TH65872B - สารผสมนอนแอคเควียสแบบไม่กัดกร่อนเพื่อการทำความสะอาดวัสดุไมโครอิเล็กทรอนิกส์ - Google Patents

Abstract

DC60 (06/09/59) ได้มีการจัดเตรียมสารลอกโฟโตรีซิสต์ และสารผสมทำความสะอาดปลายย้อนกลับโดย สารผสมทำความสะอาดนอนแอคเควียสที่ไร้กรดอะมิโนที่โดยสาระสำคัญแล้วไม่กัดกร่อนทองแดง รวมทั้งอะลูมินัมและที่ประกอบรวมด้วยตัวทำละลายอินทรีย์มีขั้วอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด, อะมีน อินทรีย์ที่ถูกไฮดรอกซิเลตอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด และสารประกอบตัวยับยั้งการกัดกร่อนอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดที่มีหมู่เชิงหน้าที่ไฮดรอกซิลหลายหมู่ซึ่งเป็นสารประกอบในสูตร T1[(CR1R2)m-(CR3R4)n]p-(CR5R6)q-T2 โดยที่ R1 และ R2 อย่างน้อยที่สุดหนึ่งหมู่ คือ OH, และถ้า R1 และ R2 หนึ่งหมู่ไมใช่ OH แล้ว จะถูก คัดเลือกจาก H, แอลคิล หรือแอลคอกซี, m คือ จำนวนเต็มทั้งหมดที่รวม 1 หรือมากกว่านั้น, คัดเลือก R3 และ R4 จาก H ,แอลคิล หรือแอลคอกซี, n คือ 0 หรือจำนวนเต็มบวกทั้งหมดที่มากกว่านั้น , p คือ จำนวนเต็มทั้งหมดที่รวม 1 หรือมากกว่านั้น , R5 และ R6 อย่างน้อยที่สุดหนึ่งหมู่ คือ OH และถ้า R5 และ R6 หนึ่งหมู่ไม่ใช่ OH แล้วควรคัดเลือกจาก H, แอลคิล หรือแอลคอกซี, q คือ จำนวนเต็มทั้งหมด ที่รวม 1 หรือมากกว่านั้น, คัดเลือก T1 และ T2 จาก H ,หมู่แอลคิล, ไฮดรอกซีแอลคิล,พอลิไฮดรอกซี แอลคิล, อะมิโนแอลคิล, คาร์บอนิลแอลคิล หรืออะมีด หรือ T1 และ T2 อาจได้รับการเชื่อมต่อกันเพื่อ ก่อรูปโครงสร้างซึ่งคัดเลือกจากวงอะลิฟาทิก หรือโครงสร้างวงที่หลอมรวมและอย่างเป็นทางเลือก แล้ว คือ ตัวทำละลายร่วมที่มีไฮดรอกซิลหนึ่งชนิด หรือมากกว่านั้น, สารประกอบอะริลเพื่อการยับยั้ง การกัดกร่อนที่มีหมู่ OH, OR6 และ/หรือ SO2R6R7 สองหมู่ หรือมากกว่านั้นซึ่งเกิดพันธะอย่างโดยตรง กับแหวนอะโรมาทิกโดยที่อย่างเป็นอิสระแล้ว คัดเลือก R6,R7 และ R8 แต่ละหมู่จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแอลคิล และอะริล, ตัวกระทำให้เป็นสารเชิงซ้อนของโลหะ, สารประกอบยับยั้งการ กัดกร่อนโลหะชนิดที่แตกต่างกัน และสารลดแรงตึงผิว

Claims (1)

1. ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :