TW201007718A - Magnetic recording media and magnetic recording and reproducing apparatus - Google Patents

Description

201007718 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種可使用於硬碟裝置等物件中的磁性記錄媒 體以及磁性記錄再生裝置。 【先前技術】 近年來，磁碟裝置、軟碟裝置、磁帶裝置等磁性記錄裝置的 適用範_顯擴大’其重要性益增，同時該等裝置所使用的磁性 記錄媒體，其記錄密度亦不斷提高。特別是，自從導入磁阻 (magnetoresistance ;皿）磁頭以及部分響應最大可能性（gw response maximum likelihood ; PRML)技術以來，平面記錄密度更 是急遽地增加，近年來更導人巨磁阻（GiantMagnetQResistive ; GMR^)磁頭、穿隨式磁阻（丁咖物^施明伽―論e ; ，頭等技術，記錄空間遂以1年約1〇〇%的速度持續增加。對於該 ^磁性記錄媒體而言，今後將會繼續要求其達到更高的記錄密 故必祕求其雜層翻高矯獅力化、高喊對雜訊比 (，al-t_ise rati0 ; SNR)與高解析能力。又，近年亦持續朝 錄密度同時增加磁轨密度藉以提高平面記錄密度的技術 方向努六。 而讲ί ^磁3記錄裝置+ ’磁執密度甚至可達110kTPI。然 ’相_執之間的磁性記錄資訊會互相干擾， 二域的磁化遷移區域會成為雜訊源而損及SNR。這個問題 ⑽⑽提高，進而對記錄密度的提高造成 位亓的記軸度’必須讓雜記錄雜上的各記錄 磁化靜細微’並在各記錄位元盡可能麵最大的飽和 的磁化糾層厚度。然而’記錄位元越細微化，每1位元 r ’會產生熱擾動所造成之反向磁挪^ 置便i要ΐϊίϊϊΐ，軌之間的距離就越接近，磁性記錄裝 而要精確度非常_磁_服器技術。又，為了盡可能排除 201007718 二般多使用以廣範圍方式執行記錄，並以比記 塑抑^、方式貫仃再生的方法。該方法雖可將磁軌之間的影 的輸:了 ϊίΐ，擾動問題，確保充分的sn比，或是確保充分 的凹凸’ 二二種方法，其在記錄媒體表面上形成沿著磁執 产執之間在物理上或磁性上分離，以期提高 錄媒=====散式魏法，其所製造的磁性記 部盘執1錄媒體一個習知實施例，其在具備複數凸 層上，且描i基板之形狀的凹凸形成於軟磁性層以及強磁性 ⑽如斷分開的強磁性層的凸部#作記錄區域 故不性記錄媒體’便能抑制軟磁性層發生磁壁現象， iL ii動的影響，相隣訊號之間也不會互相干擾，如i便 月b夠形成雜訊較少的高密度磁性記錄媒體。 從記錄舰㈣造錢，可先讀層_構成磁性 ιϊί體’之後在其上形成雜，·或是縣在基板表面 j磁二=媒體的薄膜;或是在磁執形成用薄膜層:形成=圖 被稱為壓紋加工法 為性層加工法。另外，後者經常 成表找，，在形 浮動特性相當穩定優異，此為車 面2，’=性磁頭的 製造磁性記觸體的情況下，#在 ^、=職方法 變平滑的時候，很可能會污染到磁性材料讓表面 部内填充非磁性材料，其製造程序複雜，㈣費工，會m 201007718 記錄媒體的成本。 又，離散式磁性記錄媒體的製造方 士 離子或是照射雷射等方式，以局部改=磁由從外部注入 2特定處所的磁性，並形成記錄磁磁性 獻4)。當採用該方法時，即使 （乡照例如專利文 執，故磁性記錄媒體的表面很平滑、。，材料也能形成記錄磁 媒體又其的離散式磁執記錄 =該圖案（參照例如專利文獻 技術’則由於磁頭滑動部的故區係不 己载的 能改善磁糖動部的浮動穩H 凸圖案的區域’故 另外，峨有雜記錄舰的補裝置， 媒體以漏—以上的職婦，並翻 ^浮動。在硬碟裝置中當磁性記錄媒體停止 ，’磁頭與磁性記錄媒體會接觸。此時，若對^不二 及磁性記!;媒體表面十分平滑的話，兩而己= 的吸附在-起’這時’即使再次啟動硬碟裝置 ^ 無法讓磁性記錄媒體旋轉的情況。因此，在硬碟 ，性記錄媒體旋轉停止時讓磁頭自動從磁性記^媒體表面$ 或退開的機構，献’在雖記錄舰表面特定部位設置即使磁 頭接觸也不會吸附住的表面粗糙區域（刻紋區域）。 【習知技術文獻】 ° 【專利文獻】 [專利文獻1] [專利文獻2] [專利文獻3] [專利文獻4] [專利文獻5] 曰本特開2004-164692號公報 曰本特開2004-178793號公報 曰本特開2004-178794說公极 曰本特開平5-205257號公极 曰本特開2006-031850號公報 201007718 . 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] 然而，專利文獻4所記載的技術，比起在各 ，溝槽分離的技術而言，可能有無法將各記錄執： 斷的非常充分的疑慮存在。 调執之間的磁性分 又，專利文獻5所記載的技術，係在磁性碑 :己錄層的圖案的凹凸，雖然可用溝槽分離記錄::表 的洋動特性無法非常穩定。 ㉟但有B守磁頭 有鑑於該等情事，本發明之目的在 •須實施在凹部填充非磁性材料的= 各率進行製造’並可利用凹狀分離區域將構成磁性ί的 錄密Ϊ而且’磁頭浮動特性的狱性優異，以對應高記 斑-5^ :本發明之目的在於提供—種磁性記錄再生裝1：，可隊狀 磁頌的洋動量，穩定性高，且記錄密度高。珊可降低 [解決問題之技術手段] m 龄開發出—種磁性記錄舰的製造方法，其在磁性声 的表面上设置對應磁性記錄圖案的遮罩層，並讓未祐層 本發明人# = ^產學應，使部份磁性層消磁。然後， 面，;與氧#物質發生化學反應的反應^域ΐ j曰加氧等物質與磁性層的反應性。 '衣 錄媒表面’在所得到的磁性記 B车，斑薛便形成凸。當磁性記錄媒體的表面上有Π0Λ 平滑為佳。' ^而特定性會降低’故磁性記錄媒體的表面宜 充非磁性材表面平滑’料凹部填 被污，問題，或是i造程序變ί雜的磁性記錄媒體的表面 硬磾=巾本’在使絲面上具有凹凸之磁性記錄媒體的 裝置中崎臟常發生難_的_，財解決之 1的 7 201007718 結果，發現當磁頭在磁性記錄媒體的磁性記錄區域浮 會在資料區域翻服資題域的分界雜產生鶴。又^ 頭從磁性記錄媒體的著陸區域移動到磁性記錄區域上[ζ 在資料區域與伺服資訊區域的分界部減生振動，而磁頭合& 與磁性記錄媒體瞬間接觸而損壞。 、9 口為 具體而言發現：例如，在資料圖案為規則之凹凸 圖案為不規則之凹凸形狀的離散式磁性記錄媒體中， 磁上 可被溝槽磁性分離，在剌從伺服f訊區域 &區^ J是從資料區域移動到舰資訊區域時，容易導穩 - 疋性，可藉由讓資料區域中的資料圖案的形狀盘伺服 圖案的形狀最佳化，而有某種程度的鮮。铁 二檢討’即使讓資料圖案以及伺服圖案的 從資料f伽全消除該不穩定性。特別是’防止磁頭在 又，在磁職退避位置移_雜記舰域時，而且從t 服貝訊區域時’防止磁頭瞬間接觸磁性記錄媒體，是

為了，決關題，遂考慮在磁性記錄媒體上設置不凹凸 ，案的區域作為著陸區域以提高著陸區域的磁 的I 訊區域時，磁頭與磁性記錄媒體接觸的可能性進舰貝 又，習知技術提供一種方法，其讓著； 形成紋理區域，藉此讓著陸區域的 面粗奴化 微下降。然而’即使在設置表猶 要讓著陸H域與磁性記舰域中的_浮_性完全相^也是很 困難的，無法充分獲得磁_浮_性的穩定性。 提古本;:^』:：决5亥問題’並讓磁頭的浮動特性的穩定性 “防止磁頭與磁性記錄媒體接觸，專心致力進行檢討。結果 201007718 發現，在著陸區域設置凹凸圖案，該凹凸圖案具 白j形狀與資料區域的資料圖案的凸部的形狀才目同，這樣就^^ =區，與磁性記錄區域中的磁頭浮動特性近似。該等磁性^ ίΞ生i頭從者陸區域移動到磁性記錄區域之前，在著陸區域 頭的浮動敎，之後，讓磁頭移動到磁性記錄區域 m 頭從著陸區域移動到磁性記錄區域時在資料區域 :爹分界部位所產生的磁頭振動，同時防止磁頭從 2 ίί之 訊區域時，磁頭與磁性記錄媒體瞬間接觸。 亦即，本案發明相關内容如下所述。 Ο t本iW種磁性記錄舰’其特徵為··在醜狀基板的至少-诚二㈣設ΐ81環狀的磁性記錄區域，以及沿著該磁性記錄區 所構成’該凸部由磁性層所構成，該凹狀分離 月的周圍，伺服資訊區域設置有飼服圖案，該飼 ππ木户二U分離區域所構成’且俯視形狀與該資料圖案 區域的至少—部份上，設置具備凸部的凹凸圖案^ 該凸邰的形狀與該資料圖案的凸部的形狀相同。 /、 _ 且右ϋ如乂?所記載的磁性記錄媒體，其中，該著陸區域不 /、有實質上與關服圖案的凸娜狀_的凸部。 (3)如（1)或（2)所記載的磁性記錄媒體，其中，資 資訊區域、該著陸區域的各區域中的該分離區域i 面積比率的最大値與最小値的差，在10如以下。 好次⑴〜⑴中任1項所記載的磁性記錄媒體，其中， :?伺服資111區域、該著陸區域的各區域中的該分離 &域的面積比率，均在10%〜50%的範圍内。 〜（4)中任1項所記載的磁性記錄媒體，其中， 該貧料區域中的凸部為磁執部。 柄#(1)〜（5)中任1項所記載的磁性記錄媒體，其中， 相對该凸和該分離區域的深度在O.lrnn〜15nm的範圍内。 201007718 方式耸Sΐ、有由朝該基板的圓周方向以帶狀 方1=:=區域== 項所記載的磁性記錄媒體；朝記鉢太& ()中任1 =作部所構成_頭’讓 ==的磁頭輸順並再生該磁 〗項：二磁二錄:體體的包製;方=^ 域的該磁性層的的 [對照先前技術之功效] 若按照本發明的磁性記錄媒體， 上，設置由凸部與分離區域所構成的資料^ >方表面 圖案，且在該著陸區域的:構圖案、凹凸 凸部的凹凸圖案，以 ❹ 在資料區域』 錄媒體接觸。 心 優，、，可防止磁頭與磁性記 區域i飼性體’在磁性記錄區域上設置有資料 由凸部區域設置有資料圖案，該資料圖案 ====服資訊區域二有= 離，確實鱗各凸層觸摘各凸部分 】0 201007718 再者，本發明的磁性記錄媒體，由於在基板的至少一方表面 上，設置由凸部與分離區域所構成的資料圖案、伺服圖案、凹凸 圖案，故無須進行在凹部内填充非磁性材料使其平滑的步驟，比 起有進行在凹部内填充非磁性材料使其平滑之^驟的情況而言， 更谷易以南生産效率進行製造。 ^，本發明的磁性記錄媒體，由於在磁性記錄區域上設置有 資訊區域’該飼服資訊區域言史置有飼服圖案’該祠服圖案由 4與》離區域所構成，且俯視形狀與資料圖案不同，故磁頭可 魯 應的資料區域的磁軌資訊以及扇區資訊， g二$明的磁性記錄媒體，由於設有由凸部與分離區域所 訊ΐ域’故不具有在倾區域以磁性方式寫入（飼 、）伺服貝訊的必要，可提高磁性記錄媒體的生產力。 體，且磁=，具備本發明的磁性記錄媒 以設置成高記ίϊί ^ ’雜敎的電轉铺性，故可 【實施方式】 細説Si 體及其製造方法，參照圖面詳 厚度或尺寸笨說月所參照的圖面中，圖示各部位的大小、 生裝置的3不=候會跟實際的磁性記錄媒體以及磁性記錄再 <離散式磁性記錄媒體> 磁性的一個實施例，亦即離散式 圖1 麵的—個實施例， 散式磁性記錄媒體大表7f之’圖1⑻係示意圖，表示離 獨體的整體。又，圖2係用來說 11 201007718 式磁性記錄媒體的剖面構造的剖面圖， 式磁性記錄媒體部份資料區域的掭大干立方向觀察離散 了方便説明，僅表示基板與磁性屬H ^ 圖2中，為 明在圖1所枕離散式祕骑軸切f用來說 圖1所示的離散式磁性記錄媒體4fl，‘心 圓盤狀基板的-方表面上:備圓環狀的磁性記 t的以^ 錄區域A的外緣部4目對_概置丄： 如圖1 (a)所示的，磁性記錄區域A 服資訊區域42。又，在圖i α)二^具二貝= 區域41與祠 ⑬ 所表示的11域代表舰資輯域42，频^ w 伸的直線 主次刺l闻iru、 放射队直線與直線之間的區 域代表貝狐域41。如圖1 (b)所示的，磁性 =料區域41，比起資料區域41的面積，饲服資Ϊ區域2 面積較小。 又，如圖％雕苽式磁性記錄媒體4〇 設置複數㈣祕域4丨，該料龜域Μ以恤資訊區域矛4= 記錄的磁執資訊以及扇區資訊定位。 圖1 (a)戶斤示的箭頭Y，絲在離散式磁性記錄媒體4〇 面上磁頭的移齡置以及移動方向。如制γ所示的_周方向

移動的，’首先’在祠服資訊區域42中讀取對應的資料區域41 的磁執育訊以及扇區資訊’並在設置於同—圓周上的叢發型區域 (未圖示）中進行磁軌位置的微調整，之後，在資料區域41 行資訊的讀寫。 圖1所示的離散式磁性記錄媒體4〇，如圖2所示的，在圓盤 狀的基板1的表社設有磁性層2,在磁性層2之上，設有保護膜 層（在圖2中圖示省略）’且在最外層表面上設有潤滑層（在圖2 中圖示省略）。磁性層2 ’可為面内磁性層或垂直磁性層，為了實 現更高的記錄密度宜為垂直磁性層。 、 如圖1以及圖2所示的，在資料區域41的磁性層2上，設置 了由凸部43a以及形成於凸部43a周圍之凹狀分離區域44a所構成 12 201007718 的資料圖案45。在資料圖案45中，凹狀分離區域44a將磁性層所 構成的各凸部43a之間磁性分離。如圖1 (a)所示的，構成資料 圖案45的凸部43a以及分離區域44a，在基板的圓周方向上以帶 狀方式等間隔延伸’並形成規則的凹凸形狀。 又’如圖1 (a)所示的’伺服資訊區域42設有伺服圖案46， 其由凸部43b、43c以及凹狀分離區域44b所構成，該凸部43b、 43c由磁性層所構成，該凹狀分離區域44b形成於凸部4北、4允 的周圍。在伺服圖案46中，凹狀分離區域44b將磁性層所構成的 各凸部43b、43c之間磁性分離。構成伺服圖案46的凸部43b、43c， ©係由在基板的直徑方向上形成帶狀的帶狀凸部43b，以及形成點狀 =點，凸部43c所構成。伺服圖案46上記錄著磁執資訊以及扇區 ί Λ等數位ΐ訊。又，伺服圖案46，形成不規則的凹凸形狀，從 俯視觀察與資料圖案45的形狀不一樣。 著陸區域Β可在磁頭從圖！（a)以及圖i (b)所示的退避位 私動到磁性纪錄區域A之前，讓磁頭的浮動情況穩定。著陸 ΐf ^見度’並無特別限定，然為了有效讓磁頭的浮動情況穩 疋，且與磁頭滑動部的寬度在相同程度以上。 在本實施形態的離散式磁性記錄媒體40中，如圖1 (a)所示 ❹Ϊ凹ίίΐΐΪϋ全部區域上設置凹凸圖案47,其由凸部43d 狀八離二J所構成’該仏部43d由磁性層所構成，該凹 八ip: Ια形成於凸部43d的周圍。在凹凸圖案47中，凹狀 43d ° ^ 上以帶狀^蓉、°M3d以及分離區域彻，在基板的圓周方向 因此ίίίίΓϊϊΓ凹凸圖案47與㈣贿45形狀相同。 案46形狀^的H上不含與設置在伺服資訊區域42之伺服圖 I呈^^凸，案47與資料圖案45宜形狀相同，凹凸圖幸47只 ' 資料圖案45的凸部43a -樣的凸部视即可在此， ^^ IIΞ43d f# 45 ^ 43a 圖案47的凸部43d的形狀與資料圖案45的凸部 13 201007718 的兄形隋況’但也包含形狀相似的情況。形_ 的障況例ί ’凸f在延伸方向上的長度不同這種情況。 士认本貫ί形態的離散式磁性記錄媒體4G ,宜將資料區域41 部，亦即，宜當作離散式磁性記錄媒體。 ί Λ 以下’凹狀分離區域44a、44d的寬 ^在lOOnm以下。因此’軌距p (二凸部的寬度獅 域的見度d)宜儘量在3〇0nm以下的狹窄範圍内。

Hst41、鑛魏區域42、 ㈣本-、Λ ^ Ρ分離區域的深度（在圖2中以符 々不）且相同，宜均在0‘lnm〜15nm的範圍内。若上述分離 區域的深度在O.lnm〜15nm的範圍内，則# a匕话丄 . 部之，的磁性阻斷分開，進而獲得更穩定的二浮動 = 寄她凸 相鱗度未達αΐΜη時’可能會無法充分地將 動會纟交付不穩定，磁頭的浮動特性 声 、 在資料區朗、伺服資訊區域42、著陸區=度的=射 ❹ ::t=係將離 部位的表層 的ί磁&ί48利用消磁等方式形成磁性降低 ^低，q域你。因此，在本實施形態的離散式磁據如 中，猎由低磁性區域48的磁性被降低與凹狀分 卑 果，形成與相_之_彳_=^層2 又，在本發明中與相隣凸部之間磁性 ^ 圖2所示的，若磁性層2從離散式磁性記錄媒==m 2分離’則即使磁性層2的底部未被分離，也能 =概ί本發明中，包含與相鱗凸部之間磁性被阻斷分_凸部 又，在本發明的離散式磁性記錄媒體40中，如圖卫⑷所示 14 201007718

的s小一U ^ 侑奉叙明的效果，只要在著陸區域B 狀跟ί料^1 i 45’^ί凹凸圖案47即可，該凹凸圖案47具有形 ===;=進故只‘實質二 效果，則其是可以咖錄，崎得本願發明的 ❹ =(域 ο 誉化，會隨安裝著磁頭的磁頭滑動部所受到的風壓 到的風壓纽變，磁量也纽變 =異=一上的凸部與== 式磁性記錄媒體40上的凸部t分時’由於離散 區域J動二離 ，Γ能減少磁頭從簡區域41進人飼服資訊區域1 ]，在： 離&域他的面積比率b，以及在著陸區域Β中分離區^ 15 201007718 44d的面積比率e，各面積比率的最大値與最小値的差宜在 離散ί磁性記錄媒體4G上凸部與分離區域“ 丰的差八非吊小，故磁頭的浮動特性的穩定性更優異。 又，在伺服資訊區域42中分離區域44b的面積比率a，ώ ^ 資料區域“ t分離區域44a _積比率b，f滿足$的3 ⑴’同時在伺服資訊區域42巾分離區域働的面積 了^ ，著陸區域B中分離區域44d的面積比率c，宜滿足以下的算g 、厶 J 0 、 b- (b/10) ^a^b+ (b/l〇) . . .(i) c- (c/10) ^a^c+ (c/l〇) . . .(2) ❹ 、例如，當資料區域4丨中分離區域44a的面積比率b以 區域B中分離區域44d的面積比率c均為15% = 麟）時’伺服資訊區域42中分離區則物的面積比S3 = %〜16.5%的範圍内。讓祠服資訊區域42中分 籍 =a在滿足上述算式⑴以及算式⑵的範圍 域a，司服資訊區域42移動到 2枓£域4卜k反向鷄時，便祕止磁頭的浮鱗性 疋，並有效防止磁頭接觸離散式磁性記錄媒體40。 心 ❿ 由八資料區域4卜伺服資訊區域42、著陸區域6的各區域 中刀離區域的面積比率[(分離區域的面積/各區域的面積 二50職圍内。讓上述各區域中的分離區域的面積 ϊί:二二50細圍内，可讓磁頭的浮動情況更穩定，同 枯旎夠獲得更優異的電磁轉換特性。 當上述各區域巾的分雜域的面積比率未達1G%的時候 的浮動Ϊ性穩定，但在資料區域41中的各磁軌之間的磁性 可齡不夠充分。又，當上述各區域中的分離區域的面 能會讓^頭的浮動不穩定 再者，在資料區域4卜値資訊區域42、著陸區域 域中的分離區域的面積比率[(分離區域的面積絡戈區域^面 16 201007718 積)χ100] ’均在10%〜 iAA,vap^44h6，^ /的靶圍内，且，讓在伺服資訊區域42 中=刀離£域44b的面積比率a在滿足 =範圍内，藉此便可讓磁頭在離散式 穩定的浮動’ _觀__細^雜的表面上更 雜絲 4G與德散式磁性 稍並雜的麵之間_顧行説明。 24 ’設置在磁爾動部24上，該磁頭滑動部 21 m^,]± ° 26 ❿ _ 離散式磁性記錄媒體端:端側中之靠近 散式磁性錄雜40的表面上—邊浮動—邊移L所不的，在離 0.5〜滑ϊ部24上，該磁頭滑動部24的大小為 埶产站：也·+、、。磁頭滑動部24，如圖3所示的，以傾斜的攻 勢^離政式磁性記錄媒體4〇的表面上掃動，在其對向面的敫^ 不曰受到離散式磁性記錄媒體40表 於ς人 受到磁性記錄媒縣__。又，通方==面4= 形=案^此46的各圖案，會隔著數十到數百ηπι的間i 形成因此，形成在離散式磁性記錄媒體面机 24 5〇〇μπι 非常小的，構成該等圖宰的分離产诚 &域而5，疋 ’『上述各區域巾的分_域的面積比率』，f質上梅立 D者在離散式磁性記錄媒體4〇中與磁 心= 區域中的分離區域的面積比率』。 、月動（Μ對向s玄面的 & 又在本只細"形態的離散式磁性記錄媒體40中，灵;te 1 使用任何基板，只要是圓舱基板即可。例如：二 日;化==? 、_、各種樹脂所構成^ /、 吏用A15金基板或結晶化玻璃等玻璃製基板或矽基 17 201007718 板。又該等基板的平均表面粗糙度（Ra)宜在inm以下，更宜在 0.5nm以下，其中最好是在O.lnm以下。 又，磁性層2，宜使用以Co為主要成份的合金。 例如，面内磁性記錄媒體用的磁性層，便可使用由非磁性的 CrMo基底層與強磁性的coCrPtTa磁性層所構成的堆疊構造。 、又，垂直磁性記錄媒體用的磁性層，可使用例如，由軟磁性 材料所構成的底層、定向控制膜、磁性膜的堆疊構造等。 底層，可舉例如由FeCo合金（FeCoB、F.SiB、FeCoZr、 F^oZrB、FeCoZrBCu 等）、FeTa 合金（FeTaN、FeTaC 等）、c〇 ❹ 5 ^(^TaZi·、、CoZ·、CoB等）等合金所構成的構造。 -罢士ΐ ’ Ϊ為堆疊構造，例如’可在構成底層的軟磁性膜之間 二丄CU其中任-所構成的中間層，並設成既定厚度， 讓上下§又置之軟磁性膜反鐵磁耦合。 構成又，定向控制膜’可由例如Pt、Pd、Ν&、MFeCr等材料所 磁性膜，可由例如6〇c〇_15CM5pt合金 〇-5Cr-15Pt-l〇Si〇2合金所構成。又，磁性膜盖^ 磁性材料所構成。在此，粒狀構造的磁性材 包含的氣杨f、化物構&的雜材料。在粒狀構造中所 ❹ 氣化物r >备1了上述的Sl〇2之外，還可以使用Ή氧化物、W 氧化，、〇·祕*、c。氧錄、Ta氧錄、Ru氧化。 粒狀構造的磁性材料，由於磁性&a 撕不夕'田7、砸汪&日日以非磁性相分離，磁性 ' / 3 父互作用很微弱，而且，由於磁性έ士日粒卵$^ 故能形成極低雜訊的磁性層。又 體並利用反應性離子侧步晉㈣擇性地使用乱糸氣 刻，促進磁性膜中的c〇 ^今屬盘自^1面，的氧化物進行餘 率地改變雜膜的雜，、可提讀、:滅應，更有效 區域48時的反應性。 间、'進行消磁以形成低磁性 又’磁性層2 ’亦可以是由粒狀構造的磁性層與其上的非粒狀 Ϊ8 201007718 .構造的磁性層所構成的2層構造。 度’可在3圆以上2〇nm以下，宜在5nm以上 的;= 情況，故有必要設定成最適當的膜厚。 #而劣化疋通吊 <離散式磁性記錄媒體的製造方法> 參 其次，本發明的磁性記錄媒體的製造方法，以_3 &一 ，態的離散式磁性記錄媒體的製造方法： 散式製f〜圖3所示的本實施形態的離 形成ΐί層ΐ圖^心^^的^^盤狀基板“’以賤鐘法等 遮罩層3。接者如圖4⑻所示的，在磁性層2上形成礙 碳遮罩層3，可用錢鐘法，或化學 參 ίΐίΓοCVD) 5 cvd 3或反； 2 在後輕去_步驟中的殘_,讓磁性^ 〜的範圍内，更宜在10nm 的邊緣部份會_，罩層3 會惡化。又，在對部份磁性層2進行消:二可能 會穿透過碳遮罩層3盥开處理k，乳或臭氣可能 性層2，_簡2 卜^ / 抗贿錢侵入堵 厚的話，碳物 19 201007718 更厚的話，侧碳鮮層3的紐科殘留在 如圖圖l(eif示的，在碳遮罩層3上形成抗姓層4， 所形成的負型圖案’係指在抗簡4上 形成有對應構成各圖案之凹狀分離區域的凹部者。 在抗钱層4上形成負型圖案的方法，可使 开術狀=!d)所示的，偏層4上使用=== 形狀轉印過去，用這個方法作業效率會比較好。 ^ ❿ :7=:3_殘留·層、的厚度‘= N猎此在奴遮罩層3以及磁性層2的蝕 = ’並能提高對碳遮罩層3的 :性，X，亦可讓基於石炭遮罩層3所形成之各圖案 其次，如圖4 (e)所示的，將形成會】安 層8,以及碳遮罩層3中對鹿構 、圖木後所殘邊的抗鞋 ❹ 使用麼模5形成負型圖案後所殘留 子侧、離子研磨等乾侧方法 ：’可用反應性離 成各圖案之凹狀分離區域的部份，l 層3中對應 子研磨等乾蝕刻方法去除掉。 用反應性離子蝕刻、離 又，在本實施形態中，抗蝕層4 — 射會硬化的材料，在進行使用壓模5 用被放射線照 使用這種製造方法，便能夠仏姓層4照射放射線。 抗钱層4上。又，在石炭遮罩層3白^刻牛^模形狀轉印到 緣部份不會發生垂陷，可提高胃 ，$反遮罩層3的邊 捉同對碳縣層3的研磨離子的遮蔽性， 20 201007718 又’亦可提高基於碳料層3卿紅各贿的形成特性。 X射^ 用線，係熱射線、可視光線、紫外線、 ^射線、伽瑪射線等廣義的電磁波。又，被放射線照射會硬 =枓，例如，被熱射線照射會硬化的熱硬化樹脂， 會硬化的料線硬化_。 饭綺線知射 本製造步驟’係在進行使用壓模5將圖案轉印到抗姓 時’在抗姓層4的流動性很高的狀態下，對抗#層: ❹ ❹ ^吴5 ’在該推壓狀態下，對抗靖4照射放射線，使抗鮮* ==層讓41 模5離開抗泰便可精確_模5 “狀 的太^對·層4 f壓壓模5的狀態下，對抗_ 4照射放射線 j方去’可使用從賴5的相反側，亦即從基板丨側照射放 …，或是壓模5的材料選擇放射線能夠穿透過的物質，鈇徭 =壓模5側照射放射線的方法，錢從壓模5的側面％射放& 或是使用像熱射線這種對固體傳導性高的放 : 壓杈材料或基板1的熱傳導照射放射線的方法。此時，卢1扪用 ，料可使用酚醛系樹脂、丙烯酸醋類，環脂族環 ；二 硬化樹脂’壓模材料宜制對紫外線穿雜高的麵或樹脂。、、、 ^，在本製造步驟中，抗姓材料，尤其，宜使用 ，材料。Si02系的抗_材料，對氧氣乾綱的耐了 = 遮罩層3使用離子研磨形成負型圖案時，能夠降低圖： ^卜使=氣的乾侧法便能触易地對碳遮 耐性高。因此，利用乾_可對碳遮罩層3 =的 工，以精確銳利地獲得各圖案的形狀。 队的加 其次’如圖4⑴所示的，除去碳遮罩3，露出磁性層 ^ ’而成為構成各_之雜分祕域龍域 = 加工6，將磁性層2的表層部加工到ainm〜15]；=2 除去碳遮罩層3所露出的磁性層2的表層部，可能會因為磁 21 201007718 性層2上堆疊的碳遮罩層3或大氣的影響而變質。磁性 質，磁性層2的消磁反應可能無法有效作用:^貝⑽2右變 除去碳遮罩層3所露出之磁性層2的表層部，可在例 f離子_等的乾侧法將碳鮮層3除去之後，緊^ 工6等的乾蝕刻法除去之。藉由採用該等方ί，便: =層部除去後所殘留之磁性層2的邊緣部垂直。這是= 遮罩層3形成垂直切口形狀’其下的磁性層2也形Ξ ==關係。藉由採用該等步驟’便能夠形成邊紋特性優異 % 用藍本製造步驟中’碳遮罩層3的反應性離子_，宜使 用虱虱進仃，磁性層2的離子研磨加工6，宜使盡 > 々士使 非活性氣體進行。亦即，碳遮罩層3的乾 ^ 侧，宜各自改时適合的纽。 〃雜層2的乾 又在對磁性層2進行消磁處理之前，宜將除麥讲、奋罢。 露出之磁性層2的消磁區域的表面暴露在氟系氣於遮^3, 處理，能夠提高對磁性層2進行消磁處理的表面二 效率地實現消磁反應。 似14以更有 徒盆ΪΪ ’對表層部已除去之區域7的磁性層2的磁性進行改質， ❹ ίΐίίί:冊2消磁之前’宜將表㈣ 在磁性層2經過消磁處理之後，如圖4 f ) ，磁性層2上的抗侧4以及碳遮罩層3除去二去置 抗姓層4以及碳遮罩層3，宜使用乾蝕刻、反應性_^遮罩層。 研磨等方絲去之。 城]梅子_、離子

Ar犛去遮罩層之後，如圖4⑻所示的，宜對磁性芦2昭射 射#的非活性氣體11，將磁性層2的表層部蝕 曰’、、、= 圍内。對磁性層2進行消磁處理，即使磁性声‘〜,m的範 也能夠藉此將粗糙化的磁性層2表面去除掉。、、面很粗糙:， 22 201007718 接著，如圖4 (!)所示的，宜在磁性層2上 噌 通常，保護膜層9係利用濺鑛法或是CVD法形成蔓膜層9。 保護膜層9，可使㈣⑹、碳氫化合物（h 3巧用=晶=、破切（Sic)等的碳質層或如2、秘°、 層堆疊。又，保_ 9亦可—膜 保濩膜層9的膜厚宜在1Qnm以下。保護 層2的距離會變大，可能會無 ❹ ❹ 再者’宜在保護膜層9上形成潤滑層（圖示省 貝的此^物專，通常形成1〜4nm的厚度。 樣，出如圖1〜圖3所示雜散式磁性記錄媒體40。 本貫施形態的離散式磁性記錄媒體4〇，在二 資料彳各圖案，另在著陸區轴的全部區域，設置鱼 細凹凸圖案47，故能夠讓資料區域⑽ 广，域Β中的磁頭26浮動特性近似，這樣磁頭％在 ^錄媒體40大部份表面上的浮動躲便近似。如是，當磁^ % __性記錄區域Α時’在資料區域則司服 分界部位所產生的_ %振動便會被緩和。因此， 2m性記錄媒體4G，其磁頭26的浮動特性的穩 ΐί此夠ί 頭6與離散式磁性記錄媒體4〇接觸。 者，在本實施形態的離散式磁性記錄媒體40 為規則的酬狀，故磁一:= a-i右的離散式磁性記體40 ’在磁性記錄區域 貝料區域41以及伺服資訊區域42，該資料區域41設置 所=ί45 ’該資料圖案45由凸部43a以及凹狀分離區域44a 所構成，該凸部43a由磁性層2所構成，該凹狀分離區 23 201007718 成在凸部43a的朋；該伺服f訊區域42設置有舰_ 46 ΐίΞί 46由凸部與分雜域所構成，且具備從俯視方向觀察^ 貝料圖案45不同的形狀；故能利用凹狀分離區域將磁性層 成的各凸部分開，而確實地將各凸部的磁性阻斷分離。 再者’本實施形態的離散式磁性記錄媒體4〇，在基板 一 面上由凸部與分離區域所構成的資料圖案45、伺服圖 J 46、凹凸圖案47等各圖案，故無須進行在凹部内 驟’比起會進行在凹部内填充非磁性材料使表 面千β之步，的情況而言，在製造上的生産效率更高。 力其ΐ’Λ實施^形態的離散式磁性記錄媒體40的製造方法，呈備： © 性層2的步驟；在磁性層2中作為凸部的區域 i j 與抗倾4所構成的遮罩層的步驟；將磁ί I的=2 的倾；對_卩⑽去之區 理的：。提高卿2被消磁時==; 明之;二=!=施:广=:^7為本發 ❹ 又，在上述實施形態中，係〉VL荽 一 :設置著陸區域’惟著陸區域;可 <磁性記錄再生裝置> 24 201007718 其次，就本發明的磁性記錄再生裝置舉例説明之。 實^，發;錄再《置的一個 置中所具表湖5飾鄕記錄再生裝 記錄:再生裝置，具備圖1所示的離散式磁性 頭懸㈣體驅動部34，·安裝在磁 作出相的_ 讓磁頭26 _散式磁性記錄媒體40 生磁頭it =卢頭的以二用來對磁頭26輸入訊號並再 構)。 出訊__再生訊號系統32(記錄再生訊號處理機 磁頭懸浮組件20，如圖6 的懸吊臂21 .执署力Μ辟。〃備·由&屬薄板所製成 置在磁^的前端側上的磁頭滑動部24 ;設 控制機構月(圖ί省略上)的磁頭26 ;以及藉由訊號線25通電連接的 及對向側 懸 TI^元件，^^翻於高記錄密度的麵。又，籍由使用 牛，月b夠更進一步使記錄密度提高。 記錄錄再生裝置’具個1所示的離散式磁性 也^媒體40 ’故能降低_ 26的浮動量，其穩定性高，記錄密度 磁頭％的浮動量在比習知更低的0.00_〜 出提高，^能紐供I翻性靖裝置，其輸 ^ 叮獲侍很同的裝置SNR，容量大且可靠度高。 體的，該2====媒 狀分離fτ姝骽4〇e又置有圖案，該圖案由凸部與凹 執的影凸部由磁性層所構成’故不易受到相隣磁 曰P使不採用以廣範圍的方式執行記錄並以比記錄時更 25 201007718

中也能獲得充分的訊號強度， 生裝置。 κ稣丹生衷置中，磁頭26的再生部 I所構成，藉此，即使在高記錄密度 成為具有高記錄密度的磁性記錄再 ”又，在對圖5所示的磁性記錄再生裝置組合利用最大可能性 解碼法的減處理電路時，便能更進—步提高記錄密度，例如， 在磁軌密度look磁執/英叶以上、線記錄密度1〇〇〇k位元/英^ 以上、每平方英对HK)G位元以上的記錄密度下實行記錄、再生‘ 罾 也能獲得充分的SNR。 【實施例】 (實施例1〜11、比較例1〜9) 首先，在真空室内，設置圓盤狀硬碟（HD)用的玻璃基板， 真空排氣至l.〇xl(T5Pa以下。又，玻璃基板，係以Li2Si2〇5、 A1203-K20、MgO-P2〇5、Sb203-Zn0為構成成份的結晶化玻璃所構 成，其外徑為65mm、内徑為20mm、平均表面粗糙度（Ra)為2 埃。 