:578012 A7 r~-------------!Ζ_______ 五、發明説明（ι ) t明背景 多軸干涉計一般係將一雷射束分成數個分離的輸入 束，其中對於干涉計的各個軸線具有一個輸入束。輸入束 之間的分隔距離係取決於干涉計的幾何形狀且必須對於測 量束提供足夠的分隔距離藉以決定所測量物體的俯仰及偏 搖。一般而言，為了精確地測量一物體，測量束必須在時 禾小於數個arcseconds的一小角度公差内彼此平行。 剪板分光器可在干涉計中產生分離的輸入束，剪板分 光器基本上係為一種具有兩平行表面的玻璃板，一光束在 一第一表面上進入剪板分光器並在一第二表面上部份地透 | 射，束的透射部份形成一第一輸入束，内反射部份隨後在 離開第二面之前係一次或多次反射離開剪板分光器的内表 面以形成一第二輸入束。因為可以高精確度方式令剪板分 光器的表面相平行且平坦，兩輸入束係保持平行。 剪板分光器的一項缺點在於：需要較厚且較長的玻璃 板以在束之間達成較大的分隔距離。因此，剪板分光器對 於某些應用可能過大。 一菱形/稜柱組合件係為可將一束分割成兩個分離的 平行束之另一種光學系統，一菱形/稜柱組合件一般係包括 一菱形元件以及附接至菱形元件之一稜柱。在具有一個輸 入的情形中，與稜柱的一第一面呈垂直進入的一束係在稜 柱與菱形元件之間的介面受到部份地反射，反射部份係離 開稜柱且形成一第一束。透射部份係移行於菱形元件的長 度、自與稜柱的介面呈平行之菱形元件的一表面產生反 ' ' ' 1 - -衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） · 4 _ . .----------------------------------卜訂」--------------——, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（2 ) 射、並離開菱形元件作為與第—束平行之—第二束。藉由 _菱形元件的長度而非厚度來衫束之間的分隔距離，為 此，菱形/稜柱組合件不必增加厚度來增加束的分隔距離， 因而不具有剪板分光器相關的尺寸問題。 菱形/稜柱組合件之缺點在於：由個別菱形及稜柱組件 來製造這些組合件時將需要以極高精確度來製造個別組 件，且將稜柱膠合至菱形元件的方法必須同樣地精確。在 離開的束必須呈現數個arcsec〇nds以内的平行時這些困難 (尤其是在菱形與稜柱元件的面之間需要精確角度）將會使 得菱形/稜柱組合件的製造產生問題。 對於一干涉計而言，一剪板分光器及/或一菱形/稜柱 組合件係可在一剛性基底上安裝有一偏振分光器（pBs)、一 或多個參考豸面及其他光學元件。必多貝由一種物理及熱性 穩定的材料來製造用於使諸如PBS及參考鏡面等分離組件 保持對準之基底。 依此方式分別安裝重要組件之缺點係在於：即使安裝 結構由一種穩定材料製造，仍將因為安裝結構的熱膨脹而 產生不穩定的測量。 發明概沭 根據本發明之一態樣，製造一菱形組合件時，首先將 在一或多個表面上具有光學塗層之玻璃板平行地放置。在 切割、研磨及拋光藉以形成菱形組合件的額外光學表面之 前，將平行的板膠合在一起。菱形組合件的組件元件係彼 此自動匹配’因為在元件剛性附接之後才形成組件的光學 578012 五、發明説明（3 ) 表面，在附接分離的預成形組件時並不會遭遇困難。依此 製成的菱形組合件係可解決剪板分光器的相關尺寸問題並 了擴充長：供二個或更多個分離的束。此外，此製造方法可 允許用相同的平行板來分批製造多個分離的菱形組合-件。. 根據本發明之一種特定方法係在一第一玻璃板的一表 面上形成一塗層、將第一板膠合至一第二玻璃板且在第一 及第一板片之間具有塗層、以一銳角平行切過第一及第二 玻璃板、以光學公差光製部份或全部所生成的平行表面， 藉以製造一菱形組合件。在作出平行切割之前，可膠合一 或多個額外的玻璃板並在相鄰成對的板之間具有額外的塗 層平行切割係切過所有的膠合板，而且所生成的菱形組 合件係包含與膠合的板一樣多的元件。可藉由切割及光製 一組合件的一端點將一個菱形元件轉變成一稜柱。 根據本發明之另一態樣，一積體束操作光學結構係可 包括一或多個菱形組合件以及光學附接至一積體全體内之 其他光學元件，藉由分離元件的附接可提供一種不佔體積 輕重量的構造且具有令光學元件的表面保持相對定向之熱 穩定性。為此，一種具有積體束操作光學裝置且不佔體積 的干涉計係可提供測量穩定度以及許多的測量軸線。 一種特定實施例中，係將一高反射性（HR)塗層直接放 置在一四分之一波板上、或光學附接至一偏振分光器（pBs) 的其他元件上，藉以增加測量穩定度。HR塗層係形成相對 於PBS具有一穩定位置與定向之一參考鏡面，如此消除了 一 PBS與參考鏡面之間可能的相對動作並且不再需要一分 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇χ297公楚） ------.------,·--------0^—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨.訂| 578012 A7 _____— _ B7 五、發明説明（4 ) 離的參考鏡面。 本發明的一項特定實施例係為一種干涉計，此干涉計 係〇括 PBS，其定向為將一輸入束分割成一參考束及 一測置束；一偏振改變元件，其譬如為四分之一波板且光 學附接至PBS的一表面並位於一參考束的一路徑中；及一 反射性塗層，其位於偏振改變元件上。反射塗層係經由偏 振改變元件將參考束反射回去並回到pBS中。諸如一反射 為等其他tl件係可光學附接至PBS，使得達到對於測量束 的輸出部之參考束的整體路徑係位於積體束光學裝置結構 内0 本發明的另一項實施例係為一種包括一 PBS以及光學 附接至PBS的一第一菱形組合件之干涉計，第一菱形組合 件係接收一第一束並將第一束分成導入pBS中的多個輸入 束。干涉計可進一步包括光學附接至pBS之一第二菱形組 合件，第二菱形組合件係接收一第二束並將第二束分成多 束，來自第二菱形組合件的一束係為輸入至第一菱形組合 件之第一束。一般而言，來自第一菱形組合件的束係沿著 一第一軸線彼此分離，且來自第二菱形組合件的束係沿著 與第一軸線垂直的一第二軸線彼此分離。 干涉計可進一步包括光學附接至pBS&第二菱形組合 件之一或多個光學元件，這些光學元件各從第二菱形組合 件接收另一束並將一或多束導往pj3s，這些光學元件各可 譬如為一菱形元件或為另一菱形組合件。 本發明的另一實施例係為一種干涉計，此干涉計係包 家標準（CNS) A4規格（21GX297公㈤—-Π~- -----------------------裝------------------訂------------------線 (請先閲讀背面之注意事项再填寫本頁〕 578012 A7 B7 五、發明説明（5 ) 括··一 PBS，其定向為將一輸入束分割成一參考束及一測 量束；及一菱形元件，其光學附接至PBS並定位為從PBS 接收測量束。菱形元件係對應於一測量反射器的位置而使 測量束的位置產生偏移並可提供比PBS原本可容納者-更大 之位於測量束之間的一分隔距離。一般而言，干涉計亦包 括參考束的路徑對於PBS之一延伸部，此延伸部的長度係 可使得經過延伸部的參考束的一光學路徑長度與測量束的 一光學路徑長度相匹配。當一參考束的光學路徑長度與橫 越測量反射器中的玻璃之一測量束的光學路徑長度產生匹 配時，可以添加或取及方式提供一延伸部，這些延伸部可 為PBS的一部份、或為光學附接至PBS的分離式元件。 圖式簡箪說明 第ΙΑ IB 1C圖顯不在一種以兩個平行玻璃板製造菱 形組合件之製造方法期間所形成之結構； 第1D及1E圖顯示對於一綠白紅Λ金 飞、檀包括兩曼形元件之菱形組 合件之替代性束路徑； 第1F圖顯示用於形成一種向紅 凡種包括一曼形元件及一稜桎 的菱形組合件之另一切割； 第1G及1Η圖顯示包括一菩并； 曼形兀件及一稜柱元件之菱 形組合件的其他束路徑； 第2Α圖顯示在一種由二+ 裡田一個+仃玻璃板形成菱形組合 件之製造方法期間所作出之切割； 第2B圖顯示對於一種包括二 個曼形兀件的菱形組合 件之一束路徑的側視圖； 本紙張尺《财關緖準(⑽A4規 -----------.---------ΦΜ------------------·訂···------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（6 ) ★第2CT圖顯示用於_種包括兩菱形元件及—稜柱元件 的菱形組合件之一束路徑的側視圖； 第3A及3B圖分別為根據树明的一項實施例之一種7 軸干涉計的等角圖及正視圖； 第4A、4B、4C及4C圖顯示類似於第3A&3B圖的7軸干 涉計之-種干涉計的選定水平剖Φ中之選定束路徑； 第5圖為根據本發明一項實施例之一種干涉計系統的 方塊圖。 不同圖式中使用相同代號來代表類似或相同物件。 詳細描述 ，根據本發明《一態樣，一種菱形組合件之製造方法係 製造菱形組合件而不需分別製造菱形或稜柱元件或將菱形 或稜柱元件膠合在一起，取而代之係將具有適當塗層的平 行玻璃板膠合在一起然後切割、研磨及拋光以形成數個菱 形組合件。對於各組合件，切割、研磨及拋光係將組合件 元件予以精密地對準並提供一平面表面，可將此平面表面 黏結至位於一干涉計的一積體束操作結構中之諸如一 p B s 等另一個光學元件。積體束操作結構可進一步包含對於干 涉什的一或多個參考束之整體光學路徑。特定言之，積體 結構可包括諸如四分之一波板及參考反射器等元件，這些 疋件係相對於附接此等元件且作為一積體全體的一部份之 PBS具有穩定的構造。菱形組合件及積體結構係提供不 佔積的束光學裝置，藉以生成一種具有許多測量軸線之 不佔體積的干涉計。 578012 A7
五、發明説明（7 ) 第1A至1D圖顯示一種使用兩個光學玻璃板以形成菱 形組合件之製造方法。 第1A圖顯示彼此膠合形成菱形組合件之兩個平行玻 璃板110及120，玻璃板11〇及120係具有平行且平面性的主 要光學表面112、114、122及124，板110及120的厚度係取 決於所製造的菱形組合件的理想尺寸、並取決於平行離開 束之間的理想分隔距離。玻璃板11 〇及120較佳係由相同材 料製造，但其可為任何類型的光學等級玻璃，譬如係適合 採用由BK7或溶合二氧化石夕所製成之玻璃板，且其可製成 足夠的均質性以對於所製造的菱形組合件提供所需要之光 學性質。 一個玻璃板110及120係在位於板11〇與120之間的膠層 上的一主要表面114或122上具有一分光器塗層，一項較佳 貫施例中，分光器塗層係位於一入射束橫越板110與120之 間的膠層前所遭遇到之一主要表面（譬如玻璃板11〇的表面 114)上。 分光器塗層係具有取決於所製造的菱形組合件的理想 性能及行為之特徵’特定言之，菱形組合件中相關入射角 及波長之分光器塗層的透射率及反射率係取決於透射及反 射束的功率之理想比值。極端情形中，可將分光器塗層製 成高度反射性以反射接近100%的入射束、或者接近透明以 透射大部份的入射束。為了產生可在將一輸入束分離成具 有正交偏振的參考及測量束之一干涉計的輸入光學裝置中 所使用之一菱形組合件，透射率及反射率應幾乎與入射束 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂| 五、發明説明（8 ) 的偏振無關，一適當的分光器塗層的設計係嚴格地取決於 所使用光線的波長以及透射功率對於反射功率之理想比 值。一般而言，此等塗層包括多層之兩種或三種具有不同 折射率的不同材料，此技藝中已瞭解此等塗層的設計技 術，且可採用習知的分光器塗層，這些塗層亦可購自包括 加州聖i合克拉瑞的多米納公司（D〇minar Inc )等多處來源。 對於BK7玻璃而言，適合利用諸如得自桑默司光學 (Summers Optical)的type M-62等一種折射率匹配性光學黏 結劑來附接玻璃板Π0及120。所生成的膠層的厚度通常約 為10微米，但此厚度並不重要，但是膠合方法的精密平行 度應可使板11 〇及120的表面保持彼此平行以免生成具有 一楔角的一膠層而擾亂了離開束。本發明的一項實施例係 採用一干涉計，以在膠合及/或固化方法期間精密地控制板 110及112的定向。 如第1A圖所示，膠合方法產生了經附接的板11〇及 120 ’其中板11 〇在一端點上延伸超過板12〇邊緣一段距離 D1，且板120在相對端點上延伸超過板ιι〇邊緣一段距離 D2，距離D1及D2係可降低一種後續切割方法所產生的廢 料量，距離D1及D2—般係取決於各別的板11〇及12〇的厚度 以及切割角度。 第1B圖顯示對於板110及120的主要表面η〕、114、 122、124呈一銳角（典型為45。）所作出之平行平面性切割 130’藉以產生數個胚材140’各胚材140具有呈現平行四邊 形的一剖面，一種可製造光學元件的鑽石鋸或其他習知裝 11 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 578012 A7 B7 五、發明説明（9 ) 置可產生平行的切割130，對於各胚材140，切割130所產生 的至少一個表面且通常兩個表面係依光學公差進行光製 (譬如研磨及拋光）。