SU484632A1 - Модул тор дл питани газоразр дного источника ионов - Google Patents

Description

щей с дополнительной катушкой индуктивности 10 понижающий трансформатор. В канал унравлени  коммутирующим вентилем 2 вход т генератор И занускающих сдвинутых имнульсов, логический элемент И-НЕ 12, формирователь 13 управл ющих импульсов и одиовибратор 14.

Работает модул тор дл  питани  газоразр дного источника ионов следующим образом .

Генератор 11 вырабатывает три непрерывные последовательности или серии сдвинутых один относительно другого импульсов дл  управлени  коммутирующим 2, выключающим 6 и перезар дным 8 вентил ми. Когда высоковольтный источник питани  5 еще не включен, одновибратор 14 не позвол ет пусковым импульсам генератора 11 пройти логический элемент И-НЕ 12, поэтому импульсы включени  коммутирующего вентил  2 не вырабатываютс , тогда как на выключающий 6 и перезар дный 8 вентили управл ющие импульсы поступают. Если теперь зар жать накопительный конденсатор 4, то сначала в-ключитс  выключающий вентиль и конденсатор 7 зар дитс  через токоограничивающий резистор 3 до напр жени , которое мепьще напр женн  на накопительном конденсаторе примерно иа величину падени  напр жени  на вентиле, после чего вентиль 6 самовыключаетс . Затем включаетс  вентиль 8, который перезар жает конденсатор 7 через катущку индуктивности 9. Этот цикл повтор етс  до тех пор, пока импульс напр жени  с дополнительной катущки индуктивности 10 не достигнет уровн , при котором запускаетс  одновибратор 14.

Хронируюп;а  цепь одновибратора должна обеспечивать длительиость неустойчивого состо ни  равновеси , т. е. длительность его импульса, превыщающего период частоты повторени  импульсов модул тора- Тогда следующий пусковой имлульс генератора 11 проходит логический элемент И-НЕ 12, возвращает одновибратор 14 в исходное состо ние и запускает формирователь управл ющих импульсов 13, последний включает коммутируюпий вентиль 2, но вл етс  напр жение на разр дной камере источника ионов 1. Индуктивность катущки 9 и ее св зь с дополнительной катушкой 10 выбираетс  так, чтобы включение коммутирующего вентил  произощло после -прохождени  начального участка напр жений па накопительном конденсаторе 4. Поэтому, когда через промежуток времени, равный длительности импульса на разр дной камере источника ионов, включаетс  выключающий вентиль 6, к коммутирующему вентилю прикладываетс  импульс

обратного напр жепи  уже достаточно больщей длительности, чтобы он выключилс . Далее включаетс  перезар дный вентиль 8, запускаетс  одновибратор 14 и процессы повтор ютс .

Когда модул тор дл  питани  газоразр дного источника ионов работает группами импульсов , то после прохождени  последнего импульса в группе одновибратор, оставшийс  в состо нии неустойчивого равновеси , возвращаетс  в исходное через врем , определ емое его хронирующей цепью. Ноэтому при поступлении следующей группы .пусковых импульсов сначала выполн етс  описанный выще неполный цикл, т. е. срабатывают только вентили 6 и 8, перезар жаетс  конденсатор 7 и запускаетс  одновибратор, а формирование импульсов на разр дной камере начинаетс  со второго цикла.

Предмет изобретени 

Модул тор дл  питани  газоразр дного источника ионов, содержащий источник питани , выход которого, шунтированный накопительным конденсатором, подключен через токоограничивающий резистор к катоду коммутирующего управл емого вентил , в цепь анода которого включена нагрузка, выключающий управл емый вентиль, подключеипый между точками соединени  токоограничивающего резистора с катодом коммутирующего управл емого вентил  и одного из полюсов источника питаии  с нагрузкой, в цепь анода которого включен конденсатор, шунтированный последовательно соединенными перезар дными управл емым вентилем и катущкой индуктивности, генератор запускающих сдвинутых импульсов, два выхода которого подключены соответствепио к управл ющим электродам выключающего и перезар дного вентилей, отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности модул тора при колебани х напр жени  питани , в него введены дополнительна  катущка индуктивности , одновибратор, логический элемент И-НЕ, формирователь управл ющих импульсов , причем дополнительна  катушка индуктивности , магнитно св занна  с перезар дной катущкой индуктивности, подключена через резистор к одному из входов одновибратора , выход которого соединен с одним из входов логического элемента И-НЕ, другой вход которого подключен к третьему выходу генератора запускающих сдвинутых импульсов, а выход логического элемента подсоединен к другому входу одиовибратора и через формирователь управл ющих импульсов к управл ющему электроду коммутирующего вентил .