對該玻璃基板使用直流（directcurrent; DC)藏鐘法，依序堆 ❹ 疊由60Fe30Col0B軟磁性膜所構成的底層、由RU所構成的中間 層、由70Co-5Cr-15Pt-10Si〇2合金所構成的粒狀構造磁性膜，以形 成磁性層。接著’使用電漿化學氣相沈積（plasma chemical vapor deposition ; P-CVD)法，在磁性層上堆疊碳遮罩層的薄膜。 各層膜厚為：底層60nm、中間層l〇nm、磁性膜15nm、碳遮 罩層30nm。 接著，在碳遮罩層上，以旋塗法塗布Si02抗蝕劑，形成抗蝕 層。抗餘層的膜厚為100nm。 - 接著，在抗蝕層上，配置對應實施例1〜11、比較例1〜9的 26 201007718 各圖案形狀的玻璃製壓模，以i略（約8 8kgf/ 抗蝕層推壓壓模。之後’將壓模與抗蝕 ，二二3 對應實施例卜η、比較例卜9之各圖案的負型f案蝕曰上轉p 巧，用來形成負型圖案的壓模，在實施例w卜 〜9中分別使用不同形狀。 罕乂例 戽声形成ΐί圖？ίί在抗蝕層的凹部内所殘留的抗蝕層的 為5nm’凸部的厚度為80nm。又 層的凹部對基板面的角度域近9G度。 ® K佼W几儀 用乾侧將凹部_殘留的抗崎去除掉。乾侧 ·丨使用cp4 ’在o.5pa ·4〇sccm下以電漿電力2〇〇w、偏壓 20W蝕刻1〇秒鐘。 响i 夕ππ^’將除去録層所露出之碳遮罩層3中對應構成各圖案 1反應性離子㈣去除掉。反應性離子 為’對碳遮罩層以〇2氣體4Gseem'壓力㈣高頻率 電漿電=300W、DC偏壓30W，蝕刻30秒鐘。 ❹ 接著’、在除去碳遮罩層並露$各圖案之後，_離子研磨處 將構成各圖案的凹狀分離區域上的磁性層的表層部去除掉。 子研磨條件為· &氣體lOsccm、壓力〇.ipa、加速電壓3〇〇v， 蝕刻5秒鐘。在此所形成的磁性層的凹部的深度為inm。 之後，將表層部被除去之區域的磁性層暴露於臭氧氣體使其 ，磁。臭氧氣體的暴露係在處理室内以臭氧氣體4〇sccm、ipa、1〇 私、基板溫度15〇。(3的條件進行。 1性層消磁之後，將設置在磁性層上的抗蝕層以及碳遮罩層 、，，蝕刻去除掉。之後，對磁性層的表面，用離子研磨裝置， 以氬氣lOsccm、〇.5Pa、5秒的條件，蝕刻約丨〜]!^的深度。 进像這樣在實施例1〜11、比較例〗〜9的玻璃基板上，形成圓 %狀的磁性記錄區域，以及沿著磁性記錄區域的外緣部相對基板 配置士同心圓狀且寬度為lmm的著陸區域，在磁性記錄區域上， =成£料區域以及將資料區域阻斷分開並從中心向外以放射狀延 伸且寬度2〇μιη的帶狀伺服資訊區域。 27 201007718 又，在實施例1〜η、比較例丨〜 成資料圖案，該資料圖案由凸部盥 =科區域的磁性層上形 分離區域形成在凸部的周圍。構成資^^域所構成，該凹狀 域，在基板_周方向上以較 ^ ®案的凸部以及分離區 面積/資奸m 分離區域的面積比率[(分離區域的 ΐ資積)〇〇]。又，在實施例1〜1卜比較例1〜9 化而變化。魏===嫩率會_娜域的寬度變

【表1】 面積比率(分 --—-- 6) 浮動界 伺服資訊 區域 資料區 域 著陸區域 差值 限高度 (nm) 實施例1 50 60 50 -10 6.5 實施例2 50 55 50 -5 5,5 實施例3 50 50 — 50 0 4.6 實施例4 50 45 一 . [50 5 5.7 貫施例5 50 40 50 10 6.6 實施例6 30 40 30 -10 (17 實施 30 ] 30 30 0 4.2 實施例8 ----- 30 20 30 10 5.9 I施例9 10 17.5 10 -7.5 5.8 實施例10 10 10 10 0 4.3 實施例11 10 5 10 5 5.2 比較例1 — 50 80 無(平滑面） -80 11.2 比較例2 50 70 無(平滑面） -70 9.5 比較例3 50 30 ------ Κ平滑面） -30 9.6 比較例4 20 無(平滑面） -20 10.1 比較例5 ----—- 30 50 無(平滑面） -50 9.2 比較例6 30 20 .— 無(平滑面） -20 9.7 28 201007718 比較例7 50 60 無(平滑面） -60 9.1 比較例8 50 55 無(平滑面） -55 8.6 比較例9 50 50 無(平滑面） -50 8.1 八，m只A - U、pu平乂 π 灼刊月良買訊區域的磁性層 上形成伺服圖案’該伺服圖案係由凸部與凹狀分離區域所構成， 該凹狀分離區域形成在該凸部周圍。構成伺服圖案的凸部，以不 規則方式配置，凸部的寬度為120nm。又，求出伺服資訊區域中 的分離區域的面積比率[(分離區域的面積/伺服資訊區域的面 積)x 100]。又，伺服圖案與資料圖案在俯視上形狀不同，在實施例 籲1〜11、比較例1〜9中，伺服資訊區域中的分離區域的面積比率， 會因為飼服圖案的俯視形狀變化而變化。其結果揭示於表1。 又’在實施例1〜11、比較例1〜9之中，僅實施例， 在著陸區域的磁性層上形成凹凸圖案，該凹凸圖案係由凸部盥凹 狀分離區域所構成，該凹狀分離區域形成於該凸部的周圍。