SU231005A1 - Способ получения антидинатронного покрытия на керамике - Google Patents
Способ получения антидинатронного покрытия на керамикеInfo
- Publication number
- SU231005A1 SU231005A1 SU1154752A SU1154752A SU231005A1 SU 231005 A1 SU231005 A1 SU 231005A1 SU 1154752 A SU1154752 A SU 1154752A SU 1154752 A SU1154752 A SU 1154752A SU 231005 A1 SU231005 A1 SU 231005A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ceramics
- coating
- antidinatronic
- obtaining
- dinatron
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title description 13
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 5
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
Способ относитс к технологии получени антидинатронного покрыти на алюмооксидной керамике, например, дл подавлени вторичного электронного резонансного разр да на керамических выводах энергии.
Известны способы получени антидинатронноро- покрыти на керамике нанесением тон кой пленки металла (титана, золота и др.) обычно путем распылени их в вакууме. Толщина распыленного металла должна находитьс в строго определенных пределах, что технологически трудно осуществимо, особенно на издели х сложной конфигурации. Кроме того, металлическое покрытие вызывает дополнительные омические потери и, следовательно , нежелательный дополнительный разогрев керамики.
Предлагаемый способ получени антидинатронного покрыти отличаетс тем, что на керамические издели нанос т порощкообразный диэлектрик, например нитрид бора, а затем провод т термообработку в защитной среде при температуре 700-ИОО С в зависимости от типа керамики.
Благодар этому толщина покрыти может колебатьс в щироких пределах, покрытие не ухудщает диэлектрических свойств керамики и, следовательно, не вызывает дополнительных потерь. Последнее обусловлено высокими
диэлектрическими свойствами самого покрУ ти - нитрида бора.
Способ осуществл ют, например, следующим образом.
Порошкообразный нитрид бора обрабатывают сол ной кислотой и гор чей дистиллированной водой дл очистки от примесей и тщательно высущивают при температуре 100°С. Очищенный и высущенный порощок нитрида
бора смещивают с биндером в мешалке. Полученную суспензию нанос т на керамику пульверизацией, окунанием или намазкой в зависимости от вида покрываемых изделий. Нанесенное покрытие закрепл ют путем термической обработки в защитной среде (азот, водород, формиргаз или аммиак) при температуре 700-1400°С в зависимости от вида керамики . Испытание образцов с покрытием нитрида
бора в резонаторах показало резкое снижение резонансного электронного тока.
Предмет изобретени
Способ получени антидинатронного покрыти на керамике, отличающийс тем, что, с целью снижени разогрева керамики, на ее поверхность нанос т слой диэлектрика, например нитрида бора, а затем провод т термообработку в защитной среде при температуре 700-1400°С в зависимости от типа керамики.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU231005A1 true SU231005A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4955135A (en) | Method of making matrix composites | |
| US6861164B2 (en) | Environmental and thermal barrier coating for ceramic components | |
| JPH04221074A (ja) | 炭化ケイ素コーティングの形成法 | |
| SU231005A1 (ru) | Способ получения антидинатронного покрытия на керамике | |
| US4159357A (en) | Process for surface treating parts made of ceramic material | |
| Azema et al. | Oxidation stages of aluminium nitride thin films obtained by plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD) | |
| US3450574A (en) | Method of coating refractory wares with magnesia | |
| US4327131A (en) | Method of coating a ceramic substrate | |
| US4902536A (en) | Method of producing a protective layer on a structural part | |
| RU2724291C1 (ru) | Способ подготовки поверхности подложки из алюмонитридной керамики под тонкоплёночную металлизацию | |
| SU243081A1 (ru) | Способ получения антидинатронного покрытия на керамике | |
| JPS5946310B2 (ja) | 熱処理された銅被膜の酸化防止法 | |
| RU2070616C1 (ru) | Способ получения защитного покрытия на основе оксидов металлов на поверхности материалов и изделий | |
| JPS61288060A (ja) | 減圧プラズマア−ク溶射方法 | |
| JPS63318760A (ja) | 高放熱性絶縁基板 | |
| JPH059395B2 (ru) | ||
| JP4026676B2 (ja) | 電子回路用部材およびその製造方法 | |
| JPS62250179A (ja) | セラミツクス上への表面処理方法 | |
| RU2069915C1 (ru) | Способ изготовления вторично-эмиссионного катода | |
| CH516002A (fr) | Procédé pour former un revêtement résistant à la corrosion sur une bande d'acier et bande d'acier revêtue par ce procédé | |
| JPH01145386A (ja) | 黒鉛るつぼ | |
| JPH0450186A (ja) | 窒化アルミニウム基材への金属化層形成方法 | |
| RU2089961C1 (ru) | Способ нанесения покрытия из нитрида алюминия | |
| JP2000294696A (ja) | 電子回路用部材およびその製造方法 | |
| RU1786185C (ru) | Способ защиты стальных изделий от коррозии |