljus. Till- gängliga detektorer, d.v.s. kameror, mäter ej heller ned till ljustransmissionen noll, d.v.s. det finns alltid en viss mörkerström. Man väljer därför en triggnivå som ligger på ett betryggande avstånd över minitransmissionsnivån. Om man till exempel för en mörk punkt med diametern 30 pm har en genomsnittlig transmissionsnivå på 11 - 12%, kan triggnivån lämpligen väljas till t.ex. 25% eller 35% transmissions- nivå.
Punkterna och ringen repeteras därefter med förutbestämda avstånd. Ge- nom att punkterna, ringarna, etc är repeterade med bestämda mellanrum på kali- breringsfilmen kan även till exempel standardawikelsen bestämmas. På en mikro- 10 15 514 088 4 film, vid steg 28. t.ex. med ett fast avstånd om exempelvis 25 mm. På detta sätt erhålls den för kalibreringsförfarandet avsedda kalibreringsfilmen.
Därefter kontrolleras punkternas och ringarnas verkliga dimensioner på kalibreringsfilmen med ett mätmikroskop, vid steg 30.
Innan kalibreringsfilmen används i aktuell detekteringsutrustning för kali- breringsförfarandet injusteras den önskade pixelupplösningen med hjälp av en glasskala, en så kallad Heidenhainskala, såsom beskrivits ovan. Kamerans inställ- ning fixeras därefter mekaniskt och behöver senare ej vidare justeras, vid steg 32 i fig. 2. Kameran fastskruvas således en gång för alla inriktad med sitt fokus mot skalan d.v.s. mot utrustningens mätläge, så att mätläget hamnar i kameralinsens fokus.
Därefter körs kalibreringsfilmen i den aktuella detekteringsutrustningen och punkternas och ringens storlekar uppmäts, vid steg 34. I fig. 3 visas exempel på resultat av sådana mätningar utförda med i fig. 1 visad utrustning på en film med mörka punkter av olika storlekar samt en mörk ring.
I steg 36 jämförs sålunda erhållna mätvärden med i mätmikroskopet, steg 30, fastställda storlekar på punkterna och ringen för utrustningens kalibrering, och i steget 38 genereras slutligen ett kalibreringsprotokoll. 'l
Claims (8)
1. Förfarande för kalibrering av utrustning för detektering av föroreningar i transparent material, vilken detekteringsutrustning innefattar en ljuskälla för be- lysning av materialet, en kamera för att detektera genom materialet transmitterat ljus samt signalbehandlingsapparatur för bearbetning och analysering av signaler från kameran representerande ljustransmissionen genom materialet, känneteck- nat av att på en film av transparent material framställs mörka områden och deras verkliga storlekar bestäms, varpå storleken på de mörka områdena på denna kali- breringsfilm bestäms med detekteringsutrustningen och på detta sätt bestämda storlekarjämförs med områdenas verkliga storlekar för detekteringsutrustningens kalibrering.
2. Förfarande enligt krav 1, kännetecknat av att nämnda mörka områden framställs med förutbestämda större storlekar på kalibreringsfilmen, varefter om- rådena förminskas till för kalibreringen önskade storlekar.
3. Förfarande enligt krav 2, kännetecknat av att nämnda mörka områden förminskas med repro- eller mikrofilmskamera.
4. Förfarande enligt krav 2 eller 3, kännetecknat av att de förminskade områdenas verkliga storlekar bestäms med mätmikroskop.
5. Förfarande enligt något av föregående krav, kännetecknat av att de mörka områdena upprepas på kalibreringsfilmen med förutbestämda mellanrum för att möjliggöra bestämning av standardavvikelsen i kalibreringen.
6. Förfarande enligt något av föregående krav, kännetecknat av att nämnda mörka områden framställs med formen av huvudsakligen cirkulära punkter eller nngan 514 G88 6
7. Förfarande enligt något av föregående krav, kännetecknat av att som detekteringsutrustningens kamera används en linjekamera, som avger signaler representerande avsökta ljustransmissionsdata pixel för pixel.
