WO2012072914A2 - Machine d'exposition de panneaux - Google Patents

Machine d'exposition de panneaux Download PDF

Info

Publication number
WO2012072914A2
WO2012072914A2 PCT/FR2011/052708 FR2011052708W WO2012072914A2 WO 2012072914 A2 WO2012072914 A2 WO 2012072914A2 FR 2011052708 W FR2011052708 W FR 2011052708W WO 2012072914 A2 WO2012072914 A2 WO 2012072914A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
panel
diode
support
insolation
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/FR2011/052708
Other languages
English (en)
Other versions
WO2012072914A3 (fr
Inventor
David Lebret
Franck Roland
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ALTIX
Original Assignee
ALTIX
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ALTIX filed Critical ALTIX
Priority to CN201180057329.6A priority Critical patent/CN103261970B/zh
Publication of WO2012072914A2 publication Critical patent/WO2012072914A2/fr
Publication of WO2012072914A3 publication Critical patent/WO2012072914A3/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/2014—Contact or film exposure of light sensitive plates such as lithographic plates or circuit boards, e.g. in a vacuum frame
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
    • G03F7/2032—Simultaneous exposure of the front side and the backside
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks

Definitions

  • certain known machines employ a movable support in the form of arms, capable of moving in an area facing the panel to be insolated, on which is implanted a plurality of LEDs in a pattern calculated so that the displacement of the support during the insolation results in a smoothing of the insolation received by each point of the panel thus leading to a uniformization of the quantity of light received at any point of the sign.
  • the LED arm is very narrow: a large stroke of the arm is necessary to cover the entire panel to be insolated. This thus causes a major drawback which is a fairly long cycle time since the arm must travel a stroke at least equal to the length of the panel. This defect is all the more important as the step of insolation is very often the stage kinematically limiting in printed circuit manufacturing processes.
  • the present invention solves this problem.
  • the invention relates to an insolation machine for panels, in particular printed circuits, comprising at least one light-emitting diode support extending in orthogonal directions X and Y, in a parallel plane and facing a support. from panel to insoler, one side of the panel support being collinear with the Y direction; means for providing relative movement of said diode support with respect to said panel support in the Y direction; a plurality of light emitting diodes (LEDs), which can be turned on or off instantaneously, mounted on said diode support and arranged regularly along lines extending in the X direction, the light beam emitted by each diode having an orthogonal Z axis of direction to the X and Y directions and being directed towards the panel support to be insolated, said panel support to be insolated being arranged to support a plate disposed opposite said panel to be insolated, between said panel and the diode support, characterized in that the zone of implantation of the light-emitting diodes on the
  • the diode implantation zone it is also necessary for the diode implantation zone to have a dimension substantially greater than that of the panel in the Y direction so that the invention is effective, this diode implantation zone having to completely cover the panel during the race. sunstroke.
  • a very short stroke much less than the length of the panel to be insolated, is enough to completely and uniformly insolvent the panel: this shortened stroke allows, for level of quality and efficiency equal or even higher, to reduce substantially the cycle time which leads to manufacturing times and reduced costs.
  • the insolation machine further comprises a plurality of optical collimators, each collimator being associated with a light emitting diode and disposed in front of said diode to ensure the parallelism of the rays emitted by the light source and therefore an incidence perpendicular to the panel.
  • the diode support is divided in the Y direction into a plurality of identical segments, hereinafter called arms, each arm containing the same pattern of n (n> 1) lines of light emitting diodes regularly spaced in the Y direction. and respecting a line-to-line offset in the X direction, the spacing between two diode lines of an arm being equal to the spacing between the last line of an arm and the first line of the arm next, ensuring continuity without any break in the distribution of diodes between your different arms.
  • the pitch between two adjacent electroluminescent diodes in the X direction is equal to p and a given rank diode is shifted, in the X direction, relative to to the light emitting diode of the same rank apartment at an adjacent line, a distance p / n.
  • each arm comprises five lines of twenty light emitting diodes.
  • the length of the useful stroke of insolation is of the order of the dimension of an arm in the Y direction.
  • each collimator is composed of a transparent one-piece piece, generally of a generally aspherical shape of revolution, having a flat, polished top exposed towards the panel to be insolated, and a base having a coaxial cavity in which is accommodating the light emitting diode associated with the collimator, the end of this cavity, opposite to the diode, having an aspherical shape of concave revolution.
  • This embodiment makes it possible to ensure collimation of the rays emitted in a half-angle cone of about 2 °.
  • the pairs formed of a light emitting diode and an optical collimator are assembled in the same line within linear blocks fixed on the diode support.
  • the speed of the light-emitting diode support during the useful insolation stroke is adjustable in order to adapt the amount of insolation energy received by the panel.
  • the insolation machine comprises two diode supports arranged on either side of said support of a panel to be insolated, the latter being arranged to receive two images arranged on either side of said panel to be insolated in order to allow double-sided insolation of the panel with two possibly different pictures.
  • FIG. 1 is a schematic sectional elevation of an insolation machine according to the invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of the light-emitting diode support equipped with its diodes and collimators;
  • FIG. 3 is a detailed view of an arm of the diode support
  • FIG. 4A is a perspective view of a collimator
  • FIG. 4B is an axial sectional view of the same collimator.
  • FIGS. 5A-5D are schematic views showing the support of diodes at 4 moments of its race.
  • Figure 1 is shown schematically an elevational section of the insolation machine panels 1 according to a preferred embodiment of the present invention.
  • This insolation machine 1 comprises a panel support 2 responsible for maintaining the panel to be insolated 3 as well as the plates 5 and 5 'which it is desired to impress on the panel.
  • the panel 3 to be insolated is received in the panel support 2 between two translucent windows 4 and 4 ': two plates 5 and 5' are arranged on either side of the panel 2 and held against the surfaces internal of the two windows 4 and 4 '.
  • a high vacuum is then created between the two panes to ensure good contact between the various elements of the assembly: this vacuum is maintained throughout the operation by means of peripheral seals 6.
  • the insolation machine 1 also comprises, on either side of the panel support 2, light-emitting diode supports 10 and 10 'responsible for insulating the panel. A relative movement of Diode supports 10 and 10 'with respect to the panel support 2 is allowed in order to standardize the insolation.
  • This diode support 10 comprises a plurality of identical arms 11, six in this embodiment, arranged one after the other in the direction Y.
  • assemblies each formed of a diode 20 and a collimator 30 are implanted in a succession of lines extending in the direction X.
  • the distance between the last line of an arm and the first line of the arm next is equal to the distance between two lines within the same arm, so that the distribution of the diodes is not changed at the border between two arms.
  • the panel insolver 3 inscribes at least in the rectangle ABCD whose sides BC and DA, extending in the direction X, pass through the centers of the diodes 20 of the first and last lines of the support 10, and whose side AB, respectively the CD side, both extending in the Y direction, passes through the centers of each innermost diode to the implantation zone among the first, respectively the last row of each arm 11.
  • the ranks are called rows diodes extending in the transverse direction to lines of diodes.
  • the diode support 10 is furthermore equipped with displacement means 13 such as rollers, rails, motors or other means ensuring the relative displacement of the diode support 10 with respect to the panel support 2, in the Y direction. .
  • displacement means 13 such as rollers, rails, motors or other means ensuring the relative displacement of the diode support 10 with respect to the panel support 2, in the Y direction.
  • FIG. 3 allows a more precise view of the implantation of the diodes 20 on each arm 11. It can thus be seen that each arm 11 is equipped with five lines of diodes 20 and collimators 30. These lines are offset by one line to the other in the X direction of an equal value ap / n where p is the pitch between two diodes 20 in the same line and n is the number of lines in an arm 11, here five. This offset thus calculated makes it possible on the one hand to obtain, with a plurality of identical arms 11, a continuous shifted distribution of the diodes 20 over the entire panel, without breaking between two arms 11, and on the other hand to ensure a homogeneous smoothing of the insolation during the displacement of the support 10 over a stroke of length equal to an arm 11.
  • Each line consists of four bars 12, fixed on each arm 11 of the support 10, each maintaining five assemblies formed of a light emitting diode 20 and a collimator 30.
  • a line thus comprises twenty diodes 20, which makes a total of one hundred diodes 20 on one arm 11.
  • FIGS. 4A and 4B These assemblies are detailed in FIGS. 4A and 4B.
  • a collimator 30 is a piece of glass, silica or any other material transparent to UV, monobloc, generally of generally aspheric revolution which therefore respects a symmetry of revolution, its central axis O being collinear with the direction Z. Its face upper end 31, facing the panel to be insolated 3, is flat and polished.
  • the collimator 30 has at its base a coaxial cavity 32 of substantially cylindrical or frustoconical shape.
  • the light-emitting diode 20, sealed in its support 21 fixed to the arm 11, is disposed within this cavity 32 in a centered manner, at the base of the collimator 30, the square base of the support 21 of the diode 20 forming part of the circular orifice of the cavity 32.
  • the diode 20 emits preferentially in the ultraviolet spectrum.
  • the end 33 of the cavity 32, facing the diode 20, is of a substantially aspherical shape of revolution, also coaxial, concave, and thus projecting inside the cavity 32.
  • this end 33 is calculated such that the rays from the diode 20 substantially collinear with the direction Z cross almost without any alteration the diopters 33 and 31; on the other hand, the inclined rays are reflected by the diopter 33 towards the lateral surface 34 of the collimator 30 which returns them towards the panel to be insolated 3 according to an incidence substantially collinear with the direction Z.
  • This collimator 30 is thus able to ensure an incidence on the panel to be exposed 3 reduced to a half-angle cone of about 2 °, a diode electroluminescent emitting naturally in a cone of half angle of about 60 °.
  • FIGS. 5A to 5D detail the different steps of the travel of the diode support 10 during the insolation operation of the panel 3.
  • FIG. 5A shows the left end of the allowed travel to the diode support 10.
  • the support 10 is here at the beginning of its acceleration dead run, all diodes 20 off. Since the diodes 20 are off, even if some are already facing the panel to be exposed 3, no parasitic and non-uniform insolation will be allowed during the acceleration phase of the panel. This stroke is relatively short, much less than the width of an arm 11: it ends in the position of Figure 5B.
  • the right end of the support 10 has just reached the right end of the panel to be insolated 3; he has reached the desired nominal speed for insolation.
  • the diodes 20 are lit instantly: the useful stroke of insolation begins. It is carried out at a constant speed along the length of an arm 11, in order to ensure the desired uniformity of insolation. This speed is determined according to the insolation energy that it is desired to deposit on the panel to adapt the machine in particular to the sensitivity of the photosensitive material covering the panel: a slower speed will increase this energy while a speed faster will reduce it.
  • the zone of implantation of the diodes 20 completely covers the panel 3 during all this stroke of insolation. It ends in the position of FIG. 5C when the first arm 11 of the diode support 10 is completely out of the zone facing the panel 3.
  • FIG. 5D is the extreme right-hand position of the permitted travel to the diode support 10.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Arrangements Of Lighting Devices For Vehicle Interiors, Mounting And Supporting Thereof, Circuits Therefore (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

Machine d'exposition de panneaux destinés à être insolés, utilisable dans tous les procédés de transfert d'image entre un cliché et un panneau : elle s'utilise principalement dans les domaines des circuits imprimés et des micro-processeurs mais également dans le domaine des écrans LCD ou encore celui de la découpe chimique de pièces de micromécanique. Elle comprend principalement un support de panneau à insoler (2), que l'on équipe d'un panneau (3) et d'un cliché à transférer (5, 5'), et un support de diodes électroluminescentes (10, 10') capable de se mouvoir dans une zone en regard du support de panneau à insoler (2), le support de diodes (10, 10') étant plus grand que le panneau à insoler (3) entraînant ainsi une course d'insolation réduite.

Description

Machine d'exposition de panneaux
L'invention se rapporte à une machine d'insolation de panneaux comprenant un support de panneau à insoler, au moins un cliché, au moins un support de diodes électroluminescentes muni de diodes électroluminescentes (LED), et des moyens de déplacement assurant le déplacement relatif du support de diodes par rapport au support de panneau afin d'insoler le panneau sur toute sa surface et de transférer sur ce dernier l'image du cliché utilisé. L'invention se rapporte plus particulièrement à un dispositif capable d'insoler de manière uniforme ce panneau en respectant un temps de cycle réduit et un rendement énergétique élevé. Le domaine d'application de cette invention est principalement celui des circuits imprimés et des micro-processeurs mais l'invention peut être également être utilisée dans tous les domaines utilisant des procédés de transfert d'image tels celui des écrans LCD ou celui de la fabrication de pièces de micromécanique par découpe chimique.
Dans une machine d'insolation de panneaux, il est important que tous les points du panneau reçoivent la même quantité de lumière lors de l'insolation, et que cette lumière soit collimatée afin que l'incidence des rayons sur le panneau à insoler soit la plus perpendiculaire possible afin d'assurer un transfert fidèle du motif du cliché sur le panneau à insoler.
Afin de réaliser cet objectif, certaines machines connues, telle celle décrite dans la demande de brevet américain US 2009/0244510, emploient un support mobile en forme de bras, capable de se déplacer dans une zone en regard du panneau à insoler, sur lequel est implantée une pluralité de LED selon un motif calculé de telle sorte que le déplacement du support lors de l'insolation entraîne un lissage de l'insolation reçu par chaque point du panneau menant ainsi à une uniformisation de la quantité de lumière reçue en tout point du panneau.
Toutefois, dans ces machines de l'art antérieur, le bras de LED est très étroit : une course importante du bras est nécessaire pour parcourir la totalité du panneau à insoler. Ceci entraîne ainsi un inconvénient majeur qui est un temps de cycle assez long puisque que le bras doit parcourir une course au moins égale à la longueur du panneau. Ce défaut est d'autant plus important que l'étape d'insolation est très souvent l'étape cinématiquement limitante dans les procédés de fabrication de circuits imprimés.
La présente invention permet de résoudre ce problème.
Plus particulièrement, l'invention concerne une machine d'insolation de panneaux, de circuits imprimés notamment, comportant au moins un support de diodes électroluminescentes s'étendant selon des directions orthogonales X et Y, dans un plan parallèle et en regard d'un support de panneau à insoler, un des côtés du support de panneau étant colinéaire à la direction Y ; des moyens pour assurer un déplacement relatif dudit support de diodes par rapport audit support de panneau selon la direction Y ; une pluralité de diodes électroluminescentes (LED), pouvant être allumées ou éteintes instantanément, montées sur ledit support de diodes et disposées régulièrement selon des lignes s'étendant selon la direction X, le faisceau lumineux émis par chaque diode ayant un axe de direction Z orthogonal aux directions X et Y et étant dirigé vers le support de panneau à insoler, ledit support de panneau à insoler étant agencé pour supporter un cliché disposé en regard dudit panneau à insoler, entre ledit panneau et le support de diode, caractérisée en ce que la zone d'implantation des diodes électroluminescentes sur le support de diodes présente des dimensions strictement supérieures à celles du panneau à insoler dans les deux directions X et Y, les lignes de diodes étant régulièrement espacées selon la direction Y et respectant un décalage d'une ligne à l'autre dans la direction X, et en ce que le mouvement relatif entre le support de diodes et le panneau à insoler présente une course selon la direction Y se réduisant à
- une course morte d'accélération, diodes électroluminescentes éteintes, pour atteindre la vitesse nominale d'insolation,
- une course utile d'insolation, d'une distance inférieure à la taille du panneau à insoler dans la direction Y, diodes électroluminescentes allumées, réalisée à vitesse constante, la zone d'implantation des diodes recouvrant complètement le panneau durant toute cette course, et
- une course morte de décélération, diodes électroluminescentes éteintes, pour arrêter le déplacement. Dans cette configuration, le décalage des lignes dans la direction X a été calculé de telle sorte que lors de la course utile d'insolation, l'énergie lumineuse reçue par chaque point du panneau intégrée sur la période durant laquelle les diodes sont allumées est uniforme sur tout le panneau. De plus, en raison de ce décalage, il est nécessaire que la zone d'implantation des diodes présente une dimension quelque peu supérieure à celle du panneau dans la direction X afin que le panneau voie une répartition des diodes homogène sans vides laissés sur les bords par le décalage. Il est également nécessaire que la zone d'implantation des diodes présente une dimension sensiblement supérieure à celle du panneau dans la direction Y afin que l'invention soit effective, cette zone d'implantation des diodes devant recouvrir complètement le panneau durant la course d'insolation. Enfin, il est avantageux d'effectuer les courses mortes d'accélération et de décélération avec les diodes éteintes afin d'empêcher un dérèglement de l'uniformité de l'insolation calculé pour la course utile uniquement, de nombreuses diodes étant en effet en regard du panneau lors de ces courses mortes.
Ainsi, grâce à l'invention, une course très courte, largement inférieure à la longueur du panneau à insoler, suffit à insoler complètement et uniformément le panneau : cette course raccourcie permet, à niveau de qualité et de rendement égal voire supérieur, de réduire sensiblement le temps de cycle ce qui aboutit à des temps de fabrication et des coûts réduits.
De façon avantageuse et préférentielle, la machine d'insolation comprend en outre une pluralité de collimateurs optiques, chaque collimateur étant associé à une diode électroluminescente et disposé devant ladite diode afin d'assurer le parallélisme des rayons émis par la source lumineuse et donc une incidence perpendiculaire sur le panneau.
De préférence, les moyens assurant le déplacement relatif du support de diodes par rapport au support du panneau à insoler sont adaptés audit support de diodes, ledit support de panneau étant fixe.
De façon avantageuse, le support de diodes est divisé dans la direction Y en une pluralité de segments identiques, ci-après dénommés bras, chaque bras contenant le même motif de n (n> l) lignes de diodes électroluminescentes régulièrement espacées selon la direction Y et respectant un décalage d'une ligne à l'autre dans la direction X, l'espacement entre deux lignes de diodes d'un bras étant égal à l'espacement entre la dernière ligne d'un bras et la première ligne du bras suivant, assurant ainsi une continuité sans aucune rupture de la répartition des diodes entre tes différents bras.
De façon simple et avantageuse, dans chaque bras, au sein de chaque ligne de diodes électroluminescentes, le pas entre deux diodes électroluminescentes adjacentes selon la direction X est égal à p et une diode de rang donné est décalée, selon la direction X, par rapport à la diode électroluminescente de même rang appartement à une ligne adjacente, d'une distance p/n. Ceci permet un décalage simple à mettre en place, continu, et conduisant à l'uniformisation recherchée de l'insolation durant la course utile.
De préférence, chaque bras comprend cinq lignes de vingt diodes électroluminescentes.
Avantageusement, la longueur de la course utile d'insolation est de l'ordre de la dimension d'un bras dans la direction Y.
Selon une réalisation avantageuse et préférentielle, chaque collimateur est composé d'une pièce monobloc transparente, de forme générale sensiblement asphérique de révolution, possédant un sommet plan et poli exposé vers le panneau à insoler, et une base présentant une cavité coaxiale dans laquelle vient se loger la diode électroluminescente associée au collimateur, l'extrémité de cette cavité, opposée à la diode, étant de forme asphérique de révolution concave. Cette réalisation permet d'assurer une collimation des rayons émis dans un cône de demi-angle de 2° environ.
De façon préférentielle, les couples formés d'une diode électroluminescente et d'un collimateur optique sont assemblés dans une même ligne au sein de blocs linéaires fixés sur le support de diodes.
Avantageusement, les diodes électroluminescentes émettent dans l'ultraviolet.
Dans un mode de réalisation préférentiel, la vitesse du support de diodes électroluminescentes durant la course utile d'insolation est réglable afin d'adapter la quantité d'énergie d'insolation reçue par le panneau.
Enfin, selon une réalisation avantageuse, la machine d'insolation comprend deux supports de diodes disposés de part et d'autre dudit support d'un panneau à insoler, celui-ci étant agencé pour recevoir deux clichés disposés de part et d'autre dudit panneau à insoler afin de permettre une insolation double-face du panneau avec deux clichés éventuellement différents.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement à la lumière de la description qui va suivre d'une machine d'insolation conforme à son principe, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en référence aux dessins annexés, dans lesquels :
- La figure 1 est une coupe schématique en élévation d'une machine d'insolation selon l'invention ;
- La figure 2 est une vue en perspective du support de diodes électroluminescentes équipé de ses diodes et de ses collimateurs ;
- La figure 3 est une vue de détail d'un bras du support de diodes ;
- La figure 4A est une vue en perspective d'un collimateur ;
- La figure 4B est une vue en coupe axiale de ce même collimateur.
- Les figures 5A-5D sont des vues schématiques représentant le support de diodes à 4 moments de sa course.
Sur la figure 1 est représentée schématiquement une coupe en élévation de la machine d'insolation de panneaux 1 conformément à une réalisation préférentielle de la présente invention.
Cette machine d'insolation 1 comprend un support de panneau 2 chargé de maintenir le panneau à insoler 3 ainsi que les clichés 5 et 5' que l'on souhaite impressionner sur le panneau. Lors de l'utilisation, le panneau à insoler 3 est reçu dans le support de panneau 2 entre deux vitres translucides 4 et 4' : deux clichés 5 et 5' sont disposés de part et d'autre du panneau 2 et maintenus contre les surfaces internes des deux vitres 4 et 4'. Un vide poussé est alors crée entre les deux vitres pour assurer un bon contact entre les différents éléments de l'assemblage : ce vide est maintenu durant toute l'opération grâce à des joints d'étanchéité périphériques 6.
La machine d'insolation 1 comprend également de part et d'autre du support de panneau 2 des supports de diodes électroluminescentes 10 et 10' chargés d'assurer l'insolation du panneau. Un mouvement relatif des supports de diodes 10 et 10' par rapport au support de panneau 2 est permis afin d'uniformiser l'insolation.
La vue en perspective de la figure 2 permet de mieux apprécier la structure de ce support de diodes 10 ou 10'.
Ce support de diodes 10 comprend une pluralité de bras 11 identiques, six dans cet exemple de réalisation, disposés les uns à la suite des autres selon la direction Y.
Sur chaque bras, des ensembles formés chacun d'une diode 20 et d'un collimateur 30 sont implantées selon une succession de lignes s'étendant dans la direction X. La distance entre la dernière ligne d'un bras et la première ligne du bras suivant est égale à la distance entre deux lignes au sein d'un même bras, de telle sorte que la répartition des diodes n'est pas modifiée à la frontière entre deux bras.
Les lignes sont décalées d'une ligne à l'autre selon la direction X : ceci permet d'assurer l'uniformité de flux lumineux sur l'ensemble du panneau à insoler 3 suite au déplacement du support 10. En conséquence, il existe des espaces en bord du support 10 qui ne possèdent pas de diodes 20. Afin d'assurer l'uniformité du flux lumineux et la bonne marche de l'invention, on fait en sorte qu'à tout instant de la course utile d'insolation le panneau à insoler 3 s'inscrive au moins dans le rectangle ABCD dont les côtés BC et DA, s'étendant dans la direction X, passent par les centres des diodes 20 des premières et dernières lignes du support 10, et dont le côté AB, respectivement le côté CD, s'étendant tous deux selon la direction Y, passe par les centres de chaque diode la plus interne à la zone d'implantation parmi la première, respectivement la dernière, rangée de chaque bras 11. On appelle rangées les rangs de diodes s'étendant selon la direction transverse aux lignes de diodes.
Le support de diodes 10 est de plus équipé de moyens de déplacement 13 tels que des roulettes, des rails, des moteurs ou d'autres moyens assurant le déplacement relatif du support de diodes 10 par rapport au support de panneau 2, selon la direction Y.
La figure 3 permet d'avoir une vue plus précise sur l'implantation des diodes 20 sur chaque bras 11. On observe ainsi que chaque bras 11 est équipé de cinq lignes de diodes 20 et collimateurs 30. Ces lignes sont décalées d'une ligne à l'autre dans la direction X d'une valeur égale a p/n où p est le pas entre deux diodes 20 dans la même ligne et n est le nombre de lignes dans un bras 11, ici cinq. Ce décalage ainsi calculé permet d'une part d'obtenir, avec une pluralité de bras 11 identiques, une répartition décalée continue des diodes 20 sur l'ensemble du panneau, sans rupture entre deux bras 11, et d'autre part d'assurer un lissage homogène de l'insolation lors du déplacement du support 10 sur une course de longueur égale à un bras 11.
Chaque ligne est constituée de quatre barrettes 12, fixées sur chaque bras 11 du support 10, maintenant chacune cinq assemblages formés d'une diode électroluminescente 20 et d'un collimateur 30. Une ligne comprend donc vingt diodes 20, ce qui fait un total de cent diodes 20 sur un bras 11.
Ces assemblages sont détaillés sur les figures 4A et 4B.
Un collimateur 30 est une pièce en verre, en silice ou en tout autre matériau transparent aux UV, monobloc, de forme générale sensiblement asphérique de révolution qui respecte donc une symétrie de révolution, son axe central O étant colinéaire à la direction Z. Sa face d'extrémité supérieure 31, dirigée vers le panneau à insoler 3, est plane et polie. Le collimateur 30 possède à sa base une cavité 32 coaxiale de forme sensiblement cylindrique ou tronconique. La diode électroluminescente 20, scellée dans son support 21 fixé au bras 11, est disposée au sein de cette cavité 32 de manière centrée, à la base du collimateur 30, la base carrée du support 21 de la diode 20 s'inscrivant dans l'orifice circulaire de la cavité 32.
La diode 20 émet préférentiellement dans le spectre ultra-violet. L'extrémité 33 de la cavité 32, faisant face à la diode 20, est de forme sensiblement asphérique de révolution, également coaxiale, concave, et faisant donc saillie à l'intérieur de la cavité 32.
La forme de cette extrémité 33 est calculée de telle sorte que les rayons issus de la diode 20 sensiblement colinéaires à la direction Z franchissent presque sans aucune altération les dioptres 33 et 31 ; en revanche, les rayons inclinés sont réfléchis par le dioptre 33 vers la surface latérale 34 du collimateur 30 qui les renvoie vers le panneau à insoler 3 selon une incidence sensiblement colinéaire à la direction Z. Ce collimateur 30 est ainsi capable d'assurer une incidence sur le panneau à insoler 3 réduite à un cône de demi-angle de 2° environ, une diode électroluminescente émettant naturellement dans un cône de demi-angle de 60° environ.
Enfin, les figures 5A à 5D détaillent les différentes étapes de la course du support de diodes 10 lors de l'opération d'insolation du panneau 3.
La figure 5A représente l'extrémité gauche de la course permise au support de diodes 10. Le support 10 est ici au début de sa course morte d'accélération, toutes diodes 20 éteintes. Puisque les diodes 20 sont éteintes, même si certaines sont déjà en regard du panneau à insoler 3, aucune insolation parasite et non uniforme ne sera permise pendant la phase d'accélération du panneau. Cette course est relativement courte, d'une longueur bien inférieure à la largeur d'un bras 11 : elle s'achève dans la position de la figure 5B.
Dans cette position, l'extrémité droite du support 10 vient d'atteindre l'extrémité droite du panneau à insoler 3 ; il a atteint la vitesse nominale souhaitée pour l'insolation. Les diodes 20 sont allumées instantanément : la course utile d'insolation commence. Elle s'effectue à vitesse constante, sur la longueur d'un bras 11, afin d'assurer l'uniformité d'insolation recherchée. Cette vitesse est déterminée en fonction de l'énergie d'insolation que l'on souhaite déposer sur le panneau pour adapter la machine notamment à la sensibilité de la matière photosensible recouvrant le panneau : une vitesse plus lente augmentera cette énergie tandis qu'une vitesse plus rapide la réduira. La zone d'implantation des diodes 20 recouvre totalement le panneau 3 durant toute cette course d'insolation. Elle se termine dans la position de la figure 5C lorsque le premier bras 11 du support de diodes 10 est complètement sorti de la zone en regard du panneau 3.
Dans cette position, les diodes 20 sont aussitôt éteintes car la course morte de décélération commence. Comme lors de la course d'accélération, ceci évite une insolation parasite non uniforme, des diodes 20 étant encore en regard du panneau 3. Durant cette course de décélération, le support 10 est freiné jusqu'à son arrêt total dans la position de la figure 5D. Cette course s'effectue sur une distance très courte, bien inférieure à la largeur d'un bras 11.
La position de la figure 5D est la position extrême de droite de la course permise au support de diodes 10.

