SU367755A1 - Электродуговой испаритель металлов - Google Patents

Claims (2)

1. Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме. Известен электродуговой испаритель металлов , содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод. Однако, в таком испарителе значительна  часть паров вылетает в пределах угла О- 45° к испар емой поверхности, т. е. испарение не подчин етс  закону косинуса, что снижает экономичность испарител  из-за потерь металла в стороны, загр зн ет камеру и может привести к зарастанию зазора между катодом и дополнительным анодом. Целью изобретени   вл етс  повышение качества покрытий и иадежности работы. Достигаетс  это тем, что катод выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхн   кромка катода расположена не выще верхней кромки дополнительного анода. На чертеже представлен предлагаемый электродуговой испаритель металлов, общий вид. Испаритель состоит из корпуса-анода 1, внутри которого расположены катод 2, поджигающее устройство 3 и дополнительный анод 4, расположенный коаксиально с катодом
2. 2. Катод 2 выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхн   кромка катода расположена не выще верхней кромки дополнительного анода 4. После откачивани  воздуха из камеры до высокого вакуума кратковременным прикосновением поджигающего устройства к верхней кромке катода зал игают электрическую дугу. Катодное п тно сбегает внутрь полости катода и начинает гореть на дпе стакана, испар   его. Часть испарившегос  металла конденсируетс  на стенках стакана. Катодное п тно сразу же переходит на эти пленки, выжигает их и возвращаетс  на дно стакана. Этот процесс все врем  повтор етс . Стенки стакана испар ютс  при этом незначительно. При горении катодного п тна на нанесенных пленках брызги металла отсутствуют, т. е. происходит его полное испарение. Таким образом, стенки стакана способствуют более полному испарению металла и преп тствуют вылету паров и брызг в стороны. Наличие легкоиспар емых пленок также приводит к стабилизации горени  дуги. Формула изобретени  Электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод, расположенный коаксиально с катодом, о т л и чаю и, и и с   тем.

   что, с целью повышени  качества покрытии и надежности работы, катод выполнен в- виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхн   кромка катода расположена не выше верхней кромки дополнительного анода.