WO1997008593A1 - Numerical controller - Google Patents

Description

PC JP96/023 8

1 明 細 書

数値制御装置

技 術 分 野

本発明は、 数値制御部とサーポアンプ部とがシ リ ァル 通信ライ ンで接続されて、 機械側の位置をフ ィ ー ドバッ ク して機械側位置制御を行う数値制御装置に関する。

背 景 技 術

数値制御装置システム内の数値制御部とサーボア ンプ 部とは一般に通信ラ イ ンで接続されている。 このよ う な システムにおいて、 フ ィ ー ドバッ ク制御が広く 行われて いる。 例えば、 機械可動部を駆動するサーボモー夕 には 位置検出器と してパルスコーダが取り 付けられてお り、 このパルスコーダによ って制御軸からの位置信号を検出 し、 数値制御部にフ ィ ー ドパッ ク して機械可動部の位置 を制御するセ ミ クローズ ドループ方式の制御を行っ てい る。

—方、 数値制御装置の制御軸のバッ ク ラ ッ シの量はェ 作物の重量などによ って変わるこ とがあった り、 温度変 化によ っても制御軸の累積誤差が変わる こ とがある。 こ のよ う な場合機械の精度をさ らに向上させるために、 パ ルスコーダで行う位置検出だけではな く、 機械側に機械 可動部の位置を検出する機械側位置検出器と して リ ニア スケール等を取り 付けて位置を検出 し、 この検出値を も フ ィ 一 ドノ ッ クする方式がと られている。 このよ う な方 式と してフルクローズ ドループ方式があ り、 特別に高い

差替 え 用紙（規則 26) 精度を必要とする工作機械や大型の工作機械で用いられ ている。

図 5 はフルクローズ ドループ方式を使用 して位置検出 を行う、 従来の数値制御装置の構成図である。 この数値 制御装置は、 数値制御部 1 0 と、 X軸用サーボアンプ部 3 0、 Y軸用サーボア ンプ部 4 0及び Z軸用サーボアン プ部 5 0 と、 これらのサ一ボアンプによ って駆動される X軸用サーボモータ 6 0、 Y軸用サ一ポモー夕 7 0及び Z軸用サーボモ一夕 8 0 とで構成される。

さ らに、 X軸用サ一ボモ一夕 6 0の出力軸に連結され た X軸ボールスク リ ユ ー 6 1 には工具台 6 3 に固定され たボールナ ッ ト 6 2が螺合している。 また、 この工具台 6 3 には機械側位置検出器と して リ ニアスケール 6 4が 取り 付けられている。 この リ ニアスケール 6 4 の位置フ イ ー ドバッ ク信号は X軸用サーボアンプ部 3 0内に設置 された機械側位置検出制御部 3 0 a によ って読み取られ る こ と によ り フ ィ 一 ドノ ッ ク制御が行われる。

この機械側位置検出制御部 3 0 aは、 図 5 に示すよ う に、 サ一ボア ンプ部 3 0の筐体内に設置されるよ う構成 されている。 このため機械側位置検出用のコネク タ C N はすべてのサーボア ンプ部 3 0 、 4 0 、 5 0 の筐体にそ れぞれ設置さ れている。

しか し、 位置制御される制御軸は常にすベての軸とい う わけではないので、 サーボアンプ部のすべてにそれぞ れ機械側位置検出制御部を取り付ける必要はない。 よて

差替 え 用紙（規則 26) すべてのサーボアンプ部に機械側位置検出用のコネ ク タ C Nを取り付けると、 コス トが不必要に高く なる。

また、 サーボモータの制御性を高めるために、 新たに 制御線をサーボアンプ部に接続して、 機械側位置検出値 以外のデータ もフ ィ ー ドバッ ク したい場合がある。 し力、 し、 サーボア ンプ部の筐体の大き さの制限から、 新たに コネク タを取り 付けるこ とができないと いう問題があつ た。

発 明 の 開 示

本発明の目 的は、 サーポア ンプ部のコネク タ数が最適 化され、 かつ サーボモー夕の制御性を高めるこ と ので き る数値制御装置を提供するこ と にある。

上記目的を達成するため、 本発明によ る数値制御装置 は、 数値制御部と、 少なく と も 1 つの機械側位置検出器 と、 数値制御部と シ リ アル通信ラ イ ンで接続され、 機械 側位置検出器からの検出信号を受け取るための少な く と も 1 つのコネク タ備え、 このコネ ク タを介して受け取つ た機械側位置検出器からの信号を読み取 って数値制御部 に送信する、 少な く と も 1 つの機械側位置検出制御ュニ ッ ト と、 その機械側位置検出制御ユニ ッ ト と シ リ アル通 信ラ イ ンで接続された、 サーボモータ を制御する 1 つの サーボア ンプ部とを含む。

好ま し く は、 1 つのサーボアンプはさ らにシ リ アル通 信ライ ンで他のサーボアンプに接続されて、 これらすベ てのサーボア ンプ部は数値制御部とデージチ ェーン形式

差替 え 用 紙 （規則 26) でシ リ アル通信ライ ンでも って接続されるよ う に してい る。

以上のよ う に本発明によれば、 例えばフルクローズ ド ループ方式の制御のために機械側の位置検出が必要な制 御軸にかかる位置検出器の検出信号は、 その制御軸にか かるサーボア ンプでは読み取られずに、 機械側位置検出 制御ュニ ッ ト で受け取られこ こで読み取られる。 そのた め、 どのサーボアンプも機械側位置検出器からの信号を 受け取って読み取るための機能を備えな く ても済む。

図 面 の 簡 単 な 説 明 図 1 は本発明の数値制御装置の原理をプロ ッ ク図で示 したものであり、

図 2 は通信バケ ツ トのフ ォーマ ツ ト を示す図であ り、 図 3 は通信パケ ッ トの内部の詳細をテーブルで示 した ものであり、

図 4 は本発明の数値制御装置の内部構成の詳細図であ り、 そ して、

図 5 は従来の数値制御装置の原理をブロ ッ ク図で示し たものである。

発 明 を 実施す る た め の最 良 の形態 まず、 本発明によ る数値制御装置の原理を図 1 を参照 して説明する。

数値制御装置 （ C N C ) は数値制御部 1 0 と、 機械側 位置検出のフ ィ ー ドバッ ク制御を行う機械側位置検出制 御ユニ ッ ト 2 0 と、 X軸用サーボアンプ部 3 0、 Y軸用

差替 え 用紙（規則 26) サ一ボアンプ部 4 0及び Z軸用サーボア ンプ部 5 0 と、 これらのサーボアンプ部によ って駆動される X軸用サー ボモータ 6 0、 Y軸用サ一ボモ一夕 7 0及び Z軸用サ一 ボモ一夕 8 0 とで構成される。

さ らに、 X軸用サ一ボモータ 6 0の出力軸に連結され た X軸ポールスク リ ユー 6 1 には工具台 6 3 に固定され たボールナ ッ ト 6 2が係合している。 また、 この工具台 6 3 には機械側位置検出器と して リ ニアスケール 6 4 が 取 り 付けられている。 この リ ニアスケール 6 4 の位置フ イ ー ドバッ ク信号は機械側位置検出制御ュニ ッ ト 2 0 に 読み取られる こ と によ り フ ィ 一 ドバッ ク制御が行われる。

上の説明では、 機械側位置検出器 （リ ニアスケール 6 4 ) で位置検出される制御軸は X軸だけなので、 機械側 位置検出制御ユニ ッ ト 2 0 は （ X軸に対応した） 1 つの 機械側位置検出用のコネク タ C Nを持つこ と になる。 し か し、 この機械側位置検出制御ユニ ッ ト 2 0 はほかにも い く つかのコネク タを持つこ と もできる。 また、 これら のコネク タを どの制御軸に対応したものにするかは任意 に設定するこ とができる。 例えば、 機械側位置検出制御 ユニ ッ ト 2 0力； 2つのコネク タ C N 1， C N 2 を持って いて、 位置検出の必要がある制御軸が X軸と Y軸である とする。 この場合、 C N 1 が X軸に、 C N 2が Y軸に係 る位置フ ィ ー ドバ ッ ク信号を受信 した り、 または設定を 変えて C N 1 が Y軸に、 C N 2が X軸に係る位置フ ィ ー ドバ ッ ク信号を受信 した りするこ とができる。

差替 え 用紙 （規則 26) 機械側位置検出制御ュニ ッ ト 2 0 と数値制御部 1 0 と はシ リ アル通信ライ ン 9 0で接続されている。 同様に、 機械側位置検出器ュニ ッ ト 2 0 と X軸用サーボアンプ部 3 0 とはシ リ アル通信ライ ン 9 1 によ っ て接続され、 X 軸用サーボア ンプ部 3 0 と Y軸用サ一ボアンプ部 4 0 と はシ リ アル通信ライ ン 9 2 によ っ て接続され、 Y軸用サ —ボア ンプ部 4 0 と Z軸用サ一ボアンプ部 5 0 とはシ リ アル通信ライ ン 9 3 によ って接続される。 さ らに、 Z軸 用サ一ボアンプ部 5 0はシ リ アル通信ラ イ ン 9 4 によ つ て他のサ一ボアンプ部を接続する こ とができる。

このよ う に、 数値制御部 1 0 と各軸サーボアンプ部 3 0、 4 0、 5 0はデージチヱーン形式で接続されている _c また、 シ リ アル通信ライ ン 9 0、 9 1 · · · はいずれも 広帯域伝送及びノ イ ズ低減を可能にする光フ ァ イバケー ブルが用いられ、 この伝送路上でパケ ッ ト通信が行われ る。

そこで、 通信ノ、。ケ ッ トのフ ォーマ ッ ト について図 2 を 参照して説明する。 通信パケ ッ ト 1 0 0 はパケ ッ ト の始 ま り を知らせるスター ト コー ドと、 フ レーム 0〜 7 とで 構成されている。 各フ レームはフ ィ ール ドとよばれる情 報の単位で分割される。 フ ィ ール ドは、 サーボアンプ部 と機械側位置検出制御ュニ ッ ト に対応している。 例えば. サーポアンプ部が最大 8個で機械側位置検出制御ュニ ッ トが 1 個で構成される数値制御装置の場合、 1 フ レーム 内のフ ィ ール ド構成はフ ィ ール ド 0〜 8 の 9 フ ィ ール ド

待 え 用 紙 （規則 26) で構成される。 また、 サーボア ンプ部と機械側位置検出 制御ュニ ッ ト とカ 、 フ ィ ール ド 0〜 8のどのフ ィ ール ド に対応するかは任意に設定できる。

次に、 通信パケ ッ ト 1 0 0の内部構成の詳細について、 図 3 を参照して説明する。 この図は、 サ一ボアンプ部が

8個 （サ一ボアンプ部 0、 サーボアンプ部 1、 、 サ

—ボア ンプ部 8 ) で機械側位置検出制御ユニ ッ ト 2 0が 1 個ある場合における、 サ一ボア ンプ部および機械側位 置検出制御ュニ ッ ト から数値制御装置に送信されるパケ ッ ト を示している。 フ レーム 0〜 7 の各フ レームはフ ィ 一ル ド 0〜8 の 9個のフ ィ一ル ドで分割されている。 そ して、 1 フ レームが 1 単位のデータ内容に対応する。 例 えば、 フ レーム 0がモー夕動力情報、 フ レーム 1 がパル ス コーダ情報等である。 また、 1 フ ィ ール ドがサーボア ンプ部 3 0、 4 0、 5 0や機械側位置検出制御ユニ ッ ト 2 0のいずれか 1 つに対応する。 例えばこの図によれば、 フ ィ 一ル ド 0がサーボアンプ部 0、 フ ィ 一ル ド 1 がサー ボア ンプ部 1 に対応し以下同様に続いて、 フ ィ一ル ド 6 がサーボアンプ部 6 に対応する。 フ ィ ール ド 7 は機械側 位置検出制御ユニ ッ ト に対応している。 そ して、 最後の フ ィ一ル ド 8がサ一ボアンプ部 7 に対応 している。

従っ てフ レーム 0 内のフ ィ ール ド 0の位置には、 サ一 ボア ンプ部 0が制御するサ一ボモータのモー夕動力情報 0が挿入されてお り、 フ レーム 0 内のフ ィ ール ド 1 の位 置には、 サーボアンプ部 1 が制御するサ一ボモータのモ

差替 え 用紙 （規則 26) 一夕動力情報 1 が挿入されている。 同様に して、 フ レー ム 0の最後のフ ィ一ル ドであるフ ィ 一ル ド 8の位置には サーボアンプ部 7が制御するサーボモー夕のモー夕動力 情報 7が挿入されている。 ただし、 モータ動力情報を示 すフ レーム 0であっ ても、 フ ィ ール ド 7 の位置にはサ一 ボアンプ部 0が制御する制御軸の位置情報 0が挿入され る。 この位置情報 0 は機械側位置検出制御ユニ ッ ト 2 0 で検出された値であり、 サーボア ンプ部 0が制御する制 御軸が位置検出される必要のない制御軸であるならば、 このフ ィ ール ド 7 は設定されない。

フ レーム 1 内のフ ィ 一ル ド 0の位置にはサーボア ンプ 部 0が制御するサーボモー夕のパルスコーダ情報 0が挿 入されており、 フ レーム 1 内のフ ィ ール ド 1 の位置には サーボアンプ部 1 が制御するサーボモータのパルスコ一 ダ情報 1 が挿入されている。 同様に して、 フ レーム 1 内 の最後のフ ィ ールドであるフ ィ ール ド 8 の位置にはサー ボア ンプ部 7 が制御するサーボモー夕のパルスコーダ情 報 7が挿入されている。 ただし、 パルス コーダ情報を示 すフ レーム 1 であっ ても、 上記で説明 したよ う に、 フ ィ 一ル ド 7 の位置にはサーボアンプ部 1 が制御する制御軸 の位置情報 1 が挿入される。 この位置情報 1 は機械側位 置検出制御ュニ ッ ト で検出された値であ り、 サーボア ン プ部 1 が制御する制御軸が位置検出される必要のない制 御軸であるな らば、 このフ ィ一ル ド 7 は設定されない。

以下同様に して、 必要なデ一夕内容と フ レームを対応

差替 え 用紙 （規則 26) させ、 かつサ一ボア ンプ部と機械側位置検出制御ュニ ッ ト とをフ ィ ール ドに対応させるこ と によ ってバケ ツ ト を 構成し、 バケ ツ ト通信が行われる。

次に本発明による一実施形態の数値制御装置の内部構 成について図 4 を参照して詳し く 説明する。

数値制御装置は、 数値制御部 1 0 と、 機械側位置検出 制御ユニ ッ ト 2 0 と、 X軸用サーボアンプ部 3 0 と、 Y 軸用サーボア ンプ部 4 0 とから構成される。 そ して、 数 値制御部 1 0 はシ リ アル通信ライ ン 9 0 によ って機械側 位置検出制御ユニ ッ ト 2 0 に接続される。 同様に、 機械 側位置検出制御ュニ ッ ト 2 0はシ リ アル通信ライ ン 9 1 によ っ て X軸用サーボアンプ部 3 0 に接続され、 さ らに、 X軸用サーボアンプ部 3 0 はシ リ アル通信ラ イ ン 9 2 に よ って Y軸用サーボアンプ部 4 0 に接続される。 こ こで 説明を簡単にするためにサーボア ンプ部は 2 つだけ示し てある力 実際にはシ リ アル通信ライ ンで必要数のサー ボア ンプ部をデージチェーン形式で接続でき る。 また、 これらのサーボアンプ部には X軸用サーボモー夕 6 0 と、 Y軸用サーボモ一夕 7 0 とが結合されている。 そ して、 X軸用サーボモータ 6 0の出力軸に連結された X軸ボー ルス ク リ ユ ー 6 1 には工具台 6 3 に固定されたボールナ ッ ト 6 2が係合している。 また、 この工具台 6 3 には リ ニァスケール 6 4 が取り つけられている。

数値制御部 1 0は、 数値制御装置の全体の基本機能を 制御するコ ンピュー タ部 1 1 と、 通信プロ ト コルを制御

差替 え 用紙 （規則 26) する通信ライ ン制御部 1 2と、 電気 光 （E /0) 、 光 電気 （OZE) 変換部 1 3とから構成される。

コ ンピュータ部 1 1 は通信網内で行われるバケ ツ ト通 信の全体を制御する。 通信ライ ン制御部 1 2は送信する デ一夕をパケ ッ ト形式に組み立てる。 また、 受信したパ ケ ッ ト を元のデータ形式に分解する。 E ZO、 OZE変 換部 1 3は伝送路のイ ン夕フ ェースであ り電気信号を光 信号に、 または光信号を電気信号に変換する。 また、 E Z〇、 0 Z E変換部は他のブロ ッ ク内でも動作は同様で あるので、 他のブロ ッ ク内での E ZO、 〇ZE変換部の 動作説明は省略する。