8. Förfarande enligt krav 7, kännetecknat av att innan kalibreringsfilmen av- söks anbringas en skala i detekteringsutrustningens mätläge, med vilkens hjälp önskad pixelupplösning injusteras och kameran fixeras med fokus på mätläget.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9901293A SE514088C2 (sv) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Förfarande för kalibrering av utrustning för detektering av föroreningar i transparent material |
| EP00923047A EP1177427A1 (en) | 1999-04-12 | 2000-04-10 | A method for calibrating equipment for detecting impurities in transparent material |
| PCT/SE2000/000683 WO2000062044A1 (en) | 1999-04-12 | 2000-04-10 | A method for calibrating equipment for detecting impurities in transparent material |
| US09/958,780 US6646736B1 (en) | 1999-04-12 | 2000-04-10 | Method for calibrating equipment for detecting impurities in transparent material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9901293A SE514088C2 (sv) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Förfarande för kalibrering av utrustning för detektering av föroreningar i transparent material |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE9901293D0 SE9901293D0 (sv) | 1999-04-12 |
| SE9901293L SE9901293L (sv) | 2000-10-13 |
| SE514088C2 true SE514088C2 (sv) | 2000-12-18 |
Family
ID=20415180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE9901293A SE514088C2 (sv) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Förfarande för kalibrering av utrustning för detektering av föroreningar i transparent material |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6646736B1 (sv) |
| EP (1) | EP1177427A1 (sv) |
| SE (1) | SE514088C2 (sv) |
| WO (1) | WO2000062044A1 (sv) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8693810B2 (en) | 2008-11-05 | 2014-04-08 | The Trustees Of Princeton University | Optical counter-phase system and method of RF interference cancellation |
| US8682170B2 (en) | 2011-05-20 | 2014-03-25 | The Trustees Of Princeton University | System and method for broadband RF interference cancellation |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5416594A (en) * | 1993-07-20 | 1995-05-16 | Tencor Instruments | Surface scanner with thin film gauge |
| US5691812A (en) * | 1996-03-22 | 1997-11-25 | Ade Optical Systems Corporation | Calibration standard for calibrating a defect inspection system and a method of forming same |
| US5773951A (en) * | 1996-03-25 | 1998-06-30 | Digital Test Corporation | Wafer prober having sub-micron alignment accuracy |
| US5966677A (en) * | 1997-02-28 | 1999-10-12 | Fiekowsky; Peter J. | High accuracy particle dimension measurement system |
| US5875027A (en) | 1997-03-28 | 1999-02-23 | Hitachi Electronics Engineering Co. | Sensitivity calibration disk for surface defect tester |
-
1999
- 1999-04-12 SE SE9901293A patent/SE514088C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-04-10 US US09/958,780 patent/US6646736B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-10 EP EP00923047A patent/EP1177427A1/en not_active Withdrawn
- 2000-04-10 WO PCT/SE2000/000683 patent/WO2000062044A1/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE9901293D0 (sv) | 1999-04-12 |
| EP1177427A1 (en) | 2002-02-06 |
| WO2000062044A1 (en) | 2000-10-19 |
| US6646736B1 (en) | 2003-11-11 |
| SE9901293L (sv) | 2000-10-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW229266B (sv) | ||
| EP1008831B1 (en) | Outdoor range finder | |
| US11060848B2 (en) | Measuring device, system, method, and program | |
| EP1816467A3 (en) | Lens inspection device | |
| JPS6175236A (ja) | 塗装面測定装置 | |
| CN114838815A (zh) | 一种多维度表征激光照明光均匀性的装置与方法 | |
| EP3355112A1 (en) | Device for high-speed monitoring of the process of production of nanofibers by electrostatic spinning | |
| JP2002090258A (ja) | レンズの検査方法及び装置並びにシステム | |
| US20100134791A1 (en) | Method and apparatus for measuring optical power of a light beam produced in a microscope | |
| US6646736B1 (en) | Method for calibrating equipment for detecting impurities in transparent material | |
| JPH06273344A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
| CN114757946A (zh) | 一种相机线性度的检测方法及系统 | |
| JPH10267858A (ja) | ガラス基板の欠陥の良否判定方法 | |
| JPH01219501A (ja) | Ccdカメラによる測長方法 | |
| JPH05308665A (ja) | テストパターン | |
| JPH01313743A (ja) | 着色周期性パターンの検査方法 | |
| JP4581529B2 (ja) | 等級判定方法 | |
| WO2002097507A3 (de) | Vorrichtung zur ermittlung eines ortsabhängigen intensitäts- und farbprofils und/oder schärfeprofils optischer linsensysteme | |
| JPS61107120A (ja) | 輝度計測装置 | |
| JP3227846B2 (ja) | 溶融ポリエチレン中の異物検出方法 | |
| JPH0245702A (ja) | 位置計測装置 | |
| JP2001147176A (ja) | プリズム不良検出方法及びプリズム不良検出装置 | |
| JPH02296185A (ja) | 視程計校正装置 | |
| JPH01178809A (ja) | 光学式位置検出方法 | |
| JPH02105019A (ja) | ビン内の液位検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |