TW301016B - - Google Patents

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^01016 /U-I - .............— … B7 . 經濟部中央標準局•負工消費合作社印製

It轉委5:示，二後是κ：變更原實質内容 五、發明説明 ( 1 ) 1 1 I 本 發 明 係 Μ 於 — 棰 半 導 體 製 作 設 備 之 進 給 裝 置 1 為 了 使 1 1 | _ 送 物 在 固 定 部 分 的 兩 個 终 端 之 間 移 動 » 本 裝 置 設 有 一 緬 1 I 可 在 兩 個 終 端 之 間 通 過 一 傳 動 裝 置 作 直 線 運 動 的 可 動 部 分 請 先 I 1 I 1 此 可 動 部 分 的 取 物 臂 上 有 —_. 個 用 來 抓 住 輪 送 物 的 取 物 爪0 讀 背 | 面 I 在 製 作 轉 換 棟 體 m 路 時 不 同 製 作 步 驟 之 間 的 半 m 艚 片 之 1 I 1 I 必 須 被 輪 送 到 單 個 製 作 機 器 中 〇 在 大 量 生 產 中 則 需 要 捕 事 項 1 I 準 轆 送 箱 即 所 謂 檷 準 機 械 周 轉 箱 (SM IF- Bo X e η ) 因 為 要 再 填 提 高 產 量 達 到 可 接 受 的 費 用 —* 種 方 法 是 在 半 導 雔 製 作 設 本 頁 裝 1 備 中 連 續 採 用 SMIF 工 藝 Μ 替 代 在 較 高 清 潔 度 方 位 的 最 佳 常 1 1 規 淨 化 空 間 達 到 較 高 的 積 分 密 度 〇 1 I 半 導 艚 片 被 推 入 料 匣 的 格 子 中 其 Μ 適 當 的 方 式 保 持 在 1 訂 檷 準 機 械 周 轉 箱 的 底 部 〇 1 I 半 導 髓 製 作 設 備 之 進 料 首 先 要 從 输 送 箱 中 取 出 料 匣 〇 之 1 1 後 通 常 必 爾 轉 移 為 此 可 Μ 採 用 公 知 的 各 種 不 同 的 技 術 1 1 方 案 來 實 現 〇 按 照 EP209660 盒 由 盒 白 動 操 作 櫬 白 SM IF升 降 機 輸 m 到 丨 | 設 備 升 降 機 當 盒 垂 直 向 上 或 向 下 蓮 動 時 其 時 則 開 始 旋 1 1 轉 運 動 〇 通 過 使 用 轉 動 部 件 對 直 線 蓮 動 部 件 則 減 少 了 粒 1 1 子 產 生 的 比 例 〇 在 EP 2 3 8 5 4 1 中 也 敘 述 了 相 U 的 技 術 解 決 方 1 | 案 其 中 料 匣 以 預 定 的 運 動 曲 線 移 動 是 通 過 使 用 m 達 傳 動 1 I 楨 桿 實 現 的 Μ Z- 方 向 用 單 涸 升 降 機 達 到 〇 1 1 1 依 照 習 知 技 術 方 案 的 機 械 结 構 特 別 是 構 成 槓 桿 哲 的 移 1 1 動 體 從 料 匣 側 面 通 過 去 的 工 作 範 圍 或 者 封 閉 的 结 構 為 1 1 了 獾 得 純 淨 空 間 所 嚮 的 層 狀 氣 流 將 受 到 很 大 的 干 播 或 阻 1 1 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公f ) · 4 _ 修正|f 經濟部中央標準局員工消f合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2 ) 礙。 移位運動與Z-運動結合延k 了不必要的輸送和增加粒子 產生。 此外，習知技術方案足難Η做到的，因為安裝半導體製 作設備時，已經形成的純淨’ΐ間再要加s Μ I F系統就太複雜 ，以致於該設備中要使用S M U條汴下的薄片狀料匣，在純 淨空間條件下可以拆裝和輸达〃 D Ε - 4 3 2 6 3 0 9 C 1公間了 ·棰技術方案，其中為了使料匣從 闞閉位置移動到製作位置，升丨Ϊ储運行方向上可調節高度的 剛性抓臂之直線傳動裝置應丨m-:支柱上。抓1S的行程應 在位於關閉位置的料匣的上liil' ，並垂直於升降櫬的運行方 向。在立柱和升降機陴勐裝巧'之問設有透氣間隙孔。所有 的傅動部分都通過防塵眾與β (L·空間隔開，並ft吸取裝置 通過從纯淨空間中伸出的輸送部件緊緙開口上。 雖然上述的缺點被克服，Hi半導體製作設備在其種類方 面111擗要有不同的料匣進枓Μ號和呤止型號。 另外，當輸送路線增ίδ時，設偏本身_帶的信號及馬達 電流的傳輸電級，由於耍考ώ:到從固定部分輸送到活動部 分上的機構，特別是帶每抓牛的爪，可能會引起干擾 ，進而對可靠性產生不良影當。活動部分上電纜速接的槠 械反作用Μ及粒子產生的可诎性乂是另外一些缺點。 此外，氣勋直線驅動Κ Κ之缺點在於π· Μ終端姐Ε形式 藉肋於節流止回閥通過速度丨ΐ制在很短距離内使汽缸在兩 側终端受制動。其時在幾毫；丨(距離内從锻大速度減至零， 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公i ) ：5 |_.---,-----^------订------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0年ί月/日修正/艾正/¾免 A7 B7 經濟部中央樣华局員工消費合作社印裝 五、發明説明 ( 3 ) 1 1 1 输 送 物 將 不 可 避 免 地 受 到 衝 擊 0 1 1 I 因 此 本 發 明 的 巨 的 在 於 在 消 除 對 可 靠 性 和 純 淨 空 間 條 /·-V 1 I 件 有 不 良 影 m 的 前 提 下 1 提 高 給 料 時 的 靈 活 性 〇 請 先 1 閲 I 本 發 明 的 s 的 是 通 過 半 導 體 製 作 設 備 的 進 給 裝 置 而 得 Μ 讀 背 1 面 I 實 現 〇 為 了 使 輪 送 物 在 固 定 部 分 的 兩 個 終 端 之 間 移 動 本 之 注 1 I 意 1 裝 置 設 有 一 個 可 在 兩 個 終 端 之 間 通 過 一 傳 動 裝 置 作 直 線 運 事 項 1 I 再 1 動 的 可 動 部 分 此 可 動 部 分 的 取 物 臂 上 有 — 個 用 來 抓 住 輸 寫 本 裝 送 物 之 取 物 爪 在 取 物 臂 和 取 物 爪 之 間 設 有 使 取 物 爪 既 可 頁 1 I 作 直 線 運 動 又 可 作 旋 轉 運 動 (鐃取物爪在取物臂上的旋轉 1 1 I 固 定 袖 旋 轉 )的連接裝置 > 1 1 I 在 第 一 具 體 例 中 旋 轉 固 定 軸 位 於 一 水 平 面 上 並 垂 直 1 訂 於 直 線 運 動 的 方 向 〇 1 1 這 —. 具 髖 例 之 優 點 在 於 當 與 爪 臂 相 連 接 的 第 __. 槓 桿 起 1 I 到 爪 的 旋 轉 浬 動 與 直 線 埋 動 之 機 械 連 接 時 該 槓 桿 在 直 線 1 I 運 動 時 探 测 圼 現 高 度 差 的 連 桿 並 經 可 旋 轉 固 定 的 推 桿 與 在 | 爪 上 固 定 的 第 二 槓 桿 連 接 Μ 傳 送 高 度 差 和 旋 轉 運 動 中 之 變 1 1 換 〇 1 1 調 節 第 一 梢 桿 之 有 效 槓 桿 長 度 可 Μ 調 節 爪 的 旋 轉 角 0 在 1 1 第 二 具 賊 例 中 ，旋轉固定袖位於- -垂直面上， 並 垂 直 於 直 線 1 I 埋 動 的 方 向 〇 第 二 具 體 例 之 優 點 在 於 ，在Μ球狀旋轉且支承 1 I 的 連 桿 上 固 定 有 Μ 偏 心 設 置 的 球 形 萬 向 酣 支 承 在 爪 上 的 遽 1 1 桿 之 爪 鈎 Μ 及 第 擋 塊 ,當爪臂向前作直線埋動時由其裝置 1 1 1 1 1 本紙烺尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 6 修正頁 B7 經濟部中央檁準局員工消f合作社印製 五、 發明説明 (4 ) 1 1 在 固 定 部 分 上 的 第 二 擋 塊 處 成 連 桿 和 爪 m m 滯 〇 结 果 r 1 1 .爪 Μ 可 旋 轉 之 固 定 進 行 轉 動 1 1 此 外 球 形 萬 向 節 具 有 彈 性 衡 擊 可 調 節 的 定 位 系 統。 