機械側位置検出制御ユニ ッ ト 2 0は、 各種検出データ の設定を行う機械側位置検出制御ュニ ッ ト設定部 2 3と、 通信ラ イ ン制御部 2 2と、 機械側位置検出情報を通信パ ケ ッ ト に挿入する機械側位置情報挿入部 24 と、 リ ニア スケールイ ン 夕フ ェース 2 5と、 E Z〇、 OZE変換部 2 1 とから構成される。

機械側位置検出ュニ ッ ト設定部 2 3は検出すべき制御 軸を任意に設定する こ とができ、 かつ機械側位置検出制 御ユニ ッ ト 2 0の全体機能を制御する。 通信ライ ン制御 部 2 2は、 通信パケ ッ ト の分割、 組立を行う。 機械側位 置情報挿入部 24は機械側位置検出値を通信バケ ツ ト 内 の設定されたフ ィ ール ドに挿入する。 リ ニアスケールィ ン 夕フ ェース 2 5は、 工具台 6 3に取り 付けられた リ ニ ァスケール 6 4 の目盛り を読み取っ て工具台 6 3 の位置

差替 え 用紙 （規則 26) を検出する。 また、 機械側位置検出制御ユニ ッ ト 2 0は 機械側位置検出値のフ ィ ー ドバッ ク情報だけでなく、 サ —ボモー夕の制御性を高めるために必要な温度データや 補正デ一夕等をフ ィ 一 ドバ ッ ク情報と して入力する こ と もできる。 そ して位置制御だけでなく、 各種フ ィ ー ドバ ッ ク情報に基づいた制御を行う こ とができる。

X軸用サーボアンプ部 3 0は、 通信ラ イ ン制御部 3 2 と、 ノ、。ルスコーダイ ンタフ ヱース 3 3 と、 モ一夕 ドライ ブ 34 と、 E ZO、 OZE変換部 3 1 とから構成される _c ノ レスコ一ダイ ン 夕フ ェース 3 3の内部には、 カウ ン 夕があり、 サーボモ一夕 6 0に取 り 付けられているパル ス コーダ 6 5からのパルス列をカウ ン 卜する こ とでサ一 ボモ一夕の回転速度、 制御軸の位置を検出する。 モー夕 ドライブ 34はコ ンバータ と イ ンバ一夕 とで搆成されて いる。 コ ンバータは商用電力線から交流を取り 出し、 一 定電圧の直流に変換する。 イ ンバ一夕はこの直流を電源 と して、 通信ライ ン制御部 3 2から与え られる電流指令 に従ってモー夕電流を出力する。 また、 サーボモー夕 6 0に流れる電流をモー夕 ドライブ 34内の検出回路で検 出 し通信ラ イ ン制御部 3 2へフ ィ ー ドノ ッ クする。 また. 通信ラ イ ン制御部 3 2は通信バケ ツ ト の分解、 組み立て 機能も有する。

Y軸用サーボア ンプ部 4 0は、 通信ラ イ ン制御部 4 2 と、 ノ、。ルスコーダイ ン夕フ ェース 4 3 と、 モータ ドラ イ ブ 44 と、 E ZO、 〇ZE変換部 4 1 とから構成される

差替 え 用紙 （規則 26) X軸用サ一ボアンプ部 3 0 と同様に、 パルスコ一ダイ ン 夕フ ヱース 4 3の内部には、 カウ ン夕があり、 サ一ボ モー夕 7 0 に取り 付けられているパルスコーダ 7 5 から のパルス列をカウ ン トするこ とでサーボモー夕の回転速 度、 制御軸の位置を検出する。 モー夕 ドライブ 4 4 はコ ンバ一夕 と ィ ンバ一夕 とで構成されている。 コ ンパ一夕 は商用電力線から交流を取り 出し、 一定電圧の直流に変 換する。 イ ンパー夕はこの直流を電源と して、 通信ライ ン制御部 4 2 から与えられる電流指令に従っ てモータ電 流を出力する。 また、 サーボモー夕に流れる電流をモー 夕 ドラ イブ内の検出回路で検出し通信ラ イ ン制御部 4 2 へフ ィ ー ドパ ッ クする。 また、 通信ライ ン制御部 4 2 は 通信パケ ッ ト の分解、 組み立て機能も有する。

