TW398024B - Method to prevent stepper fetch arm from scratching the wafer back and its control device - Google Patents

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1 9 1 8twf.doc/006 A7 1 9 1 8twf.doc/006 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 _B7 _ 五、發明説明（/ ) 本發明是有關於一種半導體微影製程使用之步進機 (stepper)裝置，且特別是有關於一種防止步進機吸氣手臂 (fetch arm)刮傷晶背(wafer back)之方法及其控制裝置。 第1圖是傳統步進機的晶片裝載（loader)傳送系統 (transport system)的部份構件圖。請參照第1.圖’在吸氣手 臂110由側滑動手臂（side slider arm)取得晶片（wafer)130 要送入晶舟(cassette)lOO的整個過程中，均以真空（vacuum) 吸住，直到要將晶片130放將真_空釋放掉。 其缺點爲，在吸氣手臂11〇進入晶舟Π0的過程中（由 A1位置至A2位置），因晶片130碰到晶舟100而產生晶片 位移現象，使得晶片130的晶背與吸氣手臂110接觸的部 份會造成刮傷。 請參照第2圖與第3圖。第2圖爲習知一種步進機吸 氣手臂的控制裝置之電路方塊圖。第3圖爲習知步進機吸 氣手臂的動作時序圖。 在第3圖中，步進機的操作步驟區分爲從晶舟取得晶 片、微影曝光與將晶片放回晶舟等三個操作步驟。吸氣手 臂（fetch arm)的動作分爲前進、後退與停止三種動作。吸 氣手臂的吸氣裝置之真空動作分爲釋邀(非真空狀態） 與圾住，真空（真空狀態)兩種動作。 微影曝光步驟中更包含其他更多的操作程序，不過因 其不是本發明的重點，故不詳述其操作。本發明主要是有 關於如何將晶舟內的晶片取出與放回之操作，並且特別是 有關於將晶片放回晶舟的操作。因此，接下來就本發明所 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X 297公釐） ^ϋ· an·* m m In an· • _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) I918twf.doc/006 A7 B7 五、發明説明（义） 要探討的主題，列舉有關於將晶片放回晶舟的詳細控制操 作。 -—•———————1— •裝 — I I 訂 • J (請先W讀背面之注$項再填寫本頁) 請同時參照第1圖、第2圖與第3圖。習知步進機吸 氣手臂之控制裝置，其包括第一感應器(senS〇r)2〇〇、第二 感應器210、輸入介面（input interface)22〇、微控制器(micro controller)230、輸出介面（〇utputinterface)240 與真空螺線 管閥（vacuum solenoid valve)250。 第一感應器200與第二感應器210用以感應吸氣手臂 110的位置。第一感應器200用以感應吸氣手臂Π0是否 位於A1位置，輸出第一感應信號Sstart ;若其位於A1位置 則輸出邏輯高位準（logic high)信號’若其不位於A1位置 則輸出邏輯低位準（logic low)信號。例如’於t2時刻吸氣 手臂110離開A1位置，於t6時刻吸氣手臂110回到仏位 置。 第二感應器210用以感應吸氣手臂110是否位於A2 位置，輸出第二感應信號Sst〇p ;若其位於A2位置則輸出 邏輯低位準信號，若其不位於A2位置則輸出邏輯闻位準 信號。例如，於t3時刻吸氣手臂110移至A2位置，於t5 經濟部中央橾準局員工消费合作社印裝 時刻吸氣手臂11〇離開A2位置。 一 微控制器230依據第一感應訊號與第二感應信= Sst(3p產生第一控制信號Μ如第3圖所示)來控制真空螺 管閥250開與關，使得吸氣手臂具有釋放真空（非真空狀〜、 與吸住真空（真空狀態）的動作功能。 、〇〇 因此，習知步進機(第1圖）將晶片13〇放回晶舟1 —_J______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨〇’〆297公兼） I918twf.doc/006 A7 B7 五、發明説明（少） 的操作步驟中，在吸氣手臂110開始前進(t2時刻移開A1 位置）之前的tl時刻即吸住真空，並於吸氣手臂11〇停止(t3 時刻位於A2位置)之後的t4時刻再行釋放真空。所以’於 tl時刻至t4時刻，吸氣手臂110都一直維持吸住真空狀 態，在吸氣手臂110前進狀態中，晶片—直被其牢牢 吸住。其缺點爲，在吸氣手臂110前進（由A1位置移至A2 位置)進入晶舟110的過程中，因晶片130可能會碰到晶舟 100而產生晶片位移現象，此時若晶片130 —直吸氣手臂 110牢牢吸住，會使得晶片130的晶背與吸氣手臂I10接 觸的部份造成刮傷。 因此，本發明的主要目的就是要改善習知步進機吸氣 手臂操作，在送入晶片至晶舟過程中防止其刮傷晶背。並 且本發明之另一目的就是要提供一控制裝置，控制吸氣手 臂的操作，符合本發明之需求。 經濟部中央標準局員工消費合作社印褽 --II--————— 華 I — , ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明之主要目的，提出一種防止步進機吸氣手 臂刮傷晶背之方法，其適用於步進機系統中吸氣手臂將晶 片送入晶舟之操作程序；該方法特_徵係於吸m手臂以真空 吸住晶片送入晶赴之前即將吸住晶片的真空釋放掉，藉由 吸氣手臂真空的釋放而減少晶片碰撞晶舟而發生晶片位 移時晶片的晶背與吸氣手臂間的磨擦力，進而防止吸氣手 臂刮傷晶片的晶背。 根據本發明之主要目的’提出另一種防止步進機吸氣 手臂刮傷晶背之方法，其適用於步進機系統中吸氣手臂將 晶片送入晶舟之操作程序；該方法步驟至少包括：（a)在吸 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公董） A7 B7 19 1 8twf.doc/006 五、發明説明（/) 氣手臂往晶舟移動前，先以真空吸住晶片；（b)當吸氣手臂 開始往晶舟移動一特定時間之後且尙未將晶片送入晶舟 時，將吸住晶片的真空釋放掉；以及(c)吸氣手臂將晶片送 入晶舟後，吸氣手臂停止移動。 依照本發明一較佳實施例，其中步驟(c)之後更包括： (d)吸氣手臂於停止狀態時，依序進行吸住真空與釋放真空 動作，用以確認晶片是否位於晶舟之內。 根據本發明之另一目的，提出一種步進機吸氣手臂之 控制裝置，可於吸氣手臂由第一位置至第二位置移動而將 晶片送入晶舟的過程中，先將吸氣手臂的真空釋放掉，減 少晶片碰撞晶舟而發生晶片位移時晶片的晶背與吸氣手 臂間的磨擦力，進而防止吸氣手臂刮傷晶片的晶背；該裝 置至少包括：一第一感應器，用以感應吸氣手臂是否位於 第一位置而輸出一第一感應信號；若吸氣手臂位於第一位 置則輸出邏輯高位準信號，若吸氣手臂不位於第一位置則 輸出邏輯低位準信號；一第二感應器，用以感應吸氣手臂 是否位於第二位置而輸出一第二感應信號；若吸氣手臂位 於第二位置則輸出邏輯低位準信號，若吸氣手臂不位於第 二位置則輸出邏輯高位準信號；一輸入介面；一微控制器， 經由輸入介面接收第一感應訊號與第二感應信號而產生 一第一控制信號；一輸出介面；一真空釋放控制器，經由 輸出介面接收第一控制信號，並且其接收第一感應信號與 第二感應信號於其內部產生一第二控制信號；以及，一真 空螺線管閥，其受真空釋放控制器的控制而使吸氣手臂釋 6 尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（210X297公f --I I I---裝------訂 - . {請先Η讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消费合作社印笨 I9l8twf.doc/〇〇6 I9l8twf.doc/〇〇6 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印裝 B7 五、發明説明（5) 放真空或吸住真空；若第二控制信號爲邏輯低位準，則吸 氣手臂釋放真空；若第二控制信號爲邏輯高位準且第一控 制信號爲邏輯高位準，則吸氣手臂吸住真空；若第二控制 信號爲邏輯高位準且第一控制信號爲邏輯低位準，則吸氣 手臂釋放真空。 依照本發明一較佳實施例，真空釋放控制器更包括： 一第一信號延遲電路，用以將第一感應信號上升緣處延遲 一第一特定時間，可因應不同之手臂移動速度而調整信號 的延遲時間，以確保在吸氣手臂未將晶片送入晶舟前吸氣 手臂即釋放真空；一第二信號延遲電路，用以將第二感應 信號下降緣處延遲一第二特定時間，可預防吸氣手臂未到 達第二位置前吸氣手臂即停止釋放真空；一時序控制電 路，由第一信號延遲電路的輸出與第二信號延遲電路的輸 出產生第二控制信號；以及，一光隔離式電子開關電路， 其以第一控制信號與第二控制信號來控制真空螺線管 閥，而使吸氣手臂釋放真空或吸住真空。 根據本發明之另一目的，另提出一種真空釋放控制 器，其裝設於一步進機吸氣手臂控制系統中，可於吸氣手 臂由第一位置至第二位置移動而將晶片送入晶舟的過程 中，先將吸氣手臂的真空釋放掉，減少晶片碰撞晶舟而發 生晶片位移時晶片的晶背與吸氣手臂間的磨擦力，進而防 止吸氣手臂刮傷晶片的晶背；該控制系統包括第一感應 器、第二感應器、輸入介面、微控制器'輸出介面、真空 螺線管閥與真空釋放控制器，其中，第一感應器用以感應 7 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Μ規格（210X297公釐） I111111 — 裝--- --- 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 9 1 Stwf.doc/006 A7 B7____ 五、發明説明（6) 吸氣手臂是否位於第一位置’第二感應器用以感應吸氣手 臂是否位於第二位置，微控制器經由輸入介面耦接第一感 應器與第二感應器，微控制器經由輸出介面耦接真空釋放 控制器，真空釋放控制器耦接第一感應器與第二感應器’ 真空螺線管閥耦接真空釋放控制器；該真空釋放控制器至 少包括：一第一信號延遲電路，其耦接第一感應器’可將 輸入訊號上升緣處延遲一第一特定時間輸出；一第二信號 延遲電路，其耦接第二感應器，可將輸入訊號下降緣處延 遲一第二特定時間輸出；一時序控制電路，其耦接第一信 號延遲電路與第二信號延遲電路，將第一信號延遲電路的 輸出與第二信號延遲電路的輸出處理後產生一第二控制 信號；以及，一光隔離式電子開關電路，其耦接時序控制 電路、輸出介面及真空螺線管閥，以第二控制信號與微控 制器的輸出信號來控制真空螺線管閥，而使吸氣手臂釋放 真空或吸住真空；其中，第二控制信號可強制控制吸氣手 臂釋放真空，於吸氣手臂離開第一位置後之第一特定時間 至吸氣手臂到達第二位置後之第二特定時間之間吸氣手 臂維持釋放真空。 依照本發明一較佳實施例，時序控制器係一 D型正反 器’其以第一信號延遲電路的輸出爲時脈訊號，以第二信 號延遲電路的輸出爲淸除信號，其互補輸出端耦接其輸入 端’且其互補輸出端輸出第二控制信號。 爲讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 顯易懂’下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式.，作詳 8 本紙張尺度顧中Hu家轉（CNS)八4規格（21Qx297公瘦） I-— I I I I I I u ί ^ -- (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1918twf.doc/006 A7 B7 五、發明説明（7) 細說明如下： 圖式之簡單說明： 第1圖是傳統步進機的晶片裝載傳送系統的部份構件 ΓΒΠ 白 XS1 · 圖疋圖， 第2圖爲習知一種步進機吸氣手臂的控制裝置之電路 方塊圖； 第3圖爲習知步進機吸氣手臂的動作時序圖； 第4圖繪示本發明一較佳實施例之一種步進機吸氣手 臂的動作時序圖； 第5圖繪示本發明較佳實施例之一種步進機吸氣手臂 控制裝置； 第6圖繪示一種真空釋放控制器500的實施電路圖； 以及 第7圖繪示光隔離式電子開關電路540與輸出介面 240及真空螺線管閥250的耦接關係圖。 實施例 本發明針對習知步進機吸氣手臂送晶片至晶舟的操 作過程中會發生刮傷晶背情形，提出一改良方案，並提供 —控制裝置來實現此改良方案。本發明在習知的步進機吸 氣手臂控制裝置外加一獨立的真空釋放控制器（vacuum release controller)，以此控制器在習知步進機吸氣手臂將 晶片放回晶舟的步驟中，於吸氣手臂前進開始一段延遲時 間之後就行釋放真空。如此在吸氣手臂進入晶舟過程中， 若晶片碰到晶舟而產生晶片位移現象時，晶片的晶背與吸 9 - - - 1-11- ----- I ------- 丁 Λ3-8 - - (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4规格U10X297公嫠） 1 9l8twf.<ioc/006 A7 B7 五、發明説明（》） 氣手臂接觸的部份因真空已釋放而無吸力，所以不會造成 刮傷。 請參照第4圖’其繪示本發明一較佳實施例之一種步 進機吸氣手臂的動作時序圖。在第4圖中，本發明所提出 步進機的操作步驟、吸氣手臂的動作以及吸氣手臂的真空 動作之區分與習知皆相同，唯獨只有在將晶片送回晶舟的 操作步驟上將吸氣手臂吸住真空與釋放真空的時機做了 改變。接下來’本發明主要探討的主題就是有關於將晶片 放回晶舟的詳細控制操作。 請同時參照第1圖與第4圖。第4圖tl時刻至t8時刻 步進機進行將晶片130放回晶舟1〇〇的步驟，此步驟中的 真空動作爲本發明主要的技術特徵。 (1) tl時刻，吸氣手臂11〇在A1位置維持不動，但吸 氣手臂110開始吸住真空。 (2) t2時刻，吸氣手臂110開始前進，由A1位置往A2 位置移動，此時仍維持吸住真空的狀態。 (3) t3時刻，吸氣手臂110尙未到達A2位置仍在前進， 晶片130尙未被送入晶舟100中，此時吸氣手臂110開始 釋放真空。 (4) t4時刻，吸氣手臂110到達A2位置停止前進，並 且維持釋放真空狀態。 (5) t5時刻，吸氣手臂110停留在A2位置不動，並且 吸氣手臂Π0開始將吸住真空，此動作用以確認晶片130 是否已置入晶舟1〇〇之內。 用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） —.— — — — — II .裝 — I (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) -*1Τ 經濟部中央橾準局貝工消资合作社印装 1918twf.doc/006 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（7) (6) t6時刻’吸氣手臂110仍停留在A2位置不動，但 是吸氣手臂110釋放真空。 (7) t7時刻’吸氣手臂11〇後退，離開A2位置往A1位 置移動’此時吸氣手臂110仍維持釋放真空狀態，並且晶 舟100略往上移動，如此晶片130將被留置於晶舟100之 內。 (8) t8時刻，吸氣手臂no回到A1位置，完成將晶片 130放回晶舟100的步驟。 ‘ 以上吸氣手臂的真空動作，即本發明所提出防止步進 機手臂刮傷晶背之方法。本發明的特徵係於吸氣手臂吸住 晶片要將晶片置入晶舟之前，先將吸氣手臂吸住晶片的真 空釋放掉，藉由真空的釋放來減少晶片碰撞晶舟而發生晶 片位移時晶背與吸氣手臂間的磨擦力，進而防止吸氣手臂 刮傷晶片的晶背。 請參照第5圖，其繪示本發明較佳實施例之一種步進 機吸氣手臂控制裝置。第5圖與第2圖相同的電路，例如 第一感應器200、第二感應器210、輸入介面220、微控 制器230、輸出介面240與真空螺線管閥250等之功能皆 相同，故在此不再贅述。兩圖之不同處在於第5圖多增加 了一個真空釋放控制器500，其取得第一感應信號Sstart與 第二感應訊號Sst()p與習知控制裝置同時作平行處理，可產 生強制吸氣手臂釋放真空的控制信號，並配合習知的第一 控制訊號Se來控制真空螺線管閥250的開與關，使得吸氣 手臂釋放真空或吸住真空。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） - - -I I m I II I < I - - I--- I n X U3 言 . - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 191 8twf.doc/006 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印袈 五、發明説明（/〇) 請參照第6圖，其繪示一種真空釋放控制器500的實 施電路圖。真空釋放控制器500包括第一信號延遲電路 510、第二信號延遲電路520 '時序控制電路530與光隔 離式電子開關電路（photo isolated electronic switch circuit)540 〇 第一信號延遲電路510用以將第一感應器200的第一 感應信號Sstartl升緣處延遲一第一特定時間(第4圖中t3 - t2的時間），可因應不同之手臂移動速度而調整信號的 延遲時間，以確保在吸氣手臂未將晶片送入晶舟前即釋放 真空。 第二信號延遲電路520用以將第二感應器210的第二 感應信號SstC)pT降緣處延遲一第二特定時間（第4圖中t5 - t4的時間），可預防吸氣手臂未停止(第4圖t4時刻)前即 停止釋放真空。 時序控制電路530係由一 D型正反器（D-type flip flop)U2B所組成。D型正反器U2B以第一信號延遲電路 510的輸出Sstart delay(如第4圖所示）爲其時脈信號（clock signal)，以第二信號延遲電路520的輸出Sstop de|ay(如第4 圖所示）爲其淸除信號（clear signal)，其互補輸出端Q耦接 其輸入端D。所以，時序控制電路530由第一信號延遲電 路510的輸出Ssmdelay與第二信號延遲電路520的輸出 SstQp_deuy產生第二控制信號(如第4圖所示），用以控制 真空釋放的時機與時間長短。 光隔離式電子開關電路540其爲一種無接點式開關’ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -1· n n I 訂 _ (請先w讀背面之注$項再填寫本頁) 1 9 1 8twf.d〇c/006 A7 B7 五、發明説明（11) (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 耦接於習知步進機系統的吸氣手臂控制裝置之輸出介面 240與真空螺線管閥250。請參照第7圖，其繪示光隔離 式電子開關電路54〇與輸出介面240及真空螺線管閥250 的耦接翩係圖。光隔離式電子開關電路54〇以第一控制信 號(如第4圖所示)與第二控制信號Sf(如第4圖所示）， 使得信號SP3 2如第4圖所示，用以控制真空螺線管閥250 的開與關，使吸氣手臂吸住真空或釋放真空。 請參照第4圖。由以上之電路操作可知，第一控制信 號S。與第二控制信號Sf配合決定吸氣手臂吸住真空或釋 放真空，其詳細控制狀況如下所述。 (1) 於tl至t3時刻，第一控制信號S。爲邏輯高位準與 第二控制信號爲邏輯高位準，使得信號SP3_2爲邏輯低 位準，因此吸氣手臂吸住真空。 (2) 於t3至t5時刻，第一控制信號8。爲邏輯高位準與 第二控制信號s^·爲邏輯低位準，使得信號SP3 2爲邏輯高 位準，因此吸氣手臂釋放真空。 (3) 於t5至t6時刻，第一控制信號S。爲邏輯高位準與 第二控制信號S万爲邏輯高位準，使得信號SP3 2爲邏輯低 經濟部中央橾準局員工消费合作社印装 位準，因此吸氣手臂吸住真空。 (4) 於t6至t8時刻，第一控制信號Se爲邏輯低位準與 第二控制信號爲邏輯高位準，使得信號SP3 2爲邏輯高 位準，因此吸氣手臂釋放真空。 所以，在本發明的西氣手臂控制裝置的第一控制信號 sc作用與習知相同’但是本發明更以第二控制信號Sf(當 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 1 9 1 8twf.doc/006 Α7 Β7 五、發明説明（丨Μ 其爲邏輯低位準時)來強制吸氣手臂釋放真空，達成本發明 在吸氣手臂未將晶片放入晶舟前即釋放真空之設計要 求。 由上述本發明較佳實施例可知，應用本發明所提出之 防止步進機手臂刮傷晶背的方法及其控制裝置，在不改變 習知所有控制裝置的前提之下，僅多加了一個真空釋放控 制器來強制吸氣手臂釋放真空，就可以達成在吸氣手臂未 將晶片放入晶舟即即行釋放真空之設計要求。如此在吸氣 手臂進入晶舟過程中，若晶片碰到晶舟而產生晶片位移現 象時，晶片的晶背與吸氣手臂接觸的部份因真空已釋放而 無吸力，所以不會造成晶片的晶背刮傷。所以本發明有利 晶片後續製程，且可提昇產品良率。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 和範圔內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者爲準。 ---------^— * . (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）

Claims (1)

1. ^letwf.doc/ooe

   經濟部中央標率局貝工消费合作社印装 六、申請專利範圍 1.一種防止步進機吸氣手臂刮傷晶背之方法，其適用 於該步進機系統中該吸氣手臂將一晶片送入一晶舟之操 作程序；該方法特徵係於該吸氣手臂以真空吸住該晶片送 入該晶舟之前即將吸住該晶片的真空釋放掉，藉由該吸氣 手臂真空的釋放而減少該晶片碰撞該晶舟而發生晶片位 移時該晶片的晶背與該吸氣手臂間的磨擦力，進而防止該 吸氣手臂刮傷該晶片的晶背。 2·—種防止步進機吸氣手臂刮傷晶背之方法，其適用 於該步進機系統中該吸氣手臂將一晶片送入一晶舟之操 作程序；該方法步驟至少包括： (a) 在該吸氣手臂往該晶舟移動前，先以真空吸住該晶 片； (b) 當該吸氣手臂開始往該晶舟移動一特定時間之後 且尙未將該晶片送入該晶舟時，將吸住該晶片的真空釋放 掉；以及 (0該吸氣手臂將該晶片送入該晶舟後，該吸氣手臂停 止移動。 3. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中該方法步 驟(c)之後更包括： (d)該吸氣手臂於停止狀態時，依序進行吸住真空與釋 放真空動作，用以確認該晶片是否位於該晶舟之內。 4. 一種步進機吸氣手臂之控制裝置，可於該吸氣手臂 由一第一位置至一第二位置移動而將一晶片送入一晶舟 的過程中，先將該吸氣手臂的真空釋放掉，減少該晶片碰 衣紙張尺度逍用中國國家榡準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注f項再#寫本頁) 丨裝· 、»! 經濟部中央標牟局負工消费合作社印裂 19l*twf.d〇c/〇〇6 B8 C8 ^___ 、申請專利範圍 撞該晶舟而發生晶片位移時該晶片的晶背與該吸氣手臂 間的磨擦力，進而防止該吸氣手臂刮傷該晶片的晶背；該 裝置至少包括： 一第一感應器，用以感應該吸氣手臂是否位於該第一 位置而輸出一第一感應信號；若該吸氣手臂位於該第一位 置則輸出邏輯高位準信號，若該吸氣手臂不位於該第一位 ®則輸出邏輯低位準信號； 一第二感應器，用以感應該吸氣手臂是否位於該第二 位置而輸出一第二感應信號；若該吸氣手臂位於該第二位 置則輸出邏輯低位準信號，若該吸氣手臂不位於該第二位 置則輸出邏輯高位準信號； 一輸入介面； 一微控制器，經由該輸入介面接收該第一感應訊號與 該第二感應信號而產生一第一控制信號； 一輸出介面； 一真空釋放控制器，經由該輸出介面接收該第一控制 信號’並且其接收該第一感應信號與該第二感應信號於其 內部產生一第二控制信號；以及 一真空螺線管閥，其受該真空釋放控制器的控制而使 該吸氣手臂釋放真空或吸住真空；若該第二控制信號爲邏 輯低位準’則該吸氣手臂釋放真空；若該第二控制信號爲 邏輯高位準且該第一控制信號爲邏輯高位準，則該吸氣手 臂吸住真空；若該第二控制信號爲邏輯高位準且該第一控 制信號爲邏輯低位準，則該吸氣手臂釋放真空。 表紙張尺度適用中國S家揉率（CNS ) A4規格（210X297公釐） » - _ --------，.裝------ir1 - - (請先閱讀背面之注f項再填寫本頁)

   1 9 1 8twf.doc/006 六、申請專利範圍 5.如申請專利範圍第4項所述之蒙置，其中該真空釋 放控制器更包括： 一第一信號延遲電路，用以將該第一感應信號上升緣 處延遲一第一特定時間，可因應不同之手臂移動速度而調 整信號的延遲時間，以確保在該吸氣手臂未將該晶片送入 該晶舟前該吸氣手臂即釋放真空； 一第二信號延遲電路，用以將該第二感應信號下降緣 處延遲一第二特定時間，可預防該吸氣手臂未到達該第二 位置前該吸氣手臂即停止釋放真空； 一時序控制電路，由該第一信號延遲電路的輸出與該 第二信號延遲電路的輸出產生該第二控制信號；以及 一光隔離式電子開關電路，其以該第一控制信號與該 第二控制信號來控制該真空螺線管閥，而使該吸氣手臂釋 放真空或吸住真空。 6·如申請專利範圍第5項所述之裝置，其中該時序控 制器係一 D型正反器，其以該第一信號延遲電路的輸出爲 時脈訊號，以該第二信號延遲電路的輸出爲淸除信號，其 互補輸出端耦接其輸入端，且其互補輸出端輸出該第二控 制信號。 7.—種真空釋放控制器，其裝設於一步進機吸氣手臂 控制系統中，可於該吸氣手臂由一第一位置至一第二位置 移動而將一晶片送入一晶舟的過程中，先將該吸氣手臂的 真空釋放掉，減少該晶片碰撞該晶舟而發生晶片位移時該 晶片的晶背與該吸氣手臂間的磨擦力，進而防止該吸氣手 本紙張尺度適用中國«家標率（CNS ) Α4規格（210χ297公釐） --------i-- (請先閱讀背面之注$項再填窝本頁) 訂·— 經濟部中央標率局Μ工消費合作社印轚 l9l8twf.doc/006 B8 C8 pg____ _________ 六、申請專利範圍 臂刮傷該晶片的晶背；該控制系統包括一第一感應器、一 第二感應器、一輸入介面、一微控制器、一輸出介面、一 真空螺線管閥與該真空釋放控制器，其中，該第一感應器 用以感應該吸氣手臂是否位於該第一位置，該第二感應器 用以惠應該吸氣手臂是否位於該第二位置，該微控制器經 由該輸入介面耦接該第一感應器與該第二感應器，該微控 制器經由該輸出介面耦接該真空釋放控制器’該真空釋放 控制器耦接該第一感應器與該第二感應器，該真空螺線管 閥耦接該真空釋放控制器；該真空釋放控制器至少包括： 一第一信號延遲電路，其耦接該第一感應器’可將輸 入訊號上升緣處延遲一第一特定時間輸出； 一第二信號延遲電路，其耦接該第二感應器’可將輸 入訊號下降緣處延遲一·第一特定時間輸出； 一時序控制電路，其耦接該第一信號延遲電路與該第 二信號延遲電路，將該第一信號延遲電路的輸出與該第二 信號延遲電路的輸出處理後產生一第二控制信號；以及 一光隔離式電子開關電路，其耦接該時序控制電路、 該輸出介面及該真空螺線管閥，以該第二控制信號與該微 控制器的輸出信號來控制該真空螺線管閥，而使該吸氣手 臂釋放真空或吸住真空； 其中，該第二控制信號可強制控制該吸氣手臂釋放真 空，於該吸氣手臂離開該第一位置後之該第一特定時間至 該吸氣手臂到達該第二位置後之該第二特定時間之間該 吸氣手臂維持釋放真空。 木紙張尺度逍用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） I .----- 裝-- (請先《讀背面之注f項再球寫本頁) ,11 經濟部中央揉率局員工消费合作社印装 1918twf.doc/006 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 8.如申請專利範圍第7項所述之裝置，其中該時序控 制器係一 D型正反器，其以該第一信號延遲電路的輸出爲 時脈訊號，以該第二信號延遲電路的輸出爲淸除信號，其 互補輸出端耦接其輸入端，且其互補輸出端輸出該第二控 制信驍。 I-------裝------訂i (請先Η讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家#準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） i