SU1187705A3 - Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества - Google Patents
Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества Download PDFInfo
- Publication number
- SU1187705A3 SU1187705A3 SU803210742A SU3210742A SU1187705A3 SU 1187705 A3 SU1187705 A3 SU 1187705A3 SU 803210742 A SU803210742 A SU 803210742A SU 3210742 A SU3210742 A SU 3210742A SU 1187705 A3 SU1187705 A3 SU 1187705A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- nozzle
- sleeve
- adjacent
- gaseous media
- prismatic space
- Prior art date
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 title abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000008240 homogeneous mixture Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 3
- 241000826860 Trapezium Species 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/211—SnO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/212—TiO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
1. СОПЛО ДЛЯ НАНЕСЕНр .НА ПОДЛОЖКУ СЛОЯ ТВЕРДОГО ВЕЩЕСТВА, содержащее три расположенные р дом одна с другой камеры, предназначент ные дл приема газообразных сред и имеющие соответствующие выходные отверсти , прилегающие одно к друго-. му и сход щиес к общей зоне смешивани газообразных сред, расположенной за отверсти ми по ходу потока, отличающее с тем, что, с целью расширени его технологических возможностей и обеспечени возможности получени однородной смеси газообразных сред, выходные отверсти образованы продольными прорез ми , выполненными в усеченной вершине призматического пространства, причем смежные выходные отверсти разделены двум промежуточными ребрами, образованными кромками двух соответствукнцих металлических лент, располагающихс по всей высоте призматического пространства, при этом сопло снабжено опорными поверхност ми, установленными смежно с каждым концом этих лент, раздел ницих призматическое пространство на три равных объема, и средствами продольного нат жени металлических лент. 2.Сопло по п. 1, о т л и ч а ю § щ е е с тем, что средство продольного нат жени каждой ленты содержит (Л стержень с нарезкой, размещенной на одном из его концов, зажимное приспособление дл зажати конца соответствующей ленты, втулку с наружной винтовой нарезкой, установленную на другом конце стержн гайку и 1разме щенную между, гайкой и втулкой пружину , причем втулка установлена на сх стержне. ч о ел 3.Сопло по п. 1, отличающ .е е с тем, что сопло снабжено опорными стержн ми, консольно закрепленными одними концами и контактирующими с металлическими лентами другими концами.
Description
Изобретение относитс к соплу дл непрерывного нанесени на подложку
сло из твердого материала /стекла) в результате реакции по крайней мере двух реагентов, газообразных или во взвеси в газе.
Цель изобретени - расширение технологических возможностей к обеспечение .возможности получени однородной смеси газообразных сред.
На фиг. 1 изображено сопло, поперечный разрез; на фиг. 2 - продольный конец сопла, поперечный разрез; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. ..
Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества содержит узел 1, подачи, узел 2 разделени и узел 3 распределени , причем узел 1 подачи и узел 3 распределени упруго прикреп лены к узлу 2 разделени с помощью винтов 4, прижиманж(их тарельчатые пружинные шайбы 5. Между собранными узлами 1 - З расположены уплотнени 6.
Узел 1 подачи сопла содержит три камеры 7-9, проход щие вдоль сопла и имегацие кажда впускные отверсти 10. На фиг. 1 показано только впускное отверстие 10 камеры 8, так как остальные впускные отверсти камер 7 и 9 продольно смещены дл обеспечени креплени соответствующих подающих трубопроводов (не показаны).
Узел 2 разделени содержит множество вертикальных каналов 11, сообщающих камеры 7 - 9 с узлом 2 разделени .
На входе и выходе из вертикальных каналов 11 размещены, .прокладки 12 из губки с открытыми порами из терлона . Эти прокладки 12 служат дл создани больших потерь напора, предназначенных дл равномерного распределени газов по всей длине сопла.. Элемент 3 распределени содержит два профил 13 и 14, поперечные сечени которых выполнены в виде пр моугольной трапеции и расположены симметрично относительно средней вертикальной плоскости сопла, причем острые углы этих поперечных сечений прилегают к этой средней плоскости.
Наклонные поверхности этих двух трапеций образуют между собой призматическое пространство 15, треть сторона которого закрыта нижней поверхностью элемента 2 разделени . Выходы всех трех групп параллельных каналов
11 выход т в часть нижней поверхности элемента 2 разделени , образующую призматическое пространство 15.
Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества также содержит три расположенные р дом камеры 16 - 18, предназначенные дл приема газообразных сред и имеющие соответствующие выходные отверсти , прилежащие одно к другому и сход щиес к
общей зоне смешивани газообразных сред, расположенной.за отверсти ми 2 по ходу потока. Выходные отверсти камер 16 - 18 образованы продольными прорез ми, выполненными в усеченной вершине призматического пространства 15,причем смежные вьпсод-, ные отверсти камер 16 - 18 разделены двум промежуточными ребрами, образованными кромками двух соответствующих металлических лент 19 и. 20, располагающихс по всей высоте призматического пространства 15. Объемы трех камер 16 - 18 равны, а ленты 19 И 20 расположены таким образом, чтобы кажда камера 16 - 18 сообщалась через одну из групп вертикальных каналов 11 с камерами 7-9 соответственно . Камеры 16 - 18 отделены от соответствующих камер 7-9 герметично с помощью уплотнений 21 и 22, размещенных в продольных пазах 23 и 24, в которые введено одно из ребер лент 19 и 20.
Две .зажимные полосы 25 и 26,закрепленные винтами 27, прижимают соответствующие уплотнени 21 и 22 в пазах 23 и 24. В св зи с этим ребра лент 19 таким образом закреплены между кра ми пазов 23 и 24 и уплотнени ми 21 и 22.
Через сопло проходит лини циркул ции масла, впускной канал 28, который показан вместе с двум продольными каналами 29 и 30 циркул ции, выполненными в профил х 13 и 14 COOT ветственно. Лини циркул ции масла сообщаетс с внешней системой термостабилизации сопла с целью поддержани его температуры, примерно 110 С. . Кроме того, сопло снабжено опо1рными поверхност ми 31 и 32, предназначенными дл придани лентам 19 и 20 соответствующих углов наклона и установленными смежно с каждым концом лент 19 и 20, раздел ющих призматическое пространство 15 на три равных объема, и средством продольного нат жени металлических лент 19 и 20. Противолежащие концы лент 19 и 20 опираютс на две направл ющие, идентичные поверхности, расположенные на другом конце сопла. Опорные поверхности 31 и 32 закреплены перпендикул рно двум стенкам 33 и 34 соответственно , расположенным в продолжении корпуса сопла..
.Средство продольного нат жени лент 19 и 20 содержит стержень35 с нарезкой 36, размещенной на одном из его концов, зажимные приспособлени 37 и 38 дл зажати конца соответствующих лент 19 и 20, прикрепленные винтаЬш 39, втулку 40 с наружной 9ИНТОВОЙ нарезкой 41, установленную на другом конце стержн 35 гайку 42 и размещенную между гайкой 42 и втулкой 40 пружину 43, причем втулка 40 установлено на стержне 35. Втулка 40 ввинчиваетс в пластину 44, прикрепленную к обеим стенкам 33 и 34, расположенным в продолжении профилей 13 и 14 и несу|цим опорные поверхности 31 и 32. Резьбовые отверсти , в которые ввинчиваетс втулка 40, отклонены относительно вертикальной плоскости, проход щей через верщину призматического пространства 15, и образуют угол к этой плоскости, вследствие чего верщина этого угла находитс преимущественно на уровне опорных поверхностей 31 и 32. Втулка 40 жестко укреплена снаружи пространства между стенKSLtm 33 и 34 и пластиной 44.
Гайка 42 дл регулировани навинчена на наружный конец стержн 35, пружина 39 в виде тарельчатых пружин , ных шайб расположена между втулкой 40 и гайкой 42 дл предотвращени несвоевременного вращени регулировочной гайки 42.
Деталь 45 вформе треугольника, навинченна на конец элемента 3 распределени , расположена между опорными поверхност ми 31 и 32.и служит дл закрывани конца призматического пространства 15.
Учитыва ,ту силу нат жени и угол, под которым она воздействует на концы лент 19 и 20, последние плотно прижаты к опорным поверхност м 31 и 32 ив поперечном плане.приобретают наклон опорных поверхностей 31 и 32. Учитыва то, что точность опорных поверхностей может достигать высокой степени, в частности, в отношении
наклона и центровки усече.нной вершины призматического пространства 15, прижатие лент 19 и 20 к поверхност м с определенным нат жением позвол ет удерживать то же положение строго по всей длине сопла, вследствие чего зазор между трем ка,мерами 16 - 18, выполненньпчи между ребрами профилей 13 и 14, удерживаетс равномерным вне зависимости от расширени вследсвие сил упругого нат жени , воздействующего на ленты 19 и 20.
Сопло также снабжено опорными стерн ми 46, консольно закрепленными одними .концами и контактирукицими с металлическими лентами 19 и 20 другими .концами..
Стержни 46 проход т сквозь профили 13 и 14 параллельно поверхност м их сечений в форме пр моугольной трапеции и преимущественно наполовине расто ни от этих двух поверхностей. Стержни 46 предназначены дл оказани воздействи на ленты 19 и 20. Плбскостность в поперечном плане лент 19 и 20 не может быть совершенной, так как они об зательно получаю с путем отрубки . Силы резани , которые имеют место при этой операции, создают небольшую поперечную деформацию лент 19 и 20. Усилие нат жени , воздействующее на ленты 19 и 20, усиливает . эту деформацию между обеими опорными поверхност ми 31 и 32, сообща дугообразную форму, в поперечной плоскости лент 19 и 20. Стержни 46, распределительные по всей длине призматического пространства 15, предназна чены дл воздействи со стороны выпуклостей лент 19 и 20, которые ориентированы таким образом, чтобы эта вьшуклость была обращена в сторону стержней 46. Легкое усилие стержней 46 в середину лент 19 и 20 позвол ет восстановить плоскостность лент в поперечном плане, не наруша пр молинейности свободного ребра лент 19 и 20, нат нутых на обоих концах.
Особа тщательность должна быть уделена отделке деталей, образующих призматическое пространство 15, и лентам 19 и 20, раздел ющим это пространство, в частности тому, что касаетс состо ни поверхности этих деталей в цел х гарантировани ламинарности потока при его тангенциальном характере в стру х газа до их встречи в вершине призматического пространства 15, где должна произойти реакци и где находитс покрываема подложка. Кроме того, все поверхности, наход щиес в контакте с газообразными .реагентами, должны быть выполнены из материала, стойкого к коррозии, вызываемой этими газами. Все поверхнос ти, включа поверхности лент 19 и 20,позолочены путем нанесени гальваничес кого покрыти . Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества работает следующим образом. Газообразные или во взвеси в газе ре агенты подают в узел 1 11одачи,где они распредел ютс в камерах 7-9, затем в узел 2 разделени по вертикаль ным каналам 11 и потом в узел 3 распределени , где, проход в камеры 16 - 18, реагенты поступают к выходным отверсти м этих камер и вступают в контакт друг с другом в непосредст венной близости от подложки сло твердого вещества (стекла), доведенHoii до температуру, близкой к температуре реакции этих реагентов. Предлагаемое стекло предназначено дл изготовлени передних ветровых или задних стекол самодвижущихс ; транспортных средств, а именно автомобилей , так как