'S 讀 1 先 1 m 始 旋 轉 的 位 置 和 旋 轉 角 度 "J 以 通 過 改 變 辿 桿 上 第 * 擋 閱 讀 1 背 塊 的 固 定 也 可 通 過 改 m 底 板 1: 第 二 擋 塊 的 固 定 或 者 改 m \i 夕 1 I 連 桿 的 位 置 來 調 節 〇 意 事 1 Μ 僅 在 活 動 部 分 的 兩 個 終 ίί/π 在 ill 的 傳 m 器 和 動 作 構 件 項 再 1 1 裝 與 固 定 部 分 上 供 給 信 號 及 馬 ϋ 遒 流 的 供 電 部 份 之 間 實 琨 電 本 頁 1 氣 觸 點 接 通 來 控 制 爪 的 功 能 ο V_<> 1 | 具 有 彈 性 觸 點 的 部 件 用 於 ΐΐι: 解 點 接 通 其 屮 固 定 部 分 時 1 1 常 在 活 動 部 分 的 終 端 中 m η iJ 部 it· 而 活 φ)ι 部 分 至 少 帶 1 1 有 另 外 一 個 部 件 其 時 固 定 分 上 彈 性 觸 點 與 供 電 部 分 作 訂 1 電 連 接 活 動 部 分 上 彈 性 觸 點 山 K 構 成 與 傳 感 器 及 動 作 機 1 1 構 的 電 連 接 〇 通 過 Μ 這 觸 點 Sli 和 it 終 端 m 電 觸 點 接 通 1 1 | 代 替 通 常 本 身 攜 帶 的 肜 m 可 Μ 高 設 的 可 靠 性 1 1 線 1 » 凶 為 使 用 電 其 可 能 山 於 η α 攜 m 锘 6ί2ϋ 成 大 的 機 械 負 而 被 迫 放 0 好. 的 效 m /1: 於 収 代 後 可 排 又 個 粒 子 1 I 產 生 源 〇 1 I 彈 性 觸 點 1& 好 為 金 m 點 I iS /j is 的 彈 性 金 m 〇 1 1 其 優 點 m 在 於 氣 動 a 線 駆 勤 裝 置 提 供 爪 的 ι!ί m 運 動 〇 1 1 為 了 避 免 對 輸 送 物 的 銜 擊 κ η 直 m 運 劫 方 向 上 至 1 1 少 耍 把 . 對 具 有 彼 此 不 I-] 可 111! 流ώ之平行 作 用 的 節 流 1 | 閥 放 置 在 氣 動 直 線 驅 動 裝 置 的 η ；fi[ 上 Μ 控 制 速 度 〇 在 直 線 1 I 運 動 方 向 上 起 作 用 的 節 ϊίί m 的 m 1:1 収 決 於 活 動 部 分 的 位 置 1 1 1 亍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（21()Χ 21)7公势） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 Η 7 五、發明説明（5 ) κ及直線運動的方向受傳感器仿號控制。 以節流止回閥作為節流閥的好處在於排出空氣的節流可 以調節，而運動方向上的空u可無m礙地通過。 κ下，將结合附圖對本發叫作更詳细地說明。 _ 1為進給裝置使處於”背郃位t ”的料匣與活動部分一 起旋轉到一終端之視画； 圆2為圖1所示之進給裝η w沾動部分-·起旋轉到另一终 端之視圖； 圖3為直線運動在"背部位Η ”旋轉的储械迎接放大視圈； 圏4為驅動裝置速度控制之//框關； 圖5為進給裝置使料㈣圃锐-巫直於Μ 1線運動的平面 的蚰與活動部分一起旋轉到·终端之视關； 圖6為麵5所示之進給裝Κ叫沾動部分一起旋轉到另一終 端之視圖； 圖7為直線運動上圍綽-ΐ卩1於U商線運動的平面的蚰旋 轉的機械連接放大視丨跑。 在HI 1和2屮，支柱用1 Λ +，加这升降驅勋裝置用2表示 ，其相對距離表示空鉍穿通丨1 ，進料支承丨牛3與料箱4配合 。為了將薄片狀物體從料箱屮的料匣屮取出和返回*設有 帶進料臂的升降储，《山升降谜驅動裝置之2驅動，在Ζ -方向可轉動，這在1) Ε 4 3 2 Γ) 3 0 J L' 1 Ψ G奋詳則紱述。 如_所示，料匣5與其底板起從料箱4中取出並放置在 ηί自迆料器3下降的板G上* U Β含S 1U F -工鉍所必黹的動 作機構和傳感器。因此|必耑箪握料箱4所處狀態，是否 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐) ~—8 -----.-----装------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（6 Λ7 B7 在 可 即 行 運 中 分 。 