構 =凸圖案的凸部以及分離區域，在基板的圓周方向上以帶狀方 等間隔延伸，凸部的寬度為UOnm，凹凸圖案的凸部形狀 ，案的凸部形狀相同。又，在比較例！〜9的著陸區域的磁性層上料 未形成凹β圖案’讓比較例卜9的著陸區域形成平滑面。 又，求出實施例1〜11、比較例1〜9的著陸區域中的分離F 域的面積比率[(分離區域的面積/著陸區域的面積)χΐ〇〇]。1二 會因為分離區域的寬度變化而變化。A ’ 陸區，平滑面時，著陸__比=^：於表1。又，當著 的分=域與 面積比^差異量）。其結果揭示於表】。積丨胃邱域的 接著，在⑦置有資料_、_服圖案 磁性層上，以CVD法形成由石炭所構成曰 4各圖案的 之後，在保護膜層上，塗布氟系濁 ^蒦膜層。 製得實_〜n、_ M 的潤滑層， 29 201007718 然後’讓實施例1〜11、比較例丨〜9的磁性記錄媒體以高速 旋轉’並調查寬度300,、長度500μιη的磁頭滑動部的浮動特性。 浮動特性鱗價，在磁戦退雜㈣過著域而在磁性記錄 區域上移動時’測量磁性記錄媒體與磁頭滑動部接觸的浮動界限 高度。洋動界限高度的測量結果揭示於表j。 如表1所示的’實施例l〜u在著陸區域形成凹凸圖案，該 資料圖案的凸部形狀相同，相較於將著陸 較例1〜9而言，該實關1〜11的浮動界限 ❹ ⑽=接It1可知’實施例1〜11，比起舰資籠域與資料區 積比率相同的比較例9而言，其浮動界限高度 ，並讓該凹凸職的凸部形狀與資料圖』 凸邰形狀相同，藉此，便能降低浮動界限高度。 【產業利用性】 記錄發在表面具有凹凸形狀之磁性記錄圖案的磁性 此衣侍纪錄岔度很高的磁性記錄媒體。 ⑬ 【圖式簡單說明】 «1V) ： 錄媒體的-部、份^if圖1 (b)中矩形所示之離散式磁性記 式磁性記大表示之；圖1⑻翁意圖，表示離散 的剖S 所^離減雜記觸體的剖面構造 的一部份的擴大方向觀察離散式磁性記錄媒體的資料區域 媒體上的4=^。肖來綱_在®1所示之賴式磁性記錄 θ系概略步驟圖’用來說明圖1〜圖3所示之本實施形態的 30 201007718 離散式磁性記錄媒體的製造方法。 圖5係概略立體圖，表示本發明的磁性記錄再生裝置的一個 實施例。 圖6係概略示意圖，表示圖5所示之磁性記錄再生裝置所具 備的磁頭懸浮組件。 【主要元件符號說明】 A磁性記錄區域 B著陸區域 C退避位置 D部份區域 d分離區域相對凸部的深度 P軌距 L分離區域的寬度 W凸部的寬度 Y移動方向 1基板 2磁性層 3碳遮罩層 4抗钱層 5壓模 6離子研磨加工 7表層部被除去之區域 8凹部内所殘留的抗钱層 9保護膜層 11非活性氣體 20磁頭懸浮組件 21懸吊臂 24磁頭滑動部 25訊號線 31 201007718 26磁頭 32記錄再生訊號系 3 3磁頭驅動部 34媒體驅動部 40離散式磁性記錄媒體 41資料區域 42伺服資訊區域 43a、43b、43c、43d 凸部 44a、44b、44d分離區域 45資料圖案 46伺服圖案 47凹凸圖案 48低磁性區域

Claims (1)

1. 201007718 七、申請專利範圍·· 1、 一種磁性記錄媒體，其特徵為： 在圓盤狀基板的至少一方之表面上，設置有圓 錄區域’以及沿著該雜記舰域的邊緣雜置的著陸區域；。 在該磁性記錄區域上設置有資料區域與飼服資訊區域 該貢料區域設置有資料圖案，該f料圖案包含：由磁性 構成之凸部，·及形絲該凸部的顯之雜之分離區域； e 該飼服資訊區域設置有飼服随，關 該分離區域所構成，且俯視形狀與該雜凸也、 =著陸區域的至少—部份上設置有凹凸圖案，該凹凸圖案 π有凸邛，钱凸部的形狀與該資料圖案的凸部之形狀相同。 2、 如申請專利範圍第1項之磁性記錄媒體，其中， 該著陸區域不具有實質上與翻服圖娜狀相同的部份。 、如申請專利範圍第1項之磁性記錄媒體，其中， 八該資料區域、該伺服資訊區域、該著陸區域的各區域中之該 为離區域的面積比率之最大値與最小値的差，在1〇%以下。μ 4、如申請專利範圍第1項之磁性記錄媒體，其中， 八該資料區域、該伺服資訊區域、該著陸區域的各區域中之該 /刀離區域的面積比率，均在10%〜50%的範圍内。 人 如申請專利範圍第1項之磁性記錄媒體，其中， 該資料區域中的凸部為磁軌部。 、如申請專利範圍第1項之磁性記錄媒體，其中， 相對於該凸部’該分離區域的深度在〇 lnm〜15nm的範圍内 7、如申請專利範圍第1項之磁性記錄媒體，其中， 33 201007718 該資料圖案以及該凹凸圖案’具備規則的凹凸形狀， 形狀係巧絲板_周方向絲狀方式等 分離區域所構成。 γ。卩以及 8、一種磁性記錄再生裝置，包含： 1〜7項中任1項所記載 磁性&己錄媒體，其為申請專利範圍第 者； 驅動部，朝記錄方向驅動該磁性記錄媒體； 磁頭，由記錄部與再生部所構成； 相對運動機構’令該磁頭對該魏記錄媒體作相對運動；以

   及 及將該 磁頭===理機構’其用來對該磁頭輸入訊號， 的製造方法，用以製造申請專利範圍第1至 Hki ΐΐί性記錄媒體，該製造方法至少包含： 在該基板上形成磁性層的步驟； 將作為該遮罩層的步驟’· 驟； —的匚域上的该磁性層的表層部去除掉的步

   及，表曰ρ被除去之區域的該磁性層的磁性改質的步驟；以 將該遮罩層去除掉的步驟。 八、圖式： 34