譬如可使用一心軸拋光器或其他習知 裝置之習知的研磨及連續拋光來進行所需要的光製且不會 顯著損害元件之間的膠層，各組合件140的新拋光表面較佳 係彼此平行，但經拋光表面的平行精密度一般並不重要。 如第1C圖所示，各胚材14〇所具有的寬度冒係等於原 始玻璃板110及120的寬度，當胚材140足夠寬時，平行切割 132可將各胚材140分成數個菱形組合件1 5〇，切割1 32形成 的表面一般並非菱形組合件丨5〇的表面所以不需研磨或拋 光。當菱形組合件經設計容納多個輸入束時，可依據諸如 所需要的結構性強度或剛性、通過組合件之光束直徑以及 束的分隔距離等因素來調整各菱形組合件丨5〇的寬度（亦即 切割132之間的分隔距離）。 在空氣-玻璃介面上一般需要防反射性（AR)塗層來降 低反射造成的能量損失，因此，一菱形組合件的輸入及輸 出孔徑時常需要一AR塗層。因為在製造對於環境呈現強固 的AR塗層時通㊉係需要會破壞菱形組合件中的嵌設膠層 口口貝之冋溫私序，所以在形成菱形組合件之後形成一 ar 塗層將會產生困難。根據本發明的一態樣，可將一具有一 AR塗層的光學元件黏結至菱形組合件上，使一輸入束進入 菱形組合件或使一輸出束離開菱形組合件。藉由將光學元 件黏結至一菱形組合件，將可提供一 AR塗層且菱形組合件 不再需要承受高溫。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨丨訂-
578012 A7 B7 五、發明説明（10 第1D至1E圖顯示通過一種包括從板丨丨〇及丨2〇切割的 兩個附接菱形元件115及125之菱形組合件150的其他束路 徑。第1D圖的束路徑係從一原始束B〇提供兩平行離開束B! 及B2 ’原始束B0係與菱形組合件15〇的一表面142呈垂直入 射’且可造成一個具有一 AR塗層丨42的光學元件16〇藉以降 低從表面142反射的束B0所產生之光學功率損失。光學元 件160係可為一光學窗口、將束B〇重新導往表面M2的法線 方向之一稜柱、或為在束B0的空氣-玻璃介面上具有一 塗層之任何元件。如下文進一步描述，當菱形組合件15〇 附接至可提供輸入束之一組合件時、或來自菱形組合件丨5〇 的輸出束直接進入玻璃中時，並不需要可提供AR塗層之光 學元件160。 對於第1D圖的束路徑，束B0在菱形組合件115中的表 面112上經歷一全内反射。藉由表面112的45。角切割丨3〇， 内反射的束係與表面142及144呈平行引導並以從45。到法 向的方向撞擊菱形元件115與125之間的分光器塗層，分光 器塗層係反射一部份的内束以提供離開束B卜束B1與表面 144或菱形元件11 5呈法向離開，透射過分光器塗層的一内 束係在菱形元件125的表面114上經歷全内反射以產生離開 束B2，此離開束B2與表面144呈法向離開。分光器塗層的 性質係決定了離開束B 1及B2的強度比值。 本發明的此項實施例中，菱形元件115及125具有45。 及135°内角的平行四邊形剖面，且板11〇的原始厚度係為 入射束B0與離開束B1之間的分隔距離除以W，板12〇的原 13 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 578012 A7 --—-___B7____ 五、發明测（~"-- 始厚度係為離開束B1與B2的分隔距離除以。 #於第1E圖的束路徑，一原始束B〇,係與菱形組合件 150’的表面142呈垂直入射並於元件115與丨25之間入射在 分光器塗層上。一個具有一八!^塗層的光學元件16〇，像光學 附接在菱形組合件150的輸入孔徑i，原始束則，中透射過 分光器塗層的部份係形成與離開光學元件16〇，的束呈共線 狀之離開束B1，自第一分光器塗層反射之束係與表面142 呈平行狀移行直到於表面丨24上經歷全内反射形成離開束 B2為止。 對於兩束路徑，束B1及B2之平行精密度主要係取決於 表面114及124之平行精密度，本發明的製造方法因為可使 板110及1 20產生高度精密的平行且可以精確地控制對於板 110及120的膠合程序所以可提供高度平行的束則及]32。相 反地’一種在膠合之前形成菱形元件115及125之方法將在 分離的菱形元件中產生角度誤差與差距以及膠合誤差而對 於膠層造成一楔角。特定言之，當膠合分離及較小的菱形 元件時，將更難以精確地控制膠合。 藉由對於板110及120的主要表面具有45°的切割130 以及具有與表面丨42呈法向入射之一束，可避免在表面142 上之輸入束以及在表面144上之離開束B1及B2的折射影 響。然而’對於入射束或者菱形元件的内角之其他角度係 亦可提供平行的離開束。 在一種恰包括菱形元件之菱形組合件的一項替代方式 中，根據本發明的製造方法亦可製造包括棱柱元件之菱形 衣紙張又度適用中國國家標準（CNs) A4規格（21〇χ297公釐） 14 ---------费--------…：…訂：-------------费---------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 578012 A7 ---—____Β7 ___ 五、發明説明（12) 組合件。為了在一菱形組合件中製造一稜柱元件，可如第 1F圖所示在一組合件150的一端點上與表面142及144垂直 作出一切割1 34。切割134將菱形元件115轉變為一稜柱 117, 一般可在切割132之前進行切割134及新形成表面的光 製（第1C圖）。 如第1G圖所示所生成的菱形/稜柱組合件丨55係可接收 與菱形組合件155的表面142呈水平引導之一原始束B0，，藉 以取代與菱形組合件15〇的表面142呈垂直之入射束B〇。為 此，切割134產生的表面係研磨及拋光以生成一光學表面， 且一個具有一 AR塗層的光學元件160,，係可附接至表面 134,藉以降低因為一空氣—玻璃介面上的反射所造成入射 束B0產生之能量損失。或者，菱形/稜柱組合件15 5可接收 與表面142垂直且直接入射在分光器塗層上之原始束B〇,。 可擴充上述的製造方法以合併三個或更多個平行平面 板並在沿著一軸線的任何理想分隔距離處提供三個或更多 個離開束。第2 A圖顯示一種製造方法，其中三個平行玻璃 板2 1 0、220、230係膠合在一起且在三個板的兩介面上具有 刀光器塗層（譬如，在板21〇的表面214及板220的表面224 上），最容易藉由首先將板210、220、230其中兩者膠合在 一起、並在兩板已充分固化之後膠合其餘的板之方式來控 制穋合程序，在板210、220、230、分光器塗層及膠層中將 板210、220及230結合在一起之材料係與上述第丨八至抒圖 所描述者相類似或相同。 利用類似第1B及1C所顯示的方式將經膠合的板21〇、 本纸戌尺度適用中國國家標準（m) A4規格公楚） 15 ------------------------裝—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂丨 :線丨 578012 A7 I----^-- 五、發明説明（13 ) 220及230切割、研磨及拋光，以形成諸如第2B所示包括三 個菱形元件215、225及235之菱形組合件250等菱形組合 件。第2B圖亦顯示一種用於從原始束B0產生三個離開束 Bl、B2及B3之束路徑，若原始束B0偏移而直接入射在菱 开^元件2 1 5與2 2 5之間的分光器塗層上，則產生一替代性束 路徑（未圖示）。 第2C圖的一菱形組合件255係包括一稜柱元件217並 可藉由與上述第1 F圖的菱形元件1丨5相似的切割方式來切 割菱形元件2 15而生成。藉由稜柱元件217，菱形組合件2 5 5 可從沿著菱形組合件250長度所引導之一原始束B0,來產生 離開束Bl、B2及B3。 離開束B卜B2及B3的相對強度係取決於分光器塗層的 性質，譬如，為了從第23或2(：圖的原始束Β〇4Β〇，產生三 個強度相等的束Bl、Β2及Β3，在菱形元件225及215或217 之間介面上的分光器塗層係反射三分之一的入射強度並透 射二分之二的入射強度，且菱形元件225及235之間介面上 的分光器塗層係具有相等的反射率及透射率。 菱形組合件150、155、250及255係具有平面性且不受 階級、破裂或常出現在利用傳統製造方法膠合在一起之相 ”形或稜柱元件之間介面上的其他不連續性之光學輸出 .表面丨44及244。藉由傳統的製造方法，因為相鄰菱形或棱 I. 柱元件巾的兩角度並未精確具有刚。總和、及/或因為膠合 期間位於元件之間的一相對扭曲或平移，所以會造成輸出 表面中的一階級或破裂。若在輸出面的平面中無階級或破 一— 丨—一 -- - 本纸張尺度朝巾關_準ί㈣Μ規;7^10X297公^-~ -一__ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
578012 A7 B7 五、發明説明（l4) 裂，將可使得菱形/稜柱組合件光學式接觸至或以折射率匹 配性光學黏結劑直接黏結至一干涉計之一 PBS的輸入面。 如此可免去使用破壞束的平行性之空氣/玻璃介面，並且當 兩者光學接觸或黏結時，在菱形/稜柱組合件輸出面或PBS 的輸入面上並不需要防反射性（AR)塗層。 第3 A及3B圖為一種包括積體束光學裝置之7軸干涉計 300之立體圖及正視圖，其中菱形組合件310、320及326係 光學附接至一 PBS330。更特定言之，菱形組合件310直接 附接至菱形組合件320及326的輸入表面，菱形組合件320 及326直接附接至PBS330。 除了菱形組合件3 10及320附接至PBS330之外，7軸干 涉計300的積體光學裝置係包括：PBS3 30的延伸部33 5及 337，四分之一波板34卜 342、343、344、345、346、347A、 347B ;頂角反射器 361、362、363、364、365、366 ;四分 之一波板371、372、373、3 74、375、.3 76、3 77 ;及直接或 間接附接至PBS330之菱形元件397A及397B。參考反射器 係實行為位於各別四分之一波板37卜372、373、374、375、 376、377上之高反射性（HR)塗層 38卜 382、3 83、3 84、385、 386 、 387 〇 此7軸干涉計300的分離元件係可經由一光學接觸而彼 此呈光學附接，其中分離元件的平坦表面彼此係為分子性 結合而不需要光學黏結劑。或者，一種折射率匹配性光學 黏結劑可將部份的或全部元件進行光學附接，所有這些元 伴的光學附接係提供一種不佔體積的束光學裝置結構，其 衣紙張尺度適用中因國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 17 裝------------------、可------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 578012 A7 B7 五、發明説明（15 ) ^ 不需要對於各種元件作分別的安裝。除了不佔體積外，因 為一女裝板的熱膨脹或彎曲均不會改變元件的相對定向， 所以此等束光學裝置係極度穩定。 參照第3A與3B圖以及第4A、4B、4C與4D圖進一.步描 述譬如干涉計300中等一種積體結構中之光學元件的功 能，在第4 A、4B、4C與4D圖顯示之束路徑及結構性構造 中’測量束及輸入束係具有與來自第3 A及3B圖結構的測量 束及輸入束不同之定向。特定言之，第3 A及3B圖顯示之一 種構造中’測量束起初係通過PBS塗層332並且從與輸入束 進入PBS330的表面相對之PBS330的一側出現。相反地，第 4A、4B、4C與4D圖顯示的構造中，測量束起初係從pBS 塗層332反射並且從與輸入束進入pBS33〇的表面相鄰之 PBS330的一側出現。 如第3A圖所示，菱形組合件310係包括具有將輸入束 IN分割成四個平行束的功能之四個菱形元件3 u、3丨2、 3 13、3 14。一個附接在菱形組合件3 1 〇的輸入孔徑上之光學 元件3 1 5係為具有一 AR塗層以降低因輸入束in反射所造成 的能量損失之稜柱。稜柱3 15係依據輸入束IN的來源位置 而定向，且此來源位置在第3A圖中恰為PBS330的一側。或 者’稜柱31d可改變定向、或是可由一光學窗口取代稜柱315 作為一具有不同位置的束來源。 第3A圖的定向中’菱形組合件310係接收輸入束in並 生成干涉計300的不同水平平面中所使用的四束之間的垂 直分隔距離。 18 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 木纸張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 578012 A7 B7 五、發明說明（Ιό 菱形組合件310中，來自菱形元件的一底表面之全内反 射係將輸入束導往位於菱形元件3 11與3 12之間的一第一分 光器塗層。來自第一分光器塗層的反射係產生一束，此束 係為對於菱形組合件326的輸入並且位於干涉計300的，七條 測量軸線其中兩者的一平面中。透射過菱形組合件31〇的第 一分光器塗層之束係具有輸入束IN的其餘功率並入射在 位於菱形元件312與313之間的一第二分光器塗層上。 第二分光器塗層係反射一部份的入射能量，且從第二 分光器塗層反射之光係形成直接導入PBS330中之一輸入 束’一個具有一 AR塗層的光學元件325係在束離開處附接 至菱形組合件310。PBS330的一後表面係在從菱形組合件 310的第二分光器塗層所反射之束的空氣-玻璃介面的區域 中具有一 AR塗層（PBS330上的AR塗層只位於選定區域 中’藉以避免諸如菱形組合件320及326光學接觸PBS330之 區域）。具有與菱形組合件32〇及326相同厚度之一塊玻璃係 可充填菱形組合件310與PBS330之間的間隙以消除空氣-玻璃介面。 一個位於菱形元件3 13及3 14之間的第三分光器塗層係 經由第二分光器塗層接收光並反射部份的入射能量，從第 三分光器塗層反射的光係形成對於菱形組合件320之一第 一輸入束，菱形組合件320的第一輸入束係使用於含有干涉 計300的七條測量軸線其中兩者之另一平面，透射過第三分 光器塗層之光係在菱形組合件3丨〇的端點經歷了全内反射 並且形成對於菱形組合件320之一第二輸入束。菱形組合件 衣紙張又度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2i〇X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- ·、τ· :線丨 578012
發明説明 320的第二輸入束係使用於含有干涉計3〇〇的七條測量軸線 其中另兩者之一平面。 第4A及4B圖顯示在經過菱形組合件32〇的一水平平面 中與兩測量軸線相聯結之測量束及參考束的束路徑。如圖 所示，從菱形組合件310至菱形組合件32〇之輸入束係入射 在位於菱形組合件320的元件之間之一分光器塗層上。第 4A圖僅顯示經由分光器塗層透射入pbS330的光所產生之 束，第4B圖顯示自菱形組合件320端點及分光器塗層反射 入PBS330的光所產生之束。 第4A圖中透射入PBS330中之光係入射在一 Pbs塗層 332上，此PBS塗層332係反射幾乎1〇〇。/。的具有一第一線性 偏振之光、並透射幾乎100%的具有與第一線性偏振呈正交 的一線性偏振之光。自PB S塗層3 3 2反射的光係形成通過四 分之一波板34 1並撞擊一測量反射器350之一外出的測量束 MB1A，四分之一波板341係附接至PBS330作為積體束光學 裝置結構的一部份。 干涉計300中使用的各個四分之一波板係為一種雙折 射材料製成的一板，其中沿著四分之一波板的不同正交軸 線具有偏振之束組份係以不同速度移行，四分之一波板的 厚度係在具有入射於四分之一波板上的波長之線性偏振光 的正交組份之間造成一 90。相位偏移。入射束的線性偏振對 於四分之一波板的軸線係呈現45。，並藉由橫越四分之一波 板而將束的偏振從線性改變為圓形。反射過後，圓形偏振 的光係回行通過四分之一波板並以具有與原始線性偏振呈 20 —— --------费ί: (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂丨 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 578012 A7 B7 五、發明説明（l8 正交的一偏振之一線性偏振的束離開。 第4A圖中，測量反射器35〇係為對準的一平面鏡，使 得測量反射器350將測量束MB1A以束MB1A，直接反射回 去（第4A、4B、4C及4D圖中，將諸如重疊的測量束_4八 及MB 1A專束顯示為彼此分離以增進圖中的清晰程度）。 測量反射器350係安裝在干涉計所測量的諸如晶圓載 具等一結構（未圖示）上，測量反射器3 5 〇的移動將造成測量 束MB 1A’的都卜勒位移，使得測量束MB1A，的頻率與測量 束MB 1A的頻率不同。 經反射的測量束MB 1A’係橫越四分之一波板341並以 PBS塗層332透射的偏振而離開四分之一波板341。測量束 MB 1AM系因而通過PBS塗層332且以對於頂角反射器361的 軸線之一偏移而進入頂角反射器361。頂角反射器361係為 反向反射器（retroflector)故可使一經反射的測量束MB1B 保持平行於測量束MB 1A’。測量束MB 1A，之偏離軸線的進 入係造成經反射的測量束MB 1B自測量束MB 1A’產生位 移，此位移大約係為測量束MB 1A，與頂角反射器36 1軸線的 偏移之兩倍。 具有PBS塗層332透射的偏振之測量束MB 1B係在抵達 測量反射器350之前通過PBS塗層332及四分之一波板 341。在測量束MB 1B自測量反射器350反射為束MB1B’之 前，四分之一波板341係將測量束MB 1B的偏振改變為圓 形。來自測量反射器350的反射係依據測量反射器350的速 度造成進一步的都卜勒位移。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） 21 ---------------------:裝·.................tr---------------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 578012 A7 B7 五、發明説明（19) 測量束MB 1B’係通過四分之一波板341並經歷從圓形 至線性偏振的改變，藉由兩次橫越通過四分之一波板341 將線性偏振有效地旋轉90° 。為此，PBS塗層332係反射測 量束MB1B’以提供一輸出束OB1的一測量組份MBOUT。― PBS塗層332所透射之來自輸入束IN的光線係形成一 參考束RB1A，參考束RB1A係從PBS330進入一四分之一波 板37 1中並從位於四分之一波板371的一後表面上並作為參 考反射器之HR塗層381反射。所產生的反射束RB1A’在撞 擊PBS塗層332之前係經由四分之一波板371反射回去，藉 由四分之一波板371的兩次橫越將線性偏振改變90°，導致 PBS塗層332將參考束RB1A’反射進入頂角反射器36卜藉以 輸出一經過位移的平行參考束RBH。PBS塗層332係反射參 考束RBI1以產生參考束RB1B。 自PBS塗層332反射的參考束RB1B係橫越四分之一波 板371、自HR塗層381反射並以參考束RB1B’返回。兩次橫 越四分之一波板371所導致的90°偏振改變係使得參考束 RB1B'通過PBS塗層332並以輸出束OB1的一參考組份 RBOUT離開 PBS330。 輸出束OB 1係包括來自具有一偏振且對應於測量束 MB1B’之測量束MBOUT、以及來自具有一正交偏振且對應 於參考束RB1B’的測量束RBOUT之光。束MBOUT及 RBOUT係離開干涉計前往一鏡片組合件（未圖示），此鏡片 組合件中，束MBOUT及RBOUT係通過一鏡片以及對於各 東線性偏振呈45 °的一線性偏振器。離開線性偏振器時， -------.-------------------------;訂：------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） 22 578012 A7 _____B7 五、發明説明（20 ) 束產生干涉並生成一測量訊號，且習知的系統電子裝置（未 圖示）將測量訊號的相位與來自雷射之參考訊號的相位加 以比較’藉以決定出沿著與測量束MB 1A聯結的軸線之測 量反射器3 5 0的相對位移。 干涉計300必須對於溫度變化並不敏感，以防止溫度引 起的測1誤差。根據本發明的一態樣，四分之一波板3 71 係光學接觸至PBS330，且HR塗層381係直接位於四分之一 波板371上。或者，HR塗層381可由光學附接至四分之一波 板37 1之任何參考反射器予以取代。一參考反射器（譬如hR 塗層3 8 1)對於偏振改變元件（譬如四分之一波板3 7丨）以及 偏振改變元件對於PBS330之光學附接係使其固定住定向 並改良參考反射器的穩定度，並且不再需要分離的參考鏡 面基材與安裝部。 第4B圖顯示干涉計300中對於與第4A圖相同平面中的 一第二測量軸線之束，第4B圖中，菱形組合件320具有使 輸入束IN位置偏移的作用，結果，測量束MB2A、MB2A，、 MB2B及MB2B，以及參考束RB2A、RB2A，、RB2B、RB2B， 係相對於其各別對偶部份測量束MB1A、MB1A，、MB1B及 MB1B’以及參考束RB1A、RB1A，、RB1B、RB1B，產生偏移。 與對應元件341、36卜37卜381大致相同之元件342、362、 372、382係依據偏移而定位並以上文對應元件所描述方式 作用在經偏移的束上。所以此處不贅述操作細節。 如上述，菱形組合件310對於菱形組合件320提供兩個 輸入束’且該等輸入束彼此係呈垂直偏移。干涉計3 〇 〇的第 各纸張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 23 ",--------------------裝------------------訂------------------線. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 578012
二及第四測量軸線之測量束及輸出束係對於第一及第二測 量軸線具有相同的束路徑，但其分別橫越了元件343、363、 373、383 以及元件344、364、374、3 84。 第4C圖所示的第五測量軸線與第4八及化圖所示的測 量軸線之差異係在於：測量反射器355及測量軸線之位置。 特定言之，第五測量軸線係位於PBS33〇的一側之中央處， 且第五測置軸線採用一反向反射器（譬如頂角反射器）作為 測量反射器355。即使當反向反射器並未精密對準時，來自 一反向反射器的反射束仍平行於入射束。因此，可將測量 反射器3 5 5放置在諸如微影蝕刻設備所用的一投射鏡片等 一裝置上’此裝置中可能不易接近測量反射器355進行對 準。 對於第五測量軸線，經過光學元件325輸入PBS330中 之一部份的束係自PBS332反射並形成一外出的測量束 MB5A，測量束MB5A係橫越四分之一波板345並從第4C圖 實施例中身為頂角反射器之反射器355產生反射。測量束 MB5 A係與頂角反射器355的軸線呈偏移，而使得反射測量 束MB5B與外出的測量束MB5A呈現偏移。測量束MB5B橫 越四分之一波板345並且隨後具有PBS塗層332所透射的偏 振’測量束MB5B自頂角反射器365反射而提供與測量束 MB5A呈共線的一反射束。再度通過PBS塗層332之後，外 出的測量束係通過四分之一波板345、自測量反射器355反 射、回行通過四分之一波板345、及自PBS塗層332反射以 形成一輸出束OB5的一部份。 24 ------------.--------0^..... (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) •訂丨 •參- 表紙張尺度適用中國國家標準（G^S) A4規格（210X297公釐） 578012 A7 __B7_ 五、發明説明（22 ) PBS塗層332所透射之束輸入部份係形成一參考束 RB5A，參考束RB5A在自位於四分之一波板375的表面上的 HR塗層3 85反射之前係通過一延伸部335及四分之一波板 3 75 ’經反射的參考束係回行經過四分之一波板375及延伸 部335並從PBS塗層332反射。參考束隨後自頂角反射器365 反射、再度自PBS塗層反射、且在第二次自HR塗層385反 射之前橫越了延伸部335及四分之一波板385。自HR塗層 3 8 5之反射束的第二反射係提供一束，此束橫越四分之一波 板385、延伸部355及PBS塗層332而變成輸出束OB5的一部 份。 如上述，對於第五測量束之參考束係橫越延伸部335 四次而增加了經過玻璃之測量束的路徑長度。延伸部335 光學附接至PBS330並且較佳由與參考反射器355相同的材 料所製造。或者，延伸部335可為形成PBS330之玻璃的一 部份。根據本發明之一態樣，延伸部335的尺寸將可使得： 包括延伸部335的玻璃之參考束的光學路徑長度係與包括 參考反射器355的玻璃之測量束的光學路徑長度相匹配。 第4D圖顯示包含第3A及3B圖之干涉計300的第六及 第七測量軸線之一平面。對於這些軸線，在菱形組合件31〇 中的第一分光器塗層上所反射之光係進入菱形組合件 326 ’菱形組合件326對於第六軸線透射一束並且對於第七 測量軸線將一束偏移至適當的進入點。第3 a及3B圖的實施 例中，菱形組合件326及320以相反方向從菱形組合件3 1〇 使輸入東水平偏移。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 25 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· :線 /㈧12 A7 、_B7_ __ 五、發明説明（23 ) 第六測量軸線係類似於第五測量軸線定位在PBS330 中央處，但第六測量軸線係從一個身為平面鏡面而非頂角 反射器的測量反射器356產生反射，為此，測量束MB6A及 MB6B並不具有經過測量反射器356的玻璃之額外的路-徑 長度，且參考束RB6A及RB6B並不需要PBS330的一延伸 部，具有HR塗層386的四分之一波板376因此係直接附接至 PBS330 。 第七測量軸線係採用具有比其他軸線所用測量束更寬 的一分隔距離之測量束MB7 A及MB7B，根據本發明之一態 樣，干涉計300係使用菱形元件397A及397B來擴大測量束 MB7A及MB7B的間距，藉由將延伸部337添加至PBS330將 可使得參考束RB7A及RB7B的光學路徑長度等於測量束 MB7A及MB7B的光學路徑長度。相反地，習知的干涉計係 已經採用具有足以容納測量束之間所需要分隔距離的尺寸 之偏振分光器。使用菱形元件397A及397B以及延伸部337 係可有利地減小PBS330的整體尺寸，藉以降低干涉計的尺 寸及重量，並降低了對於一 PBS獲得具有足夠均質的折射 率的大型塊件或玻璃之困·難。 對於第七測量軸線，具有PBS塗層332所反射的偏振之 輸入束部份係形成測量束MB7A，且具有PBS塗層332所透 射的偏振之輸入束部份係形成參考束RB7A。測量束mB7A 進入菱形元件397A，所以測量束MB7A在前往一測量反射 器3 5 7途中通過四分之一波板347 A之前即已使得測量束 MB7A側向位移。 -----J-----W-------------------------: 一-T---------------------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） 26 578012 A7 B7 五、發明説明（24 ) 反射的測量束MB7A’係通過四分之一波板345A、菱形 元件397A及PBS塗層332以進入頂角反射表面366。頂角反 射器366係夠大而足以使得測量束MB7B位移至PBS330的 一相對邊緣，測量束MB7B的路徑係行進通過菱瑕元_件 397B及四分之一波板347B到達測量反射器357，且來自測 量反射器357的反射束MB7B’係回行通過四分之一波板 347B及菱形元件397B以從PBS塗層332反射並形成輸出束 OB7的一部份。 參考束RB7A係在抵達四分之一波板377A及從HR塗層 387A反射之前橫越了延伸部337。反射的參考束RB7A’回行 通過四分之一波板377A及延伸部337，以從PBS塗層332反 射並沿著與測量束MB7A’相同的路徑進入頂角反射器。經 過位移的參考束RB7B離開頂角反射器366、自PBS塗層332 反射、且在從HR塗層387B反射之前橫越了延伸部337及四 分之一波板377B。在測量束MB7B’變成輸出束OB7的一部 份之前，反射的參考束RB7B’則橫越了四分之一波板 377B、延伸部337及PBS塗層332。 延伸部337所具有的-選定長度將可使得：通過參考束 的延伸部33 7之光學路徑長度係與通過測量反射器357中的 任何玻璃以及菱形元件397A及397B之測量束的光學路徑 長度相匹配。藉由具有相同的光學路徑，將可避免原本因 熱膨脹及伴隨光學元件溫度而改變的折射率所造成測量及 參考束之相對光學路徑長度產生改變。本發明的替代性實 施例中，延伸部337可為光學接觸至PBS330之一分離的玻 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 27 -----------------------裝------------------1----------------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 578012 A7 五、發明説明（25 ) 璃元件、或者可為形成PBS33〇的玻璃部份之延伸部337。 藉由第七測量軸線之寬廣分離的測量束MB7A及 MB7B，一第六測量軸線之測量束MB6A及MB6B係可容納 在測量束MB7A及MB7B之間。根據本發明之一態樣，千涉 計對於位在相同水平平面中並定心在相同線上之兩條測量 軸線係使用相同的頂角反射器366。延伸部337具有一切口 部以容納位於與第七測量軸線相同的平面中之第六測量軸 線的四分之一波板376。第4D圖中，第六及第七測量軸線 對於測量反射器356及357使用平面鏡面。然而，藉由利用 頂角反射器作為測量反射器，將可如上述般地對於測量束 在玻璃中提供額外的路徑長度。延伸部337的切口部係可延 伸以容納位於四分之一波板376與！>^33〇之間的一延伸 部° 上述關於一種7軸干涉計之本發明的原理係可應用於 具有任何軸數之干涉計，譬如，為了將另一測量軸線添加 至一特定的水平平面，可由一個具有更多菱形元件的組合 件來取代水平菱形組合件32〇或326，藉以在所需要的位置 提供更多輸入束。為了在一水平平面中僅具有一個測量軸 線’ 一分離的菱形元件或者在元件之間具有一 Hr塗層的一 菱形組合件係可將輸入束水平偏移至對於PBs的理想入口 處’或者可藉由透射輸入束而不偏移之一元件來取代菱形 組合件320或326並將一束從菱形組合件31〇直接導往 PBS330。為了增加或減少包含一或多條測量軸線之水平平 面的數量，可由一個具有更多或更少元件之組合件來取代 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 28 ----- (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁〕 、§' 578012 A7 五、發明説明（26 ) 菱形組合件3 10。 一個如上述具有許多軸線的干涉計係可決定出多個物 體的相對位置及定向，並提供冗餘測量以改良可靠度。此 外，可在有限空間的環境中採用此處揭露之不佔體積的積 體結構，在諸如微影蝕刻裝置等精密環境中極需要此等特 性。 第5圖為一種用於測量反射器53〇的相對動作之示範性 干涉計系統500的方塊圖，干涉計系統5〇〇包括一雷射頭51〇 藉以將一輸入束IN提供予積體干涉計光學裝置52〇，積體 干以《十光子裝置5 2 0係依據第3 A及3 B圖所示之本發明的實 施例或者本發明的任何其他實施例，但第5圖僅顯示一條測 量軸線。 示範性實施例中，雷射頭510係購自安捷倫科技公司 (Agilent Techn〇l〇gies，lnc·)的 5517雷射頭族，雷射頭 51〇 包 括一個2頻He-Ne雷射512，藉由在雷射512中施加一軸向磁 場產生由兩頻率f 1與f2組成之一雷射束的輸出，頻率f丨與f2 彼此接近但係位於具有相對圓形偏振的束中，雷射頭51〇 係將圓形偏振束轉換成一具有頻率fl的線性偏振束及一具 有頻率f2的線性偏振束，兩束具有正交的線性偏振。一光 偵測器514及雷射調整電路516係針對頻率穩定度來調整雷 射5 12,雷射頭51〇中的一光偵測器518係接收及組合兩束的 部份而以兩束的拍差頻率n_f2產生一電參考訊號。 來自積體干涉計光學裝置520的一輸出束0UT係包括 來自如上述的測量及參考束之部份Mbout及RB0UT。依 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） ------------------------裝…： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂— :線丨 578012 A7 B7 五、發明説明（27 據測量鏡面5 3 0的相對移動而經歷都卜勒位移之測量部份 MBOUT係具有頻率fi土f2，參考部份具有頻率f2。 可為購自安捷倫科技公司的E1709接收器之一個接收 器540係從積體干涉計光學裝置520接收輸出束out，·接·收 器540係合併束部份MB〇UT及RBOUT以提供具有頻率 i、l-f2土△ Π之一電訊號。因此，用於測量較大相對速度的系 統係需要一大的頻差（fl-f2)來使得f1-f2土△ η大於一最小 值。 位置換能器電子裝置550係處理來自光偵測器5 1 8及接 收器540的電訊號，以對於與輸出束out相關聯之測量軸線 決定出一相對動作測量。因為位置換能器電子裝置係仰賴 頻率或相位資訊進行測量，測量較不易受到強度變化造成 的誤差所影響。 雖然已經參照特定實施例來描述本發明，此描述僅為 本飪明的申凊案的一項範例而非限制，特定言之，雖然上 文描述一種採用兩種不同頻率的光之系統中的積體干涉計 光學k置範例，此積體光學裝置亦適合其他類型的干涉 计。所揭露的實施例之特性的多種其他改用方式及組合係 位於申請專利範圍所界定之本發明的範圍内。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂丨
578012 A7 B7 五、發明説明（28) 元件標號對照 110 ·玻璃板 215 ： 菱形元件 112:主要光學表面 217 ： 稜柱元件 114 :主要光學表面 220 ： 玻璃板 115 :附接菱形元件 224 ： 表面 117 :稜柱 225 ： 菱形元件 120 :玻璃板 230 ： 玻璃板 122 :主要光學表面 235 ： 菱形元件 124 :主要光學表面 244 ： 光學輸出表面 125 :附接菱形元件 250 ： 菱形組合件 130 :平面性切割 255 ： 菱形組合件 132 :平行切割 300 ： 7軸干涉計 134 :切割 310 ： 菱形組合件 140 :胚材 311 ： 菱形元件 142 : AR塗層 312 ： 菱形元件 144 :光學輸出表面 313 ： 菱形元件 150 :菱形組合件 314 ： 菱形元件 15(Τ :菱形組合件 315 ： 稜柱 160 :光學元件 320 ： 菱形組合件 160’ ：光學元件 325 ： 光學元件 160” ：光學元件 326 ： 菱形組合件 2 10 :玻璃板 330 ·· PBS 214 ··表面 332 ： PBS塗層 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 31 578012 A7 B7 五、發明説明（29 ) 335 ： 延伸部 337 ： 延伸部 341 ： 四分之一波板 342 ： 四分之一波板 343 ： 四分之一波板 344 ： 四分之一波板 345 ·· 四分之一波板 345A :四分之一波板 346 ： 四分之一波板 347A :四分之一波板 347B :四分之一波板 350 ： 測量反射器 355 ： 頂角反射器 356 ： 測量反射器 357 ： 測量反射器 361 ： 頂角反射器 362 ： 頂角反射器 363 ： 頂角反射器 364 ： 頂角反射器 365 ： 頂角反射器 366 ： 頂角反射器 371 ： 四分之一波板 372 ： 四分之一波板 373 ： 四分之一波板 374 :四分之一波板 375 ··四分之一波板 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 376 :四分之一波板 377 :四分之一波板 —一 377A :四分之一波板 377B :四分之一波板 381 :高反射性（HR)塗層 382 :高反射性（HR)塗層 383 :高反射性（HR)塗層 384 :高反射性（HR)塗層 385 :高反射性（HR)塗層 386 :高反射性（HR)塗層 387 :高反射性（HR)塗層 387A : HR塗層 387B : HR塗層 397A :菱形元件 397B :菱形元件 500 :干涉計系統 510 :雷射頭 512 : 2頻 He-Ne 雷射 514 :光偵測器 516 :雷射調整電路 5 18 :光偵測器 520:積體干涉計光學裝置 32 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 578012 A7 B7 五、發明説明（3〇 530 :測量反射器 MB7B’ ：測量束 540 :接收器 MB OUT :測量束 550:位置換能器電子裝置 OB1 :輸出束 B0 :原始束 OB5 :輸出束 B0’ ··原始束 OB7 :輸出束 B0”入射束 OUT :輸出束 B2 :離開束 RB1A :參考束 B3 :離開束 RB1A’ ：參考束 IN :輸入束 RB1B :參考束 MB1A :測量束 RB1B’ ：參考束 MB 1A’ ：測量束 RB2A :參考束 MB1B :測量束 RB2A’ ：參考束 MB1B，：測量束 RB2B :參考束 MB2A :測量束 RB2B’ ：參考束 MB2A,:測量束 RB5A :參考束 MB2B :測量束 RB6A :參考束 MB2B’ ：測量束 RB6B :參考束 MB5A :測量束 RB7A :參考束 MB5B :測量東 RB7A’ ：參考束 MB6A :測量束 RB7B :參考束 MB6B :測量束 RB7B’ ：參考束 MB7A :測量束 RBI1 :參考束 MB7A·:測量束 、 RBOUT :參考組份 MB7B :測量束 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 33