この図の例では 1 つの機械側位置検出制御ュニ ッ ト 2 0が数値制御部 1 0 とサーボアンプ部 3 0 に接続されて いる。 しかし、 複数の機械側位置検出制御ユニ ッ ト力 シ リ アル通信ライ ンを用いてデ一ジチェ ーン形式で、 数 値制御部 1 0 とサーボアンプ部に接続するよ う に構成す る こ と も可能である。

以上説明 したよ う に本発明では、 機械側位置検出部を サーボアンプ部内に設けずに、 機械側位置検出制御ュニ ッ ト と してシ リ アル通信ライ ン上に設置 している。 これ によ り すベてのサ一ボアンプ部が機械側位置検出用のコ ネ ク 夕 を持つ必要がなく なり、 コス ト を下げる効果があ る。 また、 機械側の温度、 テーブルの歪みなどの情報な

差替 え 用紙 （規則 26) どを数値制御装置に与えて機械精度を向上させよ う とす る場合には、 それらの情報を検出するセ ンサからの出力 を受け取るためのィ ンタフ X—スを機械側位置検出制御 ュニ ッ ト に設けるこ とができる。

差替 え 用紙 （規 2fi、

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 数値制御部と、

サ一ボモー夕を駆動制御する各軸用のサーボア ンプ 部と、

上記サーボモータによ り駆動される機械可動部の位 置を検出する少な く と も 1 つの機械側位置検出器と、 上記数値制御部及び上記サーボアンプ部とそれぞれ シ リ アル通信ライ ンで接続され、 上記機械側位置検出 器からの位置検出信号を受け取るための少なく と も 1 つのコネク タ備え、 このコネク タを介して受け取った 機械側位置検出器からの検出信号を読み取って上記数 値制御部に送信する、 少なく と も 1 つの機械側位置検 出制御ュニ ッ ト と、

からなる数値制御装置。

2 . 上記サーボアンプ部と、 機械側位置検出制御ュニ ッ ト はすべて上記数値制御部とデ一ジチ ェーン形式で接 続されている、 請求の範囲第 1 項記載の数値制御装置 (

3 . 上記機械側位置検出制御ユニ ッ トが備える複数のコ ネク タの、 どのコネク タをどの制御軸に対応させるか は任意に設定可能である こ と を特徴とする請求の範囲 第 1 項記載の数値制御装置。

4 . 上記機械側位置検出制御ユニ ッ ト は、 機械側位置検 出器からの位置検出信号を受け取るためのコネク 夕 に 加え、 さ ら に、 サ一ボモー夕の制御性を高めるために 必要な、 位置検出信号以外の検出信号を受け取るため

差替 え 用紙（規則 26) のイ ン夕フ ェースを備えている、 請求の範囲第 1 項記 載の数値制御装置。

上記位置検出以外の検出信号には検出温度または補 正デ一夕などが含まれる、 請求の範囲第 5項記載の数 値制御装置。

. 上記シ リ アル通信ライ ン上で行われる通信はバケ ツ ト通信である、 請求の範囲第 1 項記載の数値制御装置。. 上記数値制御部は、 機械側位置検出制御ユニ ッ ト側 に送信するデータ をパケ ッ ト形式に組み立て、 また、 機械側位置検出制御ュニ ッ ト側から受け取るバケ ツ ト 形式のデータを元のデータに分解する通信ライ ン制御 部を備える、 請求の範囲第 7項記載の数値制御装置。. 上記機械側位置検出制御ユニ ッ トは、 各種検出デー 夕の設定を行い、 検出すべき制御軸を任意に設定でき る設定部を備えている、 請求の範囲第 1 項記載の数値 制御装置。

. 上記機械側位置検出制御ユニ ッ ト は、 コネク タ を介 して受け取った機械側位置検出器からの信号を読み取 つて得た機械側位置検出値を通信バケ ツ ト 内の設定さ れたフ ィ ール ドに挿入する機械側位置情報挿入部を備 えている、 請求の範囲第 9項記載の数値制御装置。 0 . 上記 1 つの機械側位置検出制御ユニ ッ ト のほかに さ ら に 1 またはそれ以上の機械側位置検出制御ュニ ッ ト を備え、 これら機械側位置検出制御ュニ ッ ト はシ リ アル通信ラ イ ンを用いてデージチ ェー ン形式で、 上記

え 用紙（規則 26) 数値制御部とサーボアンプ部に接続されている、 請求 の範囲第 1 項記載の数値制御装置。

差替 え 用紙 （規則 26)