Claims

REVENDICATIONS
1. Machine d'insolation de panneaux (1) comprenant ;
- au moins un support de diodes électroluminescentes (10, 10') s'étendant selon les directions orthogonales X et Y, dans un plan parallèle et en regard d'un support de panneau à insoler (2), un des côtés du support de panneau (2) étant colinéaire à la direction Y ;
- des moyens (13) pour assurer un déplacement relatif dudit support de diodes (10, 10') par rapport audit support de panneau (2) selon la direction Y ;
- une pluralité de diodes électroluminescentes (LED) (20), pouvant être allumées ou éteintes instantanément, montées sur ledit support de diodes (10, 10') et disposées régulièrement selon des lignes s'étendant selon la direction X, le faisceau lumineux émis par chaque diode (20) ayant un axe de direction Z orthogonal aux directions X et Y et étant dirigé vers le panneau à insoler (3) ;
- ledit support de panneau à insoler (2) étant agencé pour supporter un cliché (5, 5') disposé en regard dudit panneau à insoler (3), entre ledit panneau (3) et le support de diodes (10, 10'),
caractérisée en ce que la zone d'implantation des diodes électroluminescentes (20) sur le support de diodes (10, 10') présente des dimensions strictement supérieures à celles du panneau à insoler (3) dans les deux directions X et Y, les lignes de diodes (20) étant régulièrement espacées selon la direction Y et respectant un décalage d'une ligne à l'autre dans la direction X, et en ce que le mouvement relatif entre le support de diodes (10, 10') et le panneau à insoler (3) présente une course selon la direction Y se réduisant à
- une course morte d'accélération, diodes électroluminescentes (20) éteintes, pour atteindre la vitesse nominale d'insolation, - une course utile d'insolation, d'une distance inférieure à la taille du panneau à insoler (3) dans la direction Y, diodes électroluminescentes (20) allumées, réalisée à vitesse constante, la zone d'implantation des diodes (20) recouvrant complètement le panneau (3) durant toute cette course, et
- une course morte de décélération, diodes électroluminescentes (20) éteintes, pour arrêter le déplacement.
2. Machine d'insolation (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend en outre une pluralité de collimateurs optiques (30), chaque collimateur (30) étant associé à une diode électroluminescente (20) et disposé devant ladite diode (20).
3. Machine d'insolation (1) selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que les moyens (13) assurant le déplacement relatif du support de diodes (10, 10') par rapport au support du panneau à insoler (2) sont adaptés audit support de diodes (10, 10'), ledit support de panneau (2) étant fixe.
4. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que le support de diodes (10, 10') est divisé dans la direction Y en une pluralité de bras (11) identiques, chaque bras (11) contenant le même motif de n (n>l) lignes de diodes électroluminescentes (20) régulièrement espacées selon la direction Y et respectant un décalage d'une ligne à l'autre dans la direction X, l'espacement entre deux lignes de diodes (20) d'un bras (11) étant égal à l'espacement entre la dernière ligne d'un bras (11) et la première ligne du bras (11) suivant.
5. Machine d'insolation (1) selon la revendication 4, caractérisée en ce que dans chaque bras (11), au sein de chaque ligne de diodes électroluminescentes (20), le pas entre deux diodes électroluminescentes (20) adjacentes selon la direction X est égal à p et en ce qu'une diode (20) de rang donné est décalée, selon la direction X, par rapport à la diode électroluminescente (20) de même rang appartement à une ligne adjacente, d'une distance p/n.
6. Machine d'insolation (1) selon la revendication 4 ou 5, caractérisée en ce que chaque bras (11) comprend cinq lignes de vingt diodes électroluminescentes (20),
7. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, caractérisée en ce que la longueur de la course utile d'insolation est de l'ordre de la dimension d'un bras (11) dans la direction Y
8. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 2 à 7, caractérisée en ce que chaque collimateur (30) est composé d'une pièce monobloc transparente, de forme générale sensiblement asphérique de révolution, possédant un sommet (31) plan et poli exposé vers le panneau à insoler (3), et une base présentant une cavité coaxiale (32) dans laquelle vient se loger la diode électroluminescente (20) associée au collimateur (30), l'extrémité (33) de cette cavité (32), opposée à la diode (20), étant de forme asphérique de révolution concave.
9. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que les couples formés d'une diode électroluminescente (20) et d'un collimateur optique (30) sont assemblés dans une même ligne au sein de barrettes (12) linéaires fixées sur le support de diodes (10, 10').
10. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que les diodes électroluminescentes (20) émettent dans l'ultraviolet.
11. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisée en ce que la vitesse du support de diodes (10) durant la course utile d'insolation est réglable.
12. Machine d'insolation (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisée en ce qu'elle comprend deux supports de diodes (10, 10') disposés de part et d'autre dudit support de panneau à insoler (2) et en ce que celui-ci est agencé pour recevoir deux clichés (5, 5') disposés de part et d'autre dudit panneau à insoler (3).
PCT/FR2011/052708 2010-11-30 2011-11-21 Machine d'exposition de panneaux Ceased WO2012072914A2 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201180057329.6A CN103261970B (zh) 2010-11-30 2011-11-21 晒版机

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1059907 2010-11-30
FR1059907A FR2968097B1 (fr) 2010-11-30 2010-11-30 Machine d'exposition de panneaux.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2012072914A2 true WO2012072914A2 (fr) 2012-06-07
WO2012072914A3 WO2012072914A3 (fr) 2012-08-30

Family

ID=44064825

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/FR2011/052708 Ceased WO2012072914A2 (fr) 2010-11-30 2011-11-21 Machine d'exposition de panneaux

