SU1817659A1 - Устройство для совмещения и экспонирования - Google Patents

Устройство для совмещения и экспонирования

Info

Publication number
SU1817659A1
SU1817659A1 SU4914986/21A SU4914986A SU1817659A1 SU 1817659 A1 SU1817659 A1 SU 1817659A1 SU 4914986/21 A SU4914986/21 A SU 4914986/21A SU 4914986 A SU4914986 A SU 4914986A SU 1817659 A1 SU1817659 A1 SU 1817659A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
desk
socket
substrate
mask
sealed
Prior art date
Application number
SU4914986/21A
Other languages
English (en)
Inventor
А.И. Чиркунов
А.Н. Витовтова
Original Assignee
Центральный научно-исследовательский институт "Гранит"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Центральный научно-исследовательский институт "Гранит" filed Critical Центральный научно-исследовательский институт "Гранит"
Priority to SU4914986/21A priority Critical patent/SU1817659A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1817659A1 publication Critical patent/SU1817659A1/ru

Links

Landscapes

  • Multi-Conductor Connections (AREA)

Abstract

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть преимущественно использовано при изготовлении прецизионных микросхем, например фильтров на поверхностных акустических волнах, методом фотолитографии. Целью изобретения является повышение качества экспонирования за счет обеспечения более равномерного и плотного прижатия подложки к фотошаблону. В устройстве для совмещения и экспонирования после размещения подложки 9 на столике 3 и установки фотошаблона 10 между фотошаблоном и столиком образуется гермитичная полость, сообщающаяся со средством создания вакуума. В столике в месте размещения подложки выполнено гнездо 4 для размещения подложки, связанное через отверстие 3 с внешней средой и загерметизированное сверху эластичной мембраной 5, жестко закрепленной в боковых стенках по периметру гнезда 4 столика 3. Расстояние между боковыми стенками гнезда 4 столика 3 и боковой поверхностью подложки 9 составляет не менее 2t, где t - толщина эластичной мембраны 5. 2 ил.
SU4914986/21A 1991-02-28 1991-02-28 Устройство для совмещения и экспонирования SU1817659A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4914986/21A SU1817659A1 (ru) 1991-02-28 1991-02-28 Устройство для совмещения и экспонирования

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4914986/21A SU1817659A1 (ru) 1991-02-28 1991-02-28 Устройство для совмещения и экспонирования

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1817659A1 true SU1817659A1 (ru) 1996-03-27

Family

ID=60537108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4914986/21A SU1817659A1 (ru) 1991-02-28 1991-02-28 Устройство для совмещения и экспонирования

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1817659A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2378807C1 (ru) * 2008-12-02 2010-01-10 Александр Иванович Таран Способ совмещения элементов многокристальных модулей для капиллярной сборки и установка для его реализации
EA014277B1 (ru) * 2008-12-02 2010-10-29 Александр Иванович Таран Способ совмещения элементов многокристальных модулей для капиллярной сборки и установка для его реализации
RU2674405C1 (ru) * 2018-01-09 2018-12-07 Публичное акционерное общество "Сатурн" (ПАО "Сатурн") Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2378807C1 (ru) * 2008-12-02 2010-01-10 Александр Иванович Таран Способ совмещения элементов многокристальных модулей для капиллярной сборки и установка для его реализации
EA014277B1 (ru) * 2008-12-02 2010-10-29 Александр Иванович Таран Способ совмещения элементов многокристальных модулей для капиллярной сборки и установка для его реализации
RU2674405C1 (ru) * 2018-01-09 2018-12-07 Публичное акционерное общество "Сатурн" (ПАО "Сатурн") Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW353220B (en) Silicon nitride circuit board and semiconductor module
DE59913703D1 (de) Operationstischsystem
IT1152691B (it) Telaio conduttore per un microfono a elettrete
DE69322622D1 (de) Poröse metallfiber-platte
GB8727072D0 (en) Moisture barrier assembly
MY129779A (en) Adjustable mounting system
TR28204A (tr) Masa veya kapak plakasi.
ID24274A (id) Metoda pembuatan papan sirkuit, peralatan dan pembuatannya dan lembaran berpori yang dipergunakan didalamnya
SU1817659A1 (ru) Устройство для совмещения и экспонирования
SE9200601L (sv) Effekthalvledarventilanordning för utomhus placering
ATE255803T1 (de) Gerät mit elektroakustischem wandler in einer pc- platine montiert mit hilfe von halteeinrichtungen
GB2257600B (en) Planar board diaphragm for electro-acoustic transducers
JPS577931A (en) Method for measuring gap
DE3671192D1 (de) Schichtpresse.
AU1181488A (en) Somatic musical exposure system
JPS56116394A (en) Speaker system
MY146202A (en) Mounting surfaces for electronic devices
JPS57205728A (en) Exposure device
JPS54143636A (en) Printer
SE8300371L (sv) Hogtalare
JPS648619A (en) Vacuum chuck jig for x-ray mask
JPS52131189A (en) Electric connector
JPS5497457A (en) Alarming device of watch
JPS5739545A (en) Semiconductor device
WO2004010225A3 (fr) Machine d'exposition de panneaux de circuit imprime