дл них невозможно применение стекол, которые непрозрачны или недостаточно прозрачны или в которых неравномерные покрыти окислами металлов могут ухудшать видимость дл водител . При устранении обледенени такого стекла пропусканием электрического тока в покрывающем его металлическом слое падение напр жени вследствие элект рического сопротивлени этого сло должно быть минимальным, поскольку электрический ток должен подаватьс аккумул торной батареей с небольшой мощностью и низким напр жением (12 В). Испытани , проведенные с помощью такого сопла, позвол ют выполнить покрь;ти удовлетворительного качества и равномерности. 2 3
9- Jf
Ф12г.5 L f/7
Claims (3)
- Г. СОПЛО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ НА 'ПОДЛОЖКУ СЛОЯ ТВЕРДОГО ВЕЩЕСТВА, содержащее три расположенные рядом одна с другой камеры, предназначен-: ные для приема газообразных сред и имеющие соответствующие выходные отверстия, прилегающие одно к другому и сходящиеся к общей зоне смешивания газообразных сред, расположенной за отверстиями по ходу потока, отличающее ся тем, что, с целью расширения его технологических возможностей и обеспечения возможности получения однородной смеси газообразных сред, выходные отверстия образованы продольными прорезями, выполненными в усеченной вершине призматического пространства, причем смежные выходные отверстия разделены двумя промежуточными ребрами, образованными кромками двух соответствующих металлических лент, располагающихся по всей высоте призматического пространства, при этом сопло снабжено опорными поверхностями, установленными смежно с каждым концом этих лент, разделяющих призматическое пространство на три равных объема, и средствами продольного натяжения металлических лент.
- 2. Сопло по п. ^отличающееся тем, что средство продольного натяжения каждой ленты содержит стержень с нарезкой, размещенной на одном из его концов,' зажимное приспособление для зажатия конца соответствующей ленты, втулку с наружной винтовой нарезкой, установленную на другом конце стержня гайку и Щазме-, щенную между гайкой и втулкой пружину, причем втулка установлена на стержне.
- 3. Сопло поп. 1, отличающ е е с я тем, что сопло снабжено опорными стержнями, консольно закрепленными одними концами и контактирующими с металлическими лентами другими концами.с1 1187705 2
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1037779 | 1979-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1187705A3 true SU1187705A3 (ru) | 1985-10-23 |
Family
ID=4362579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU803210742A SU1187705A3 (ru) | 1979-11-21 | 1980-11-20 | Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества |
Country Status (16)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4361284A (ru) |
| EP (1) | EP0029809B1 (ru) |
| JP (1) | JPS5687451A (ru) |
| KR (2) | KR830004448A (ru) |
| AU (1) | AU544964B2 (ru) |
| CA (1) | CA1150749A (ru) |
| CS (1) | CS274255B2 (ru) |
| DD (1) | DD154584A5 (ru) |
| DE (1) | DE3066643D1 (ru) |
| ES (1) | ES8107052A1 (ru) |
| IT (1) | IT1134153B (ru) |
| MX (1) | MX153336A (ru) |
| PL (1) | PL129254B1 (ru) |
| SU (1) | SU1187705A3 (ru) |
| TR (1) | TR21534A (ru) |
| ZA (1) | ZA807242B (ru) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
| US4524718A (en) * | 1982-11-22 | 1985-06-25 | Gordon Roy G | Reactor for continuous coating of glass |
| EP0162842A1 (en) * | 1983-12-01 | 1985-12-04 | Shatterproof Glass Corporation | Gas distribution system for sputtering cathodes |
| US4928627A (en) * | 1985-12-23 | 1990-05-29 | Atochem North America, Inc. | Apparatus for coating a substrate |
| DE3869793D1 (de) * | 1987-01-27 | 1992-05-14 | Asahi Glass Co Ltd | Gaszufuehrungsrohr fuer die reaktive abscheidung aus der gasphase. |
| US4793282A (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Distributor beam for chemical vapor deposition on glass |
| US5136975A (en) * | 1990-06-21 | 1992-08-11 | Watkins-Johnson Company | Injector and method for delivering gaseous chemicals to a surface |
| DE4103413C1 (ru) * | 1991-02-05 | 1992-11-12 | Gunter M. 8918 Diessen De Voss | |
| US6379466B1 (en) * | 1992-01-17 | 2002-04-30 | Applied Materials, Inc. | Temperature controlled gas distribution plate |
| FR2724923B1 (fr) * | 1994-09-27 | 1996-12-20 | Saint Gobain Vitrage | Technique de depot de revetements par pyrolyse de composition de gaz precurseur(s) |
| JP3836217B2 (ja) * | 1997-05-21 | 2006-10-25 | 株式会社ベルデックス | 封止液供給器具および方法 |
| KR101309334B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2013-09-16 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 화학적 기상 증착 반응기용 멀티 가스 분배 인젝터 |
| DE102006043543B4 (de) * | 2006-09-12 | 2012-05-10 | Innovent E.V. | Homogenisator für der Beschichtung von Oberflächen dienende Gasströme |
| DE102006043542B4 (de) * | 2006-09-12 | 2012-05-16 | Innovent E.V. | Verfahren zum Beschichten von Oberflächen |
| EP2097153B1 (en) * | 2006-12-28 | 2017-02-22 | Korea Institute of Industrial Technology | Manufacturing method of filter media for medium and high temperature exhaust gas using foam coating technology |
| JP5116313B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2013-01-09 | 東洋刃物株式会社 | 塗布ヘッド |
| TW201011114A (en) * | 2008-05-19 | 2010-03-16 | Du Pont | Apparatus and method of vapor coating in an electronic device |
| WO2013019285A2 (en) * | 2011-03-23 | 2013-02-07 | Pilkington Group Limited | Apparatus for depositing thin film coatings and method of deposition utilizing such apparatus |
| CN102921600B (zh) * | 2012-11-30 | 2016-04-06 | 贵州贵航汽车零部件股份有限公司 | 涂油机涂油装置 |
| WO2019084125A1 (en) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | First Solar, Inc. | SYSTEMS AND METHODS FOR STEAM VAPORIZATION AND DISTRIBUTION |
| KR102786474B1 (ko) * | 2022-03-31 | 2025-03-27 | 참엔지니어링(주) | 노즐형 증착장치 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3511703A (en) * | 1963-09-20 | 1970-05-12 | Motorola Inc | Method for depositing mixed oxide films containing aluminum oxide |
| GB1282866A (en) | 1968-08-16 | 1972-07-26 | Pilkington Brothers Ltd | Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics |
| CH544156A (de) | 1971-04-16 | 1973-11-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | Verfahren zur Herstellung von oxydischen Halbleiterschichten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US3970037A (en) * | 1972-12-15 | 1976-07-20 | Ppg Industries, Inc. | Coating composition vaporizer |
| GB1516032A (en) | 1976-04-13 | 1978-06-28 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
| US4270702A (en) * | 1978-04-26 | 1981-06-02 | Albany International Corp. | Adjustable orifice air knife |
| CH628600A5 (fr) * | 1979-02-14 | 1982-03-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Procede pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide et installation pour la mise en oeuvre de ce procede. |
-
1980
- 1980-11-03 IT IT25742/80A patent/IT1134153B/it active
- 1980-11-05 MX MX184627A patent/MX153336A/es unknown
- 1980-11-07 US US06/204,806 patent/US4361284A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-11-14 AU AU64404/80A patent/AU544964B2/en not_active Ceased
- 1980-11-18 DE DE8080810354T patent/DE3066643D1/de not_active Expired
- 1980-11-18 EP EP80810354A patent/EP0029809B1/fr not_active Expired
- 1980-11-19 JP JP16212080A patent/JPS5687451A/ja active Granted
- 1980-11-19 TR TR21534A patent/TR21534A/xx unknown
- 1980-11-20 SU SU803210742A patent/SU1187705A3/ru active
- 1980-11-20 PL PL1980227980A patent/PL129254B1/pl unknown
- 1980-11-20 CA CA000365132A patent/CA1150749A/fr not_active Expired
- 1980-11-20 KR KR1019800004451A patent/KR830004448A/ko not_active Withdrawn
- 1980-11-20 ES ES497005A patent/ES8107052A1/es not_active Expired
- 1980-11-20 ZA ZA00807242A patent/ZA807242B/xx unknown
- 1980-11-20 DD DD80225360A patent/DD154584A5/de not_active IP Right Cessation
- 1980-11-21 CS CS797580A patent/CS274255B2/cs unknown
-
1985
- 1985-07-15 KR KR2019850008862U patent/KR860000024Y1/ko not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент DE № 2123274, кл. В 01 J 17/32, 12g, 17/32, опублик. 1972 (прототип). * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL227980A1 (ru) | 1981-09-04 |
| ZA807242B (en) | 1981-11-25 |
| DD154584A5 (de) | 1982-04-07 |
| US4361284A (en) | 1982-11-30 |
| DE3066643D1 (en) | 1984-03-22 |
| MX153336A (es) | 1986-09-22 |
| ES497005A0 (es) | 1981-10-01 |
| CS797580A2 (en) | 1990-09-12 |
| IT1134153B (it) | 1986-07-31 |
| EP0029809B1 (fr) | 1984-02-15 |
| KR860000024Y1 (ko) | 1986-01-30 |
| JPS5687451A (en) | 1981-07-16 |
| CA1150749A (fr) | 1983-07-26 |
| CS274255B2 (en) | 1991-04-11 |
| KR830004448A (ko) | 1983-07-13 |
| IT8025742A0 (it) | 1980-11-03 |
| AU6440480A (en) | 1981-05-28 |
| ES8107052A1 (es) | 1981-10-01 |
| PL129254B1 (en) | 1984-04-30 |
| TR21534A (tr) | 1984-08-22 |
| AU544964B2 (en) | 1985-06-27 |
| JPS6148988B2 (ru) | 1986-10-27 |
| EP0029809A1 (fr) | 1981-06-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU1187705A3 (ru) | Сопло дл нанесени на подложку сло твердого вещества | |
| US4310408A (en) | Electrophoresis chamber | |
| CA1101171A (en) | Film-forming head | |
| US3814631A (en) | Framed electrodes containing means for supplying or draining liquid along the edge of an electrode | |
| US5039386B1 (en) | Electrophoretic method for preparative separation of charged molecules in liquids | |
| KR880003654A (ko) | 수평류를 사용하는 크로마토그래피 컬럼 | |
| US6471775B1 (en) | Slit nozzle for coating trips of material, especially paper or board strips, with a pigment coating | |
| US4880163A (en) | Gas feeding nozzle for a chemical vapor deposition apparatus | |
| US5131994A (en) | Electrophoresis method and apparatus | |
| US5234500A (en) | Liquid distribution system for photographic coating device | |
| EP0173772B1 (en) | Extruder for foamed liquids | |
| US3509035A (en) | Continuous particle electrophoresis cell | |
| US4768695A (en) | Air bar for paper web handling apparatus and having an air distributing chamber and perforated plate therefor | |
| CN115780179A (zh) | 涂胶机构及其胶层涂覆装置 | |
| JPH08103711A (ja) | ダイコータ | |
| US5131997A (en) | Capillary zone electrophoresis cassette | |
| JPS6471156A (en) | Cooling system for semiconductor | |
| US4453654A (en) | Continuous casting nozzle with transverse reinforcement structure | |
| SU895535A1 (ru) | Экструзионна щелева головка | |
| RU2047333C1 (ru) | Мембранный аппарат | |
| SU835523A1 (ru) | Экструзионна щелева головка дл нане-СЕНи пОКРыТий HA гибКиЕ пОдлОжКи | |
| EP0376922A1 (en) | Ink jet recording apparatus | |
| SU1736626A1 (ru) | Экструзионное поливное устройство | |
| GB1015754A (ru) | ||
| FI81507C (fi) | Bestrykningsanordning foer att oeverdraga loepande aemnesbanor. |