部 關固 或;1ί關 ， 打分 否 部 是動者活或一閉有 關設未機 或降 閉升 S3 β 位的 出 分 収部 上 動 。 活 走'α 行槠 間降 之升 :;! \、、 Π II:應 淖對 r分 及位 K 止 位停 回部 返下 和及 位 Μ 出位 取回 部返 L· 和 M 動勺 驅 端 位 ί 泉 终έ止一一^1¾ ® ί π _ 39 * 和 下 活 端8於 終 爪處 1 使 在 第 圍 &: β S 勖 活驅 其機 > $ β, 上刃 1 <二 ί 直 β -il ft 3 1 一 往 立 ¢ 定 固 置 ,,:: RT »1 裝的 動 流 驅電 9-機達 。 件降馬 向 部升和 方爪和號 行有:1信 運具 Τ5 的 米 文 本 柱 立 置 在裝 。 驅 爪 器線的 感直D 傳給 •e 共 /1 1« -- 程有 放部 爪 下 控 的 監問 述 之 置 件 P s 爪 有 具 缸 汽 程 :η· 短 動 氣 的 動 Ζ 作 的 2 11 軌 導 滾 帶 及 Μ 設 作 製 體 導 半 在 定 固 3 仮 底 卞 l-g 迎 械 槠 經 可 置 裝 部 全 上 爝 所 頁 § 箭 用 勺 β 生 產置 八、、 ^ S 3^ Λ3 ^«3 屋 S-

Mt农 氣 hF 置 設 間 之 (請先閏讀背面之注意事項再垓，¾本頁) .裝. 訂 ί .-;h 機 。 轉 革奉 7J . 其 和 II置 往裝 立 風 在通 Μ / 可滤 過 者 viIL K,或 線 經濟部中央標準局員工消費合作.社印製 有 裝 安 内 圍 範 的 ο 3 節 料 3)¾iil Μ 在 可 設 子 電 部 外 構 槠 具出 與 ’ 過要 通播 以果 可如 且 〇 成控 組監 件被 組 Μ 0 合 山抛 « 設 ’ 楢 接各 連的 置程 裝過 與動 纜運 tilltfi Μ不 備 有 程過運置 個裝 一 動 為驅 僅線 M直 可 裝 中 7 動 埋 直 —f I 的 储 ΡΪ ;|· 如 例

板 底 XC 塞 活 ilUJl 活 部 内 有 具 線上 直其 ο » 16分 軌部 導動 動活 滾成 的接 置連 設 互 行 柑 U, 7 其 臂 與爪 及經 %16 15軌 缸導 汽動 線滾 直和 1—_ 氣缸 的汽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210, 公釐） 經濟部中央梯準局Μ工消费合作社印奴 A7 e年、;：ί ί:.〆 五、發明説明（7 ) 固定有爪8，在可調節的角度範圃内可以圍繞一水平面並 與直線運動方向垂直。 如圖3放大部分所示，為了使爪8園鐃釉X-X旋轉•設置 可園饒_H-H旋轉的第一槓桿18，當直線運動時，它探測 埋桿19。連桿19有高度差•其通過在第一槓桿18上固定且 可園縝軸S-S旋轉的傅動桿20轉移到第二槓桿21上，它又 埋接在傅動桿20和爪8之間。第一槓桿18要設計成其有效 槓桿長度以及爪8的旋轉角度可Μ調節。槓桿18的轉袖H-H 與作為連桿的傳動桿20的處於袖S-S中的Dg|合點之間的距 離經調整銷181變化且用固定螺訂182固定。 通通圖中未表示之拉伸彈簧實現第一槓桿18總是與連桿 19鄰接且由此使已旋轉的爪δ停留在要保持的角。 按照圈1所示•自料箱中取出且處於下部停止位的料匣 用爪8藉助於其由馬達驅動的爪構件9握住，並且通過短行 程上升汽缻11所產生的氣動上升運動而升高 > 再通過直線 驅動裝置7使其從直線驅動裝置7活動部分的第一終端輸送 到第二終薄1(半導賊製作設備的料匣位置）。 在到達第二終端之前不久，通過連桿18高度差Η的轉移 •在第二槓桿21上實現爪8轉動，從而使枓匣5圍繞軸Χ-Χ 旋轉，以致於如上所述事先在枓匣5中向前可取出的半導 «片朝上並由此，可取出。 t 在直線距離達到一定長度之後，旋轉停止並達終端，由 短行程上升汽缸11實現下降並放下被固定的料匣5。 爪8放下料匣5並上升回到其靜止位置。升降機驅動裝置 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） .10- 條iL 1 ---------^ 私------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 301016 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、 發明説明（8 ) 1 1 2使升降機的活動部分車先與板6和 料 箱 4的底-- -起再按照 1 上 述 m 入 其 第 一 終 端 ,Μ 致 h'i 料 箱 4關閉並逃行料匣交換。 1 1 在 料 匣 帶 入 半 m 體 製作 設 (,'.1 之 後 t 在 料 匣 運 作空 間中可 請 1 先 1 能 存 在 的 閘 門 m 閉 或ϋ 料 1屮 ill '-P 被 帶 入 半 導體 製作設 H) 1 t 備 〇 1¾ 之 1 注 I 料 匣 從 半 導 體 製 作 設仏ί 中 '1刖 ；1! 則 追 入 返 回 順序 〇 意 事 1 項 I 組 件 22 23和 2 4用 作ill m • 1 .. »α 罝 1 0將 信 號 和 馬達 電流供 再 1 1 填 1 裝 給 爪8的動作槠構和傳感器 中組件22和23分別固定地 頁 1 裝 在 活 動 部 分 終 端 的 固定 部 Ά L 〇 組 件 24固 定 在爪 臂17上 1 I 〇 組 件 22和 23設 有 彈 性觸 點 2!') ffl 26 彈 性 觸點2 7和 28處於 1 1 I 組 件 24上 兩 邊 〇 1 1 由 彈 性 觸 點 25和 26與供 :½ 1 1 0作 連 接 其作 成金觸 訂 1 點 且 圼 加 套 彈 性 金 銷 釘， 由 觸 點 27和 28與 爪 8的傳感器和 1 I 動 作 機 構 作 電 連 接 〇 1 1 | 參 昭 圖 1 爪8處 於 終端 m 觸 點 2 5 ill 2 7接 觸； 參照圖 1 1 線 1 2 •觸點26和28處於终端 ί) 1： ί i w能輸送信號和馬達電流。 活 動 部 分 上 的 觸 點 2 7和 2 8 ii：j 金 m 訂 VX m 可 能 大的 壓力装 1 I 在 固 定 部 分 i: 之 其 對 應物 1: > Μ 速 到 小 的 接 觸 電m 。所需 1 I 的 接 觸 壓 力 由 彈 簧 產 生υ I I 通 過 彈 力 達 到 的 ]: 作α 程 /1: ίίτπ 離 開 之 前 仍 然會 存在短 1 1 時 間 的 電 接 觸 0 1 1 當 爪8直線運動或者旋轉吣 ，迠植供遛則會中斷 。只有 1 I 爪 處 於 終 端 才 會 提 供 ，Μ 致 ft \'1 被 接 受 成 者 轉 交0 1 I 圖 4所示為- -種控制Μ動駆勋裝置7速 度 的 方 案： 即沿著 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（2丨0X2W公釐） A7 Η 7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、 發明説明（9 ) 1 1 活 塞 的 行 程 設 有 兩 條 平 行 的 rj 運 m 路 徑 且 到 终 端 30和 1 1 3 1 它 們 作 為 固 定 擋 塊 遇 Λ-；1 W 乂 ί-i 可 ，调 的 傳 器 32和 33 » 1 1 它 們 由 與 活 塞 連 接 的 解 脫 部 分 制 '—、 請 1 先 白 傳感器3 2和3 3與 電 ,· 裝 η 3 4的 ϊΐί 連 接 要 Μ 信 號 控 制 閱 讀 1 背 動 閥35和 36的運 行 方 向 ϊίιί 改 hiS 器 32和 3 3的 脈 衡 信 號 〇 1¾ 之 1 I 設 置 在 氣 缸 排 氣 管 道 中 的 .一 Mi m 流 止 回 閥37和 38及 39和 40 意 事 1 項 I 與 氣 動 閥35和 36中 —* 個 迪 接 1.丨 再 填 1 當 從 終 端 30運 動 到 終 ?Η'ι] 3 1 ll'f % 由 傳 感 32打 開 閥 門 寫 本 頁 装 I 35 其 時 節 流 止 回 閥38與 37接 通 〇 由 於 驅 動 的 内 部 摩 擦 和 >·' 1 1 I 節 流 止 回 閥 37和 38的 中 m Ιπ^ι' 生 «] 當 高 的 活 塞 最 终 速 度。 1 1 經 傅 感 器 33向 外 運 動 時 \H\ 3 5破 關 m 進 而 節 流 止 回 閥 1 1 38也 關 閉 Ο 活 塞 速 度 m 降 iU 直 到 終 端 31 m 乎 以 正 弦 形 訂 1 m 到 零 〇 平 穩 地 抵 達 終 端 3 1 從 而 避 免 料 匣 屮 半 導 體 片 在 1 I 輸 送 中 的 Μ 動 或 運 動 〇 1 1 | 在 沒 有 影 響 的 情 況 下 百 先 m 1$ 與 傳 感 器 3 3作 越 過 連 接 1 1 涑 的 閥 36接 通 〇 當 從 终 ^0 3 1反 |ί'] rL- 终 Will 3(m 由 m 3β接 通 而 1 被 打 開 的 節 流 止 回 閥39起 作 川 並 a 發 生 如 1: 述 反 向 上 的 1 | 那 捸 的 運 動 過 程 〇 Μ 啟 §} m 器 3 2所 發 出 的 信 號 關 閉 閥 3C 1 I ) 且 活 塞 由 於 節 流 止 回 IM1 3 (J的 關 閉 ifl] 使 其 速 度 降 低 通 過 I 1 I BP 流 止 回 閥 4 0的 作 用 > 則 到 端 30其 速 度 為 零 〇 1 1 Μ 與 前 述 從 終 端30行 «·、 3 1 的 相 Μ 方 式 重 新 開 啟 與 1 1 啟 m 傅 感 器 32逋 接 而 打 間 m .1 Γ) lilj 作 很 小 〇 Μ 反 向 巡 行 1 | 時 » 開 啟 節 流 止 回 閥 3 8 1!1| 有 ft:· JTJ 1 I 通 過 確 定 傳 感 器 32和 33距 端 3 0和 3 1 之 距 離 W 及 停 止 兩 1 1 1 nt 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210:<2r/公釐） A7 B7 經濟部中央榡準局只工消費合作社印製 五、發明説明（ίο ) 1 1 者 共 同 所 臑 的 節 流 Jh 回 閥 3 7 ill 3 8或 者 39和 40 t 則 可 確 定 可 1 1 • 達 到 的 最 終 速 度 〇 1 1 在 前 述 實 施 例 中 當 終 端 ill 傳 感 器 之 距 離 為 90 -1 20 毫 米 /S 請 1 先 ] 時 活 塞 之 速 度 可 達 到 100- 1 Γ> 0 Έ; J (/秒 〇 閥 P! 可 以 採 用 具 間 讀 1 背 1 有 — 個 關 閉 出 P 的2/2通道閥戍古3/2通 道 閥 〇 之 1 注 I 節 流 止 回 閥 37 38 Λ 3 9和 4 0 ίΐ 往 使 排 出 空 氣 作 可 調 節 之 意 事 項 I I 節 流 其 時 空 氣 可 無 Wi 礙 地 山 運 動 方 向 通 過 ϋ 填 1 1 為 此 節 流 止 回 閥3 7和 4 0戏 id 樣 設 置 Κ 便 使 活 塞 總 是 ,j» 本 裝 頁 1 以 所 m ”爬行”（特別鑀慢） 到 终 端 〇 1 1 另 外 也 可 借 肋 於 電 裝 η 3 4達 到 調 制 活 塞 啟 動 時 速 度 1 1 1 〇 最 大 速 度 僅 僅 在 傳 感 器 2 2 -ill 3 i所 設 置 的 位 置 之 間 達 到 〇 1 1 向 上 行 駛 和 制 動 則 要 在 终 :KJ和 傳 感 器 3 3或 傳 感 器 32和 終 訂 1 端 3 1之 間 範 圍 内 進 行 或 者 反 y 亦 m i «Ν 〇 上 述 的 方 案 有 可 能 Μ 1 I m 單 的 方 法 來 影 活 塞 的 速 沏 11 1 1 I 5和6所 示 的 具 體 例 以 y 1 - i 3 所 上 大 部 分 作 變 ib 1 1 線 1 而 構 成 的 直 線 驅 動 裝 置 4 1用 丨1': 料 8丨潮繞垂直於直線運動 平 面 的 軸 旋 轉 因 為 全 部 il Μ 1 如 上 所 述 由 組 件 構 成 f 1 1 故 而 圓 1至3中 所 涉 及 的 方 案 ‘〆· m η: 保 持 不 變 〇 1 I 正 如 直 線 驅動裝置7通過k行程- h升汽缸]1 Μ滑動端可 1 1 作 升 調 整 樣 直 驅 m !!·'· W 4 1在 底 板 4 2 ± 包 含 有 滑 架 1 1 44之導軌 43 爪臂4 5闾 定 it !t 上 〇 在 其 上 部 爪 45設有 1 1 通 過 球 狀 旋 轉 導 向 件 46引 m 和 支 承 的 連 桿 47 爪 臂 45通 過 1 I 其 引 導 K 上 固 有 驅 動 件 48(11 第 -一 擋 塊 49 〇 1 I 驅 動 件48經 連 桿 50與 爪 8迪接、 ^ _心設置的球形萬向節 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X2()7公釐） A7 H7 五、發明説明（1 1 ) 連接件51作為埋桿50的支座 > 其設有附加Μ彈力且可調節 的制動糸統。爪8可旋轉地支承在爪臂45上，通過爪座52 *轉袖Υ-Υ位於一水平面上並與 直線運動方向垂直。在 底板42上固定有第二播塊53，Μ致於當爪臂朝半専體製作 設備方向向前直線運動時•第一擋塊49按照其在連桿47上 固定位置到達本設備，由此連桿47則停留，連桿50之驅動 件48在又作直線埋動時返回且爪8圍繞爪8可旋轉地固定在 爪臀45上的袖Υ-Υ作旋轉運動。 旋轉位置和旋轉角度可以通遇改變連桿47上第一擋塊之 固定，也可Μ通通改變底板42上第二擋塊53之固定來調節 。這樣的效果也可Μ通過改變連桿50的位置來達到。 拉伸猓簧62通過爪»45上的球形旋轉導塊46與驅動件48 連接且在其返回浬動時作為接納連桿47的引出位。 具有彌性觸點58、59、60和61的組件54、55、56和57用 作由供電裝置1 〇供給信號和馬達電流而使爪傳感和動作， 其結構和功能方面與圖1至3中所示相一致。 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印^ ---------； 木-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在升降機的固定和活動部分上也設有具有彈性觸點的這 類組件，其以同揉類別和方式構成並且具有相同的功能， 但在圖中未表示。通過它們·僅僅在終端實現活動部分上 動作機構和傳感器與具有固定的部分或者與固定部分也作 固定連接的部分之間的接觸。 對於進料裝置與半導體設備或者可進給的裝置之連接設 有機械連接件，本文未作詳细敘述。 如DE 4326309C1所述，直線驅動裝置，升降機驅動装置 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ 297公釐） 14 修正買 五、發明説明（i2 Λ7 1)7 。 通 述 開所敍 分件细 室 部詳 化之作 邱 物 不 與送lli 封輸文 密納本 座接 ’ 無 及W 過 Μ K ilifr-fci 均部油 W爪 近 装其郯 動，區 驅爪化 件如淨 部體於 爪物處 i , 爪運孔 及 於之 以對過 --1--；-----A------訂------— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局Μ工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Λ4規格（2丨OX2l>7公餐）

Claims (1)

1. 經濟部中央標率局員工消f合作社印製 修正冬 六、申請專利範圍 1. 一種半導體製作設備之進給裝置，為了使輸送物在固 定部分的兩個终端位置之間移轉，一固定部份支承一個直 線運動的部分藉一傳動裝置在兩個终端位置之間移動，可 動部分在爪臂上設有抓放輸送物之爪，其特徵在於爪臂 (17，45)和爪（8)之間設有使爪（8)於爪臂（17，45)繞爪 (8)之樞軸附件之軸線（X-X，Y-Y)既可作直線運動又可作 旋轉運動的聯接器。· 2 .如申請專利範圍第1項之進給裝置，其特徵在於轉軸 (X - X )位於一水平面且垂直延伸於直線運動之方向。 3 .如申請專利範圍第2項之進給裝置，其特激在於當與 爪臂（1 7 )相連接的第一槓桿（1 8 )起到爪（8 )的旋轉運動與 直線運動之機械連接時，其在直線蓮動時探測呈琨高度差 的連桿（1 9 )並經可旋轉固定的推桿（2 0 )與在爪（8 )工固定 的第二槓桿（21)連接Μ傳送高度差和旋轉運動中之變換。 4 .如申請專利範圍第3項之進給裝置，其特勸在於節調 第一槓桿（18)之有效槓桿長度可Κ調節爪（8)的旋轉角度。 5 .如申請專利範圍第3項之進給裝置，其特徵在於轉軸 (Υ - Υ )位於一垂直面且垂直延伸於直線運動之方向。 6 .如申請專利範圍第5項之進給裝置，其特微在於對於 爪（8 )既可直線運動又可旋轉運動的機械連接，則將Μ偏 心設置的球形萬向節連接件（5 1 )且支承在爪（8 )上的連桿 (5 0 )的驅動件（4 8 )以及第一擋塊U 9 )固定在以球形旋轉導 向件（46)引導且支承的連桿（47)上·當爪臂（45)向前通過 本裝置作直線運動時，使連桿（47)和驅動件（48)停留在固 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） (請先閱绩背面之注意事項洱填寫本頁) 訂 ABCD 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 六、 申請專利範圍 ί 1 b^— 疋 部 分 之 第 二 擋 塊 (5 3 ) 上0 1 1 1 7 . 如 申1 請 專 利 範 圍 第6項之進給裝置 其特徵在於球形 1 1 萬 向 節 連 接 件 (5 1 )設 有 一彈 力 衝 擊 可調 節的制動系 統 〇 請 閱 1 I I 8 . 如 請 專 利 m 園 第 7項之進給裝置 其特徵在於開始 讀 背 1 1 旋 轉 位 置 和 旋 轉 角 度 不 但可 Μ 通 過 改變 連桿（47 )上 第 擋 而 之 ! ! 1 塊 (4 9 )之 固 定 連 接 » 而 且可 Μ 通 過 改變 底板（4 2 )上第 二 擋 意 事 1 項 1 塊 (Γ) 3 )之 固 定 連 接 或 者 改變 連 桿 (5 0 )的 位置來調節 〇 再 1 寫 本 頁 9 . 如 m 專 利 範 圍 第 1至8項 中 任 一項 之進姶裝置 其 特 1 徵 在 於 為 了 控 制 爪 (8 )之功能 僅僅在運動部分的兩個终 1 1 端 上 建 立 起 爪 (8 )的傳感器和動作機構與茌固定部分上供 1 l 給 信 號 和 馬 達 電 流 的 供 電裝 置 (1 0 )之間 的電連接。 1 訂 10 .如申_專利範圍第9項 之 給 裝置 ，其特徴在 於 採 用 1 1 彈 性 觸 點 (25 2 6 27 5 8 59 6 0，6 1 )裝置在電 觸 點 接 1 1 通 組 件 (22 23 2 4 54，5 5 5 6 5 7 )上，其中活 動 部 分 1 1 的 终 端 上 的 固 疋 部 分 裝 有組 件 (22 23 54 ， 55)， 而 活 動 1 ；1 部 份 至 少 裝 有 另 外 組 件 (24 5 6 5 7)， 其時固定部 份 上 的 1 1 彈 性 觸 點 (25 2 6 5 8 59 )與 供 m 裝置 (1 0 )作電連 接 而 1 1 活 動 部 分 上 的 彈 性 觸 點 (27 、6 0 6 η則 由其與傳感 器 和 動 1 1 作 m 構 建 電 連 接 〇 ! 1 11 .如申請專利範圍第1 0項之追給裝置，其特徵在於彈 1 I 性 觸 點 (25 2 6 2 7， 58，5 9 60 6 1 )呈金觸點， Κ 加 套 1 I 彈 性 金 銷 訂 形 狀 出 Μ 1 1 .'1 2 .如申請專利範圍第1項 之 11 給 裝置 ，其特徴在 於 氣 動 I 1 直 m 驅 動 裝 置 (7 4 1 )供爪 8)直 m 蓮動 0 1 1 本紙張尺度速用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（2丨Ο X 297公釐）_2~ J ABCD 六、申請專利範圍 13.如申請專利範圃第12項之進給裝置，其特激在於以 至少一對平行工作且具有相互不同可調節的進氣管的節流 閥控制氣動直線驅動裝置（7，4 1 )的汽缸（1 5 )上的每個直 線運動方向上的速度，Μ及由傳感信號控制在取決於活動 部分的位置的在直線運動方向起作用的節流閥數目和直接 運動的方向。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項之進給装置，其特激在於用 節流止回閥（3 7，3 8，3 9和4 0 )作為節流閥，其可調節地節 流排出空氣，運動方向的空氣可無阻礙地通過。 (請先閱績背面之注意事項再填寫本頁) 、va 1 經濟部中央標準局員工消资合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公康） -3 -