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN103261970B (fr)
FR (1) FR2968097B1 (fr)
WO (1) WO2012072914A2 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103513518B (zh) * 2013-09-11 2015-12-16 浙江欧视达科技有限公司 紫外led曝光机光学曝光照明系统及紫外led曝光机
CN106814553B (zh) * 2017-03-02 2018-05-29 河南华福包装科技有限公司 一种双面式晒版机
CN108508710A (zh) * 2018-05-30 2018-09-07 芜湖纯元光电设备技术有限公司 一种手动led曝光装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG71804A1 (en) * 1995-08-30 2000-04-18 Matsushita Electric Industrial Co Ltd Screen printing method and screen printing apparatus
JP3035297B1 (ja) * 1999-05-27 2000-04-24 株式会社ケムテックジャパン プリント基板の製造装置および製造方法
JP2003156733A (ja) * 2001-11-22 2003-05-30 Fuji Photo Film Co Ltd 画像転写装置
EP2009676B8 (fr) * 2002-05-08 2012-11-21 Phoseon Technology, Inc. Systèmes d'inspection de matériaux à semi-conducteur
FR2842617B1 (fr) * 2002-07-17 2005-01-21 Automa Tech Sa Machine d'exposition de panneaux de circuit imprime
JP2004294508A (ja) * 2003-03-25 2004-10-21 Fuji Photo Film Co Ltd 基板露光装置
FR2861251B1 (fr) * 2003-10-17 2006-02-03 Automa Tech Sa Ensemble d'exposition a la lumiere d'un panneau de circuit imprime double face et installation comportant au moins un tel ensemble d'exposition
CN100455161C (zh) * 2004-12-07 2009-01-21 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 一种印刷电路板设计方法及印刷电路板
EP1825332A1 (fr) * 2004-12-14 2007-08-29 Radove GmbH Processus et appareil de production de rayons uv de collimation pour transfert photolithographique
US20060164614A1 (en) * 2005-01-21 2006-07-27 Hua-Kuo Chen Exposing machine for a printed circuit board
DE102005033117B4 (de) * 2005-07-11 2008-06-19 Siemens Ag Leiterplattenanordnung und Verfahren zu deren Herstellung
US20090002669A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-01 Optical Associates, Inc. Ultraviolet light-emitting diode exposure apparatus for microfabrication
KR100983582B1 (ko) * 2007-12-31 2010-10-11 엘지디스플레이 주식회사 노광 장치 및 노광 방법과 그 노광 장치를 이용한 박막패터닝 방법

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012072914A3 (fr) 2012-08-30
CN103261970B (zh) 2016-03-30
FR2968097A1 (fr) 2012-06-01
FR2968097B1 (fr) 2013-08-16
CN103261970A (zh) 2013-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3513119B1 (fr) Module lumineux a source electroluminescente monolithique
EP3342638B1 (fr) Dispositif d'éclairage pour un véhicule, combinant deux sources lumineuses
WO2005114762A1 (fr) Diode electroluminescente organique (oled) a extraction de lumiere amelioree, afficheur correspondant
WO2012104503A1 (fr) Dispositif d'affichage avec cellules photovoltaïques intégrées, à luminosité améliorée
FR2971879A1 (fr) Dispositif d'affichage avec cellules photovoltaiques integrees, a luminosite amelioree
EP2536972A1 (fr) Dispositif optique d'un vehicule automobile comprenant une source surfacique de lumiere
WO2013007951A1 (fr) Procede d'acquisition de plusieurs images d'un meme emballage a l'aide d'une seule camera lineaire
EP3399519B1 (fr) Module lumineux pour un vehicule automobile configure pour projeter un faisceau lumineux formant une image pixelisee
EP2529151A1 (fr) Dispositif optique de véhicule automobile comprenant une source surfacique de lumière
WO2012072914A2 (fr) Machine d'exposition de panneaux
WO2023006673A1 (fr) Module lumineux pour phare de vehicule
WO2015162343A1 (fr) Dispositif d'affichage à cellules photovoltaïques intégrées avec luminosité et réflectivité améliorées
FR3040319A1 (fr) Appareil laser modulaire
FR3062217A1 (fr) Aboutage de sources lumineuses pixelisees
EP4045841B1 (fr) Module lumineux pour véhicule automobile
WO2015040288A1 (fr) Dispositif catadioptrique améliorant la visualisation d'une image placée devant un capteur solaire
EP3393820B1 (fr) Procédé de réalisation d'images sélectivement visibles en variant l'angle d'observation par gravure au travers d'un réseau lenticulaire
FR2873206A1 (fr) Machine pour detecter des defauts d'un objet transparent ou translucide
JP2024018893A (ja) 光電変換素子
WO2024133352A1 (fr) Module lumineux comprenant un film flexible à double injections de lumière
WO2024218264A1 (fr) Module lumineux à guide de lumière flexible pour affichage segmenté
WO2023285388A1 (fr) Module lumineux comprenant un élément à taux de transmission de lumière variable
EP0857336A1 (fr) Procede et appareil d'identification de caracteres formes sur une pluralite de plaquettes de silicium
FR3152305A1 (fr) Module lumineux pour véhicule automobile
WO2023030808A1 (fr) Module lumineux pour vehicule automobile

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201180057329.6

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11